Описание оборудования
Источник электронов для сканирующей Оже- и растровой электронной микроскопии с размером пятна облучения лучше, чем 20 нм при 25 кВ напряжении / 0.5 нА токе пучка электронов, на рабочем расстоянии 25 мм. 1 — 25 кэВ источник термальной эмиссии электронов (эмиттер Шоттки), максимальный ток пучка > 100 нА.
Электростатическая фокусирующая колонка с двойной системой линз, квадруполи для выравнивания пучка электронов, заглушки для пучка электронов, и октуполь для его отклонения и стигмации. Ток пучка регулируется непрерывным образом при помощи переменной электронно-оптической апертуры. Внутреннее измерение тока пучка электронов при помощи цилиндра Фарадея.
Запорный клапан колонки с пневматическим приводом. Необходимый уровень вакуума в области источника < 1 х 10-8 мбар. Порт откачки NW 35 CF (2 ¾» OD) сбоку камеры источника. Отжиг до 180 °С. Фланец для монтажа NW 63 CF (4 ½» OD).
Сервис и ремонт измерительного оборудования
ФОРМА ДЛЯ
ОБРАТНОЙ СВЯЗИ
Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.
Напишите свой вопрос, укажите интересующее оборудование.