Описание оборудования
Внедрение отдельных наноустройств в огромную интегрированную схему является вызовом в области нанотехнологий. Современные исследования требуют вычисления локальных электрических параметров в сочетании с возможностью навигации зонда, что меняет размерность из области микрон в область нанометров.
Четырехточечный нанозонд NANOPROBE представляет собой искусный аналитический инструмент для локальных неинвазивных контактных измерений в четырех точках и функционального тестирования наноустройств в составе сложных схем и структур. Ключом к продвинутой технологии зондирования на наномасштабе служит зарекомендованная СЗМ Omicron, обеспечивающая высокую точность позиционирования зонда и безопасный подвод хрупкого острия диаметром несколько десятых нанометра и меньше.
Ключевые особенности:
- Четырехточечные измерения наноструктур (четырехточечный зонд)
- Электрический контакт наноустройств
- Безопасный и неразрушительный подвод зонда
- Все возможности СТМ
- Высокоразрешающая (<4 нм) визуализация СТМ для быстрой навигации зонда
- Высокоразрешающая (<10 нм) визуализация СТМ для химического картирования
- Реальные условия СВВ для создания чистой поверхности без артефактов

СЭМ для быстрой навигации зонда

Колонна Gemini обеспечивает доступ для химического картирования с помощью растровой оже-микроскопии, магнитной визуализации с помощью СЭМ с поляризационным анализом или других методов электронной спектроскопии. Уникальная возможность использования различных методик в одной области образца позволяет получать комплементарную информацию о проводимости, топографии, химических и магнитных свойствах.
Улучшение разрешения в СВВ приборе NANOPROBE значительно влияет на возможности зондирующей системы. Локализация мельчайших структур и быстрое точное управление положением зонда теперь возможно при одновременной работе СТМ и СЭМ. Производительность СТМ не снижается даже в случае близких значений тока пучка СЭМ и туннельного тока.
Низкоэнергетичный пучок в колонне Gemini снижает до минимума риск повреждения чувствительных образцов и делает возможной визуализацию практически непроводящих образцов благодаря минимизации зарядового эффекта в диапазоне энергий 1 кэВ. Условия сверхвысокого вакуума и отсутсвие углеводородов обеспечивают стабильное сканирование в сверхчистых условиях и позволяют избежать вызванное электронным пучком формирование графита. В случае, если сверхразрешение не требуется, можно использовать различные другие колонны СВВ СЭМ или оптические микроскопы.
Сервис и ремонт измерительного оборудования
ФОРМА ДЛЯ
ОБРАТНОЙ СВЯЗИ
Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.
Напишите свой вопрос, укажите интересующее оборудование.