СЗМ для больших образцов происходят от известных микроскопов VT серии и предлагают идеальное решение для больших образцов диаметром вплоть до 4 дюймов.
Ключевые особенности:- образцы диаметром вплоть до 4 дюймов
- реальная пикоамперная СТМ
- усовершенствованная спектроскопия dI/dV
- классическая АСМ с системой отклонения кантилевера
- АСМ с датчиком QPlus
- опция подсистемы
- совместим с линейкой Fab
Конструкция прибора легко позволяет совмещать его с приборами молеулярно-пучковой эпитаксии и изготовления полупроводниковых пластин. СЗМ для больших образцов размещаются в специально разработанных камерах и имеют внутреннюю пружинную подвеску и вихретоковое демпфирование. Камера может непосредственно устанавливаться на существующую вакуумную систему.
При работе с некоторыми системами (такими, как системы с большими механическими насосами или криогенными генераторами) возникают критически высокие уровни вибраций. Для таких случаев разработана специальная подсистема с высокопроизводительным механизмом подавления вибраций.
