Измерения электрических характеристик

Four Dimensions CVmap

Four Dimensions Inc.

Описание оборудования

Компания 4Dimensions на протяжении более чем 30 лет занимается производством измерительной техники для инспекции в полупроводниковой промышленности. Одно из основных мест в линейке продуктов занимают установки для контроля поверхностного сопротивления пластин (подложек), а также ртутные манипуляторы (зонды) для проведения измерений электрических характеристик полупроводниковых пластин без нанесения металлизации.

Ртутный манипулятор (зонд) широко используются в микроэлектронной индустрии для экспрессного контроля профиля легирования полупроводниковых пластин и параметров МДП-структур. Профилирование с помощью метода ртутного зонда является уникальным способом измерения электрических характеристик материалов и изделий в ходе производства полупроводниковых устройств. Метод основан на анализе зависимости емкости МДП-структур от напряжения на затворе и является незаменимым в случае, когда нежелательным является нанесение металлизации на поверхность для проведения электрических измерений и позволяет значительно экономить время при изготовлении.

Анализ вольт-фарадных характеристик позволяет получить обширную информацию об основных параметрах МДП-структур: типе проводимости полупроводниковой подложки (n- или p-тип); концентрации легирующей примеси в подложке и законе ее распределения в приповерхностной области полупроводника; величине и знаке встроенного в диэлектрик МДП-структуры заряда; толщине подзатворного окисла; плотности поверхностных состояний на границе раздела полупроводник — диэлектрик.

Уникальная конструкция ртутного зонда позволяет обеспечивать высочайший уровень безопасности и воспроизводимость контактной площади в случае каждого конкретного измерения. Система представляет из себя замкнутый прибор, гарантирующий защиту от разлива ртути и загрязнения тестируемой пластины.

Замкнутый корпус и система обеспечения безопасности позволяет исключить возможность разлива ртути.

Благодаря большому набору измерительных головок возможно проводить измерения с различными размерами и формой контактного пятна.

Площадь контакта варьируется в пределах от 3*10-5 до 2 см2. Конфигурация может быть как одиночной точкой, так и точкой с концентрической окружностью, а также линейный массив точек (по аналогии с четырехзондовым методом). Благодаря гибкости системы, она пригодна для проведения измерений на различных материалах, в том числе диэлектрики, полупроводники, структуры типа МДП.

Серия CV92 (в зависимости от комплектации) позволяет проводить ручной и полуавтоматический контроль пластин диаметром до 200 мм.

Серия 3093 предназначена для контроля пластин диаметром до 300 мм.

Основные характеристики

Модель

Характеристики

Особенности

Требования к работе

CVmap 92 A/B

Измерение электрической емкости 0 — 20 нФ


Измерение силы тока 50 фА — 1 мА


Измерительный импульс: 50 мВ, 100 мВ, 150 мВ


Площадь контакта зонда 5*10-5 — 0,6 см2


Воспроизводимость измерений > 2%


Режимы измерения: точка, точка / кольцо, точка / 2 кольца


Головка зонда легко обновляется


Возможна подсветка образца (зависит от датчика)


Головка зонда из поликарбоната позволяет избежать царапин

Диаметр пластин от 10 до 200 мм


ПО CVmap

Потребление электроэнергии: 100 / 115 / 230 В, 50/60 Гц, 300 Вт


Давление сжатого воздуха минимум 4 атм


Вакуум


Размеры (глубина, ширина, высота): 50.8 см, 55.9 см, 33 см

CV92 M

Диаметр пластин от 10 до 200 мм


Моторизированный столик, позволяющий проводить полуавтоматический контроль

Потребление электроэнергии: 100 / 115 / 230 В, 50/60 Гц, 200 Вт


Давление сжатого воздуха минимум 4 атм


Вакуум


Размеры (глубина, ширина, высота): 80 см, 61 см, 27 см

CVmap 3093 A/B

Основные характеристики аналогичны CVmap 92 A/B


Диаметр пластин от 10 до 300 мм


ПО CVmap

Потребление электроэнергии: 100 / 115 / 230 В, 50/60 Гц, 300 Вт


Давление сжатого воздуха минимум 4 атм


Вакуум


Размеры (глубина, ширина, высота): 83.9 см, 82.6 см, 40.7 см

Расходные материалы и аксессуары

К расходным материалам и аксессуарам
Мы предлагаем широкий выбор расходных материалов и аксессуаров для зондовой атомно-силовой и электронной микроскопии по категориям:
Похожее оборудование
4Dimension 120-серия — Ручной измеритель удельного сопротивления
Многофункциональный измеритель сопротивления, идеально подходящий для проведения научно-исследовательской работы, связанной с измерением электрических характеристик материалов с высокой точностью.
233AC Измеритель электрического сопротивления
Система измерения электрического сопротивления четырехзондовым методом, является автоматизированной версией 280-й серии и предназначена для работы с кассетной загрузкой пластин.
280I-серия для измерения удельного сопротивления
Настольная система для измерения удельного сопротивления серии 280I обладает широким функционалом, охватывающим большинство задач, связанных с измерением удельного сопротивления полупроводниковых пластин.
KLA-Tencor RS-75
Эта модель специально ориентирована на применение в производстве для контроля широкого спектра технологических операций.
KLA-Tencor RS-100
Установка рассчитана на применение в условиях серийного производства, обладает функцией автоматической загрузки и сортировки пластин по результатам контроля, пригодна для измерений пластин до 300 мм.
KLA-Tencor RS-200
Полностью автоматическая работа обеспечивают улучшенные характеристики как для пластин 200 мм, так и 300 мм. Обеспечивает точное и надежное измерение удельного сопротивления при технологической норме от 45 нм и более.
Холловский измеритель HL9900
Предназначен для измерения удельного сопротивления, подвижности и концентрации носителей при комнатной температуре и при температуре жидкого азота в полупроводниковых структурах на основе Si, GaAs, InP, SiC, GaN.
Электрохимический профилометр ECV-Pro
Предназначен для спектроскопических исследований полупроводниковых материалов.

Сервис и ремонт измерительного оборудования

Выезд сервис-инженера
В кратчайшие сроки к вам приедет наш сервисный инженер для проведения ремонта.
Сервисный договор
Обслуживание «под ключ»: график выездов, экстренные выезды,склад запчастей «быстрого реагирования».
Диагностика и ремонт
Ремонтируем аналитическое и лабораторное оборудование всех ведущих марок, как представляемых эксклюзивно нами, так и сторонних производителей.
Гарантия и качество
Большой опыт оказания услуг по сервисному обслуживанию и ремонту измерительного оборудования.
Сервис оборудования

ФОРМА ДЛЯ
ОБРАТНОЙ СВЯЗИ

Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.

Напишите свой вопрос, укажите интересующее оборудование.

Наша почта
sales@imc-systems.ru
Наш телефон
+7 (495) 374-04-01