Описание оборудования
Компания 4Dimensions на протяжении более чем 30 лет занимается производством измерительной техники для инспекции в полупроводниковой промышленности. Одно из основных мест в линейке продуктов занимают установки для контроля поверхностного сопротивления пластин (подложек), а также ртутные манипуляторы (зонды) для проведения измерений электрических характеристик полупроводниковых пластин без нанесения металлизации.
Ртутный манипулятор (зонд) широко используются в микроэлектронной индустрии для экспрессного контроля профиля легирования полупроводниковых пластин и параметров МДП-структур. Профилирование с помощью метода ртутного зонда является уникальным способом измерения электрических характеристик материалов и изделий в ходе производства полупроводниковых устройств. Метод основан на анализе зависимости емкости МДП-структур от напряжения на затворе и является незаменимым в случае, когда нежелательным является нанесение металлизации на поверхность для проведения электрических измерений и позволяет значительно экономить время при изготовлении.
Анализ вольт-фарадных характеристик позволяет получить обширную информацию об основных параметрах МДП-структур: типе проводимости полупроводниковой подложки (n- или p-тип); концентрации легирующей примеси в подложке и законе ее распределения в приповерхностной области полупроводника; величине и знаке встроенного в диэлектрик МДП-структуры заряда; толщине подзатворного окисла; плотности поверхностных состояний на границе раздела полупроводник — диэлектрик.
Уникальная конструкция ртутного зонда позволяет обеспечивать высочайший уровень безопасности и воспроизводимость контактной площади в случае каждого конкретного измерения. Система представляет из себя замкнутый прибор, гарантирующий защиту от разлива ртути и загрязнения тестируемой пластины.
Замкнутый корпус и система обеспечения безопасности позволяет исключить возможность разлива ртути.
Благодаря большому набору измерительных головок возможно проводить измерения с различными размерами и формой контактного пятна.
Площадь контакта варьируется в пределах от 3*10-5 до 2 см2. Конфигурация может быть как одиночной точкой, так и точкой с концентрической окружностью, а также линейный массив точек (по аналогии с четырехзондовым методом). Благодаря гибкости системы, она пригодна для проведения измерений на различных материалах, в том числе диэлектрики, полупроводники, структуры типа МДП.
Серия CV92 (в зависимости от комплектации) позволяет проводить ручной и полуавтоматический контроль пластин диаметром до 200 мм.
Серия 3093 предназначена для контроля пластин диаметром до 300 мм.

Основные характеристики
Модель |
Характеристики |
Особенности |
Требования к работе |
---|---|---|---|
CVmap 92 A/B |
Измерение электрической емкости 0 — 20 нФ
Измерение силы тока 50 фА — 1 мА
Измерительный импульс: 50 мВ, 100 мВ, 150 мВ
Площадь контакта зонда 5*10-5 — 0,6 см2
Воспроизводимость измерений > 2%
Режимы измерения: точка, точка / кольцо, точка / 2 кольца
Головка зонда легко обновляется
Возможна подсветка образца (зависит от датчика)
Головка зонда из поликарбоната позволяет избежать царапин |
Диаметр пластин от 10 до 200 мм
ПО CVmap
|
Потребление электроэнергии: 100 / 115 / 230 В, 50/60 Гц, 300 Вт
Давление сжатого воздуха минимум 4 атм
Вакуум
Размеры (глубина, ширина, высота): 50.8 см, 55.9 см, 33 см |
CV92 M |
Диаметр пластин от 10 до 200 мм
Моторизированный столик, позволяющий проводить полуавтоматический контроль
|
Потребление электроэнергии: 100 / 115 / 230 В, 50/60 Гц, 200 Вт
Давление сжатого воздуха минимум 4 атм
Вакуум
Размеры (глубина, ширина, высота): 80 см, 61 см, 27 см |
|
CVmap 3093 A/B |
Основные характеристики аналогичны CVmap 92 A/B
Диаметр пластин от 10 до 300 мм
ПО CVmap
|
Потребление электроэнергии: 100 / 115 / 230 В, 50/60 Гц, 300 Вт
Давление сжатого воздуха минимум 4 атм
Вакуум
Размеры (глубина, ширина, высота): 83.9 см, 82.6 см, 40.7 см |
Сервис и ремонт измерительного оборудования
ФОРМА ДЛЯ
ОБРАТНОЙ СВЯЗИ
Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.
Напишите свой вопрос, укажите интересующее оборудование.