Настольная система для измерения удельного сопротивления серии 280I обладает широким функционалом, охватывающим большинство задач, связанных с измерением удельного сопротивления полупроводниковых пластин. Продуманная конструкция и надежность позволяют осуществлять измерения с высокой точностью и воспроизводимостью. Компания 4 Dimension предлагает ряд конфигураций систем серии 280I:
- 280 PI Базовое исполнение в серии. Автоматически измеряет 1, 5 и 9 областей контроля с возможностью выведения результатов на печать. Измерительный диапазон – 1 мОм – 800 кОм
- 280 PCI В дополнение к функционалу 280 PI имеет возможность построения ВАХ, хранит в памяти до 15 программ проведения измерений, комплектуется отдельным персональным компьютером
- 280 SI Комплектуется персональным компьютером под управлением ОС MS Windows, поддерживает хранение библиотеки методик контроля, ведение статистики измерений, измерения p-n переходов, поддержка интерфейса SECS-II, диагностики, а так же многих других функций
- 280 TSI Имеет аналогичный функционал с 280 SI, дополненный температурной компенсацией
- 280 TCI В дополнении к функциям 280 TSI имеет пакет статистического управления процессом.
- 280 DI В дополнении к функциям 280 SI обладают расширенным диапазоном измерений до 800 ГОм
- 280 HCI Обладает аналогичными функциями с 280 TCI, дополнительно обладая высокотемпературной камерой
Особенности:
- Программное обеспечение Automap 280I
- Карта распределения удельного сопротивления по поверхности пластины
- Тестирование p-n переходов
- Измерение объемного сопротивления
- Сканирование сопротивления по диаметру
- Статистический анализ данных
- Компенсация изменения толщины, температуры и краевых эффектов
- Хранение данных в организованных библиотеках
Требования к помещению
Потребление электроэнергии: 100 – 220 В, 50-60 Гц, 200 Вт
Вакуумный зажим: 20 мм. рт. ст.
Габаритные размеры (ДхШхВ): 547х508х635 мм
Измерительные головки
В зависимости от задач предлагается широкий набор измерительных головок и наконечников.
