Главная Каталог Анализ физических свойств материалов Измерения электрических характеристик Электрохимический профилометр ECV-Pro

Измерения электрических характеристик

Электрохимический профилометр ECV-Pro

Onto Innovation Inc.

Заказать Задать вопрос специалисту

Описание оборудования

Установка ECV Pro UV предназначается для измерения распределения уровней легирования по глубине эпитаксиальной структуры на подложках из полупроводниковых материалов с подсветкой ультрафиолетом при травлении. Электрохимический профилометр использует хорошо подобранную систему электрохимического травления, с помощью которой материал может быть профилирован по любой глубине с управляемой и расчётной скоростью.

Основные характеристики

Измеряемые концентрации носителей заряда	10¹³см^-3 — 10²⁰см^-3
Диапазон толщин	0.05 – 50 мм
Разрешающая способность измерений по глубине	1 нм
Диаметр измеряемых пластин	2 — 6″

Узнать стоимость

Области применения

Все области применения

Металлургия

Геология

Криминалистика

Качество и безопасность пищевых продуктов

Фармацевтическая промышленность

Экология

Расходные материалы и аксессуары

К расходным материалам и аксессуарам

Мы предлагаем широкий выбор расходных материалов и аксессуаров для зондовой атомно-силовой и электронной микроскопии по категориям:

Зонды для АСМ

Аксессуары для АСМ

Расходные материалы
для АСМ и СЭМ

Компоненты для
сверхвысокого вакуума

Похожее оборудование

4Dimension 120-серия — Ручной измеритель удельного сопротивления

Многофункциональный измеритель сопротивления, идеально подходящий для проведения научно-исследовательской работы, связанной с измерением электрических характеристик материалов с высокой точностью.

233AC Измеритель электрического сопротивления

Система измерения электрического сопротивления четырехзондовым методом, является автоматизированной версией 280-й серии и предназначена для работы с кассетной загрузкой пластин.

280I-серия для измерения удельного сопротивления

Настольная система для измерения удельного сопротивления серии 280I обладает широким функционалом, охватывающим большинство задач, связанных с измерением удельного сопротивления полупроводниковых пластин.

Four Dimensions CVmap

Ртутные зонды, позволяющие проводить измерение электрических характеристик полупроводниковых пластин без нанесения металлизации.

KLA-Tencor RS-75

Эта модель специально ориентирована на применение в производстве для контроля широкого спектра технологических операций.

KLA-Tencor RS-100

Установка рассчитана на применение в условиях серийного производства, обладает функцией автоматической загрузки и сортировки пластин по результатам контроля, пригодна для измерений пластин до 300 мм.

KLA-Tencor RS-200

Полностью автоматическая работа обеспечивают улучшенные характеристики как для пластин 200 мм, так и 300 мм. Обеспечивает точное и надежное измерение удельного сопротивления при технологической норме от 45 нм и более.

Холловский измеритель HL9900

Предназначен для измерения удельного сопротивления, подвижности и концентрации носителей при комнатной температуре и при температуре жидкого азота в полупроводниковых структурах на основе Si, GaAs, InP, SiC, GaN.