Измерения электрических характеристик

Электрохимический профилометр ECV-Pro

Электрохимический профилометр ECV-Pro
Onto Innovation Inc.

Описание оборудования

Установка ECV Pro UV предназначается для измерения распределения уровней легирования по глубине эпитаксиальной структуры на подложках из полупроводниковых материалов с подсветкой ультрафиолетом при травлении. Электрохимический профилометр использует хорошо подобранную систему электрохимического травления, с помощью которой материал может быть профилирован по любой глубине с управляемой и расчётной скоростью.

Основные характеристики

Измеряемые концентрации носителей заряда

1013см-3 — 1020см-3

Диапазон толщин

0.05 – 50 мм

Разрешающая способность измерений по глубине

1 нм

Диаметр измеряемых пластин

2 — 6″

Расходные материалы и аксессуары

К расходным материалам и аксессуарам
Мы предлагаем широкий выбор расходных материалов и аксессуаров для зондовой атомно-силовой и электронной микроскопии по категориям:
Похожее оборудование
233AC Измеритель электрического сопротивления
Система измерения электрического сопротивления четырехзондовым методом, является автоматизированной версией 280-й серии и предназначена для работы с кассетной загрузкой пластин.
280I-серия для измерения удельного сопротивления
Настольная система для измерения удельного сопротивления серии 280I обладает широким функционалом, охватывающим большинство задач, связанных с измерением удельного сопротивления полупроводниковых пластин.
Four Dimensions CVmap
Ртутные зонды, позволяющие проводить измерение электрических характеристик полупроводниковых пластин без нанесения металлизации.

Сервис и ремонт измерительного оборудования

Выезд сервис-инженера
В кратчайшие сроки к вам приедет наш сервисный инженер для проведения ремонта.
Сервисный договор
Обслуживание «под ключ»: график выездов, экстренные выезды,склад запчастей «быстрого реагирования».
Диагностика и ремонт
Ремонтируем аналитическое и лабораторное оборудование всех ведущих марок, как представляемых эксклюзивно нами, так и сторонних производителей.
Гарантия и качество
Большой опыт оказания услуг по сервисному обслуживанию и ремонту измерительного оборудования.
Сервис оборудования

ФОРМА ДЛЯ
ОБРАТНОЙ СВЯЗИ

Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.

Напишите свой вопрос, укажите интересующее оборудование.

Наша почта
sales@imc-systems.ru
Наш телефон
+7 (495) 374-04-01