Описание оборудования
Установка ECV Pro UV предназначается для измерения распределения уровней легирования по глубине эпитаксиальной структуры на подложках из полупроводниковых материалов с подсветкой ультрафиолетом при травлении. Электрохимический профилометр использует хорошо подобранную систему электрохимического травления, с помощью которой материал может быть профилирован по любой глубине с управляемой и расчётной скоростью.

Основные характеристики
Измеряемые концентрации носителей заряда |
1013см-3 — 1020см-3 |
---|---|
Диапазон толщин |
0.05 – 50 мм |
Разрешающая способность измерений по глубине |
1 нм |
Диаметр измеряемых пластин |
2 — 6″ |
Сервис и ремонт измерительного оборудования
ФОРМА ДЛЯ
ОБРАТНОЙ СВЯЗИ
Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.
Напишите свой вопрос, укажите интересующее оборудование.