Основные характеристики
В основе работы |
Электронно-оптическая система с полевым катодом Шоттки |
Оптический тракт |
Электромагнитные композитные линзы |
---|---|
Ускоряющее напряжение |
0,02 – 30 кВ |
Ток пучка |
10 пА – 100 нА |
Кратность увеличения |
10 – 1 000 000х |
Разрешающая способность |
Детектор вторичных электронов (SE) – 1,5 нм (1 кВ) 0,9 нм (30 кВ)
Детектор обратно-отраженных электронов (BSE) – 2,5 нм (1 кВ) 1,5 нм (30 кВ)
Электронная микроскопия в просвечивающем режиме (TSEM) – 0,8 нм (30 кВ) |
Предметный стол |
Максимальный вес образца – 5 кг Перемещение по оси X 140 мм Перемещение по оси Y 140 мм Вращение 360° Наклон -10…80° |
Сервис и ремонт измерительного оборудования
ФОРМА ДЛЯ
ОБРАТНОЙ СВЯЗИ
Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.
Напишите свой вопрос, укажите интересующее оборудование.