KLA Candela 8420

   Система может работать в трех режимах, подходящих для разных вариантов применения: высокая производительность, стандартное разрешение и высокое разрешение. В режиме высокой производительности систему Candela 8420 можно использовать в качестве простого счетчика частиц для контроля и оценки технологических инструментов.

   Использование нескольких каналов обнаружения в режиме усовершенствованной классификации/высокой чувствительности позволяет точно обнаружить и классифицировать дефекты по типам для выявления проблем, связанных с технологическим процессом, и обнаружения дефектов, влияющих на объем выпуска.

   Кроме того, на компьютерах, не подключенных к Интернету, можно использовать программное обеспечение Candela 8420 для создания разных типов программ анализа.

   Данный метод контроля позволяет проанализировать всю поверхность за несколько минут и получить изображение с высоким разрешением, построить карты дефектов пластин и автоматически классифицировать дефекты.

   Карта дефектов используется для отображения расположения каждого дефекта на пластине при помощи цветовой кодировки. На диаграмме Парето указано количество дефектов каждого типа. В окне с общей информацией об обнаруженных дефектах (окно по умолчанию) отображаются статистические данные о дефектах на всей пластине.

   В окне файла журнала регистрации дефектов отображается подробная информация (в т. ч. место, размер пиксела, площадь и тип дефекта). Кроме того, в нем содержится информация о количестве дефектов каждого размера и общем количестве дефектов. Отчет и файл журнала регистрации дефектов можно сохранить и использовать для анализа производства.

   К другим инструментам проектирования относятся наложение сетки на псевдоэлементы (для определения участка пластины, на котором возникли дефекты определенного типа), группировка дефектов по размерам, определение однородности поверхности, сравнение результатов до/после контроля (для анализа источника/степени распространения дефекта), сортировка пластин на основании критерия успешного/неуспешного прохождения, вывод файла результатов KLARF, нанесение меток (для обозначения дефектов, требующих проверки) и настройка автоматизации производства.

   Благодаря высокой чувствительности, пропускной способности и универсальности система Candela 8420 является экономически выгодным решением, подходящим как для разработки производственного процесса, так и для контроля крупносерийного производства.