Установки измерения дефектности пластин

Позволяют оценивать качество пластин и подложек, применяемых для производства электронных компонентов, определять источник появления загрязнений, повреждений и структурных дефектов.

Смотреть оборудование Получить консультацию

Категория:

Подкатегория:

Бренд:

Область применения:

Товары раздела

KLA-Tencor Surfscan 6400

Позволяет детектировать субмикронные частицы на шероховатых поверхностях и демонстрировать разрешающую способность <0,1 мкм на гладких поверхностях

KLA-Tencor ICOS WI 2280

Система оптической инспекции критических дефектов и мониторинг качества изготовления устройств на полупроводниковых подложках

KLA Candela 8720

Позволяет обнаруживать множество критически важных дефектов подложки и эпитаксиального слоя и может использоваться для компонентов светодиодов, фотоэлектронных приборов, устройств связи, а также сложных полупроводниковых материалов.

KLA Candela 8520

Единая система для контроля поверхности и измерения фотолюминесценции, предназначенная для повышения эффективности определения характеристик дефектов в подложке и эпитаксиальном слое во время контроля силовых установок и аналогичных систем.

KLA Candela 8420

Позволяет проанализировать всю поверхность за несколько минут и получить изображение с высоким разрешением, построить карты дефектов пластин и автоматически классифицировать дефекты.