Профилометры фирмы Toho Technology Inc (Япония) имеют в своем составе запатентованный датчик KLA-Tencor.
Модель Toho FP обеспечивают измерение профиля поверхности (полный профиль, высота ступенек, шероховатость, плоскостность, прогиб и др.) полупроводниковых пластин в широком диапазоне значений (от сотых нанометров до единиц микрон), с высокой степенью автоматизации (кассетная загрузка и сортировка) и для всех возможных типоразмеров.
Стилусные профилометры Toho FP предлагаются для пластин (подложек) любого современного типоразмера. В оборудовании используется запатентованный сканирующего датчика KLA-Tencor, лучшую в своем классе.
Стандартный L-образный стилус (2 мкм, 60 °) обеспечивает точное сканирование с контролем усилия воздействия наконечника на поверхность (0,5 до 15 мг), обеспечивая протяженность непрерывного сканирования до 90 мм со скоростью прохода до 25 мм/с. При этом воспроизводимость результатов измерений достигает 10 Å.
Модель FP-10 предназначена для небольших партий, FP-20 – для крупносерийного производства.
В модели Toho FP-10 сканирование поверхности обеспечивается за счет перемещения подвижного стола, что обеспечивает возможность измерений на пластинах размером до 400х500 мм.
Для более крупных образцов предлагается версия FP-20, где перемещения совершает непосредственно сама сканирующая головка. Это позволяет минимизировать вибрации, возникающие при работе с массивными объектами.
Описание оборудования

Основные характеристики
Воспроизводимость результатов измерений |
10 Å для типа А / 15 Å для типа Х |
---|---|
Точность позиционирования по осям Х и У |
± 2 мкм |
Диапазон/путь сканирования |
30мм (90 мм) |
Скорость сканирования |
1 мкм/с (25 мм/с) |
Затраты времени на 1 образец |
50 с / 100 с / 200 с |
Диапазон измерений по высоте |
0 – 130 мкм |
Размер образца типа А |
до 400 мм * 500 мм |
Размер образца типа Х |
от 400 мм * 500 мм |
Сервис и ремонт измерительного оборудования
Выезд сервис-инженера
В кратчайшие сроки к вам приедет наш сервисный инженер для проведения ремонта.
Сервисный договор
Обслуживание «под ключ»: график выездов, экстренные выезды,склад запчастей «быстрого реагирования».
Диагностика и ремонт
Ремонтируем аналитическое и лабораторное оборудование всех ведущих марок, как представляемых эксклюзивно нами, так и сторонних производителей.
Гарантия и качество
Большой опыт оказания услуг по сервисному обслуживанию и ремонту измерительного оборудования.
ФОРМА ДЛЯ
ОБРАТНОЙ СВЯЗИ
Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.
Напишите свой вопрос, укажите интересующее оборудование.
Наша почта
sales@imc-systems.ru
Наш телефон
+7 (495) 374-04-01