Оптические профилометры Profilm3D и Profilm3D-200 представляют собой доступные по цене бесконтактные системы анализа 3D-рельефа поверхности на основе интерферометрии белого света (WLI). Серия Profilm3D измеряет особенности поверхности в масштабе от нанометра до миллиметра, создавая изображения высокого разрешения и изображения TotalFocus™ (потрясающие 3D-изображения с естественными цветами, в которых каждый пиксель находится в фокусе). Простая и гибкая настройка, позволяющая выполнять однократное сканирование, или автоматические измерения на нескольких объектах — Profilm3D будет интересен как при фундаментальных исследованиях, так и при техническом контроле на производстве.
В методе измерения, заложенном в Profilm3D, разрешение при измерениях по вертикали не зависит от числовой апертуры объектива, что позволяет выполнять их с большим полем зрения. Измеряемую площадь можно дополнительно увеличить, объединив несколько полей зрения в одно измерение.
Profilm3D также имеет простой пользовательский интерфейс и несколько шаблонов работы, для быстрой настройки в зависимости от поставленных задач. Программный пакет Profilm® включает в себя передовые облачные веб-сервисы ProfilmOnline®, мобильные приложения для Android и iOS, а также передовое программное обеспечение Profilm для настольных ПК, обеспечивающее гибкие решения для хранения, визуализации и анализа данных.
Оптический профилометр Profilm3D может выполнять широкий спектр измерений и приложений:
- измерение высоты, компланарности и степени шероховатости полупроводниковых элементов, устанавливаемых по технологии Flip Chip;
- анализ дефектов (царапины, сколы, трещины и т.д.), измерение параметров шероховатости, высоты/глубины структуры, высоты ступеньки, характеризация текстуры и многое другое для элементов устройств хранения данных: жестких дисков, оптических и магнитных носителей информации;
- MEMS и элементы оптоэлектроники (кривизна микролинз, анализ линий, окружностей, углов измерение ширины и расстояния);
- автоматическая оценка глубины травления;
- оценка параметров материалов
