Это оптический профилометр из линейки продуктов KLA-Tencor, предназначенный для самого широкого спектра приложений по оценке качества и точности обработки поверхностей. Разработанная бесконтактная система интерферометрии белого света отличается как инновационным функционалом, так и простым интуитивно понятным пользовательским интерфейсом.
Профилометр KLA-Tencor MicroXAM-800 — это гибкая платформа как для сбора, так и для анализа данных. Система включает в себя аппаратные и программные решения, необходимые для удовлетворения самых строгих требований как в научно-исследовательском кластере, так и в самых разнообразных производственных отраслях. Возможности системы позволяют программировать отдельные этапы проведения измерений, создавать шаблоны, модернизировать необходимые элементы, проводить комплексный анализ и многое другое. Так, например, благодаря функции SMART оборудование может быть настроено на работу в автоматическом режиме: от оператора при этом требуется лишь ориентировочно знать высоту профиля.За счет функции ZSI возможно исследование поверхностей образцов с развитым профилем.
KLA-Tencor MicroXAM-800 может выполнять широкий спектр измерений и приложений для характеризации светодиодных элементов, элементов силовых установок и солнечной энергетики, медицинских устройств и т.д.:
- поверхностная характеристика и планаризация полупроводниковых элементов, что позволит улучшить их характеристики и уменьшить процент выпускаемого брака;
- измерение высоты, компланарности и степени шероховатости полупроводниковых элементов, устанавливаемых по технологии Flip Chip;
- анализ дефектов (царапины, сколы, трещины и т.д.), измерение параметров шероховатости, высоты/глубины структуры, высоты ступеньки, характеризация текстуры и многое другое для элементов устройств хранения данных: жестких дисков, оптических и магнитных носителей информации;
- MEMS и элементы оптоэлектроники (кривизна микролинз, анализ линий, окружностей, углов измерение ширины и расстояния);
- автоматическая оценка глубины травления;
- оценка параметров материалов
- анализ биологических объектов, керамических подложек, параметров фольги, тонких пленок, поверхностей после полировки или окраски и т.д.
