Голографические микроскопы и профилометры

Оптический профилометр KLA-Tencor MicroXAM-800

Оптический профилометр KLA-Tencor MicroXAM-800
Оптический профилометр KLA-Tencor MicroXAM-800
Оптический профилометр KLA-Tencor MicroXAM-800
Оптический профилометр KLA-Tencor MicroXAM-800
Оптический профилометр KLA-Tencor MicroXAM-800

Описание оборудования

   Это оптический профилометр из линейки продуктов KLA-Tencor, предназначенный для самого широкого спектра приложений по оценке качества и точности обработки поверхностей. Разработанная бесконтактная система интерферометрии белого света отличается как инновационным функционалом, так и простым интуитивно понятным пользовательским интерфейсом.
   Профилометр KLA-Tencor MicroXAM-800 — это гибкая платформа как для сбора, так и для анализа данных. Система включает в себя аппаратные и программные решения, необходимые для удовлетворения самых строгих требований как в научно-исследовательском кластере, так и в самых разнообразных производственных отраслях. Возможности системы позволяют программировать отдельные этапы проведения измерений, создавать шаблоны, модернизировать необходимые элементы, проводить комплексный анализ и многое другое. Так, например, благодаря функции SMART оборудование может быть настроено на работу в автоматическом режиме: от оператора при этом требуется лишь ориентировочно знать высоту профиля.За счет функции ZSI возможно исследование поверхностей образцов с развитым профилем.
   KLA-Tencor MicroXAM-800 может выполнять широкий спектр измерений и приложений для характеризации светодиодных элементов, элементов силовых установок и солнечной энергетики, медицинских устройств и т.д.:


- поверхностная характеристика и планаризация полупроводниковых элементов, что позволит улучшить их характеристики и уменьшить процент выпускаемого брака;
- измерение высоты, компланарности и степени шероховатости полупроводниковых элементов, устанавливаемых по технологии Flip Chip;
- анализ дефектов (царапины, сколы, трещины и т.д.), измерение параметров шероховатости, высоты/глубины структуры, высоты ступеньки, характеризация текстуры и многое другое для элементов устройств хранения данных: жестких дисков, оптических и магнитных носителей информации;
- MEMS и элементы оптоэлектроники (кривизна микролинз, анализ линий, окружностей, углов измерение ширины и расстояния);
- автоматическая оценка глубины травления;
- оценка параметров материалов
- анализ биологических объектов, керамических подложек, параметров фольги, тонких пленок, поверхностей после полировки или окраски и т.д.
Особенности профилометра

KLA-Tencor MicroXAM-800

   Принцип работы прибора основан на разделении луча некогерентного света на две составляющие, перенаправляя одну из них на эталонное зеркало (опорный сигнал), а другую — на образец. После отражения лучи попадают в камеру CCD, где каждый пиксель выступает в роли независимого детектора света. Свет, попадающий в камеру, может когерентно рекомбинировать, когда пути обоих лучей совпадают. В противном случае будет наблюдаться искажение сигнала. При изменении вертикального положения объектива картина также будет меняться. Таким образом, получаемое трехмерное интерференционное изображение может иметь высокое разрешение, зависящее от величины пикселя, и содержать достаточно неискаженной информации о каждой точке исследуемой поверхности.
Общая информация

   Источники света представлены зелеными и белыми светодиодными системами, поддерживающими режимы сбора данных SMART, PSI, VSI и ZSI. Данные светодиоды имеют повышенный срок службы, что в свою очередь существенно снижает стоимость эксплуатации прибора в целом.
   Автоматизированные столики для осей XY и Z являются стандартными для MicroXAM-800. Движение по плоскости XY имеет диапазон 152 мм на 152 мм. Номинальный Z-диапазон составляет 125 мм, для установки более высоких образцов возможна модернизация системы. Любые перемещения могут быть заданы или вручную, или программно (шаблоны или создать свой скрипт).
   Доступны несколько держателей для самых разных видов образцов.

   1,4-мегапиксельная камера обеспечивает изображение высокого разрешения: 1360 на 1040 пикселей. При переключении камеры в режим «binning» происходит объединение нескольких смежных пикселей, за счет чего скорость сканирования может быть удвоена (при это разрешение изображения будет составлять 680 x 520 пикселей). Подвижная головка интерферометра имеет несколько объективов с увеличением от 5x до 100x, что позволяет проводить исследование топографии поверхности как на макро-, так и на микроуровне. Головка является съемной, имеется возможность установки объективов с 2,5 или 5 кратным увеличением.

   В стандартную комплектацию входит 64-разрядный компьютер с ОС Windows и 23-дюймовым широкоформатным монитором.
   Также в комплект входит MS Office, позволяющий экспортировать данные из программного обеспечения MicroXAM-800 в PowerPoint, Word и Excel.

Расходные материалы и аксессуары

К расходным материалам и аксессуарам
Мы предлагаем широкий выбор расходных материалов и аксессуаров для зондовой атомно-силовой и электронной микроскопии по категориям:
Похожее оборудование
Голографические профилометры отраженного света
Идеальные инструменты для точных измерений оптической топографии большого разнообразия образцов.
Голографические профилометры проходящего света
Являются единственными в своем роде оптическими профилометрами, предназначенными для инспекции поверхности в проходящем свете.
Оптический профилометр KLA Zeta-20
Настольный оптический профилометр, оснащенный запатентованной технологией ZDot и гибкой многорежимной оптикой для измерений 3D топографии поверхности, толщины пленок и автоматического контроля дефектов.
Оптический профилометр KLA Zeta-300
Оптический профилометр для работы с крупными образцами, оснащенный запатентованной технологией ZDot и гибкой многорежимной оптикой для измерений 3D топографии поверхности, толщины пленок и автоматического контроля дефектов.
Оптический профилометр KLA Zeta-388
Напольный оптический профилометр с кассетной загрузкой для автоматической инспекции и метрологии, оснащенный запатентованной технологией ZDot и гибкой многорежимной оптикой для измерений 3D топографии поверхности, толщины пленок и автоматического контроля дефектов.
Оптический профилометр Profilm3D
Доступные по цене бесконтактные системы анализа 3D-рельефа поверхности на основе интерферометрии белого света (WLI).
Промышленные стилусные профилометры Toho FP
Датчик KLA-Tencor. Измерение профиля поверхности полупроводниковых пластин в широком диапазоне значений, с высокой степенью автоматизации.
Стилусный профилометр HRP-260
Стилусный профилометр KLA-Tencor HRP-260 для измерения профиля поверхности пластин до 200 мм.
Стилусный профилометр KLA-Tencor Alpha-Step D-500
Может быстро и качественно провести анализ 2D-топографии поверхности размером до 30 мм.
Стилусный профилометр KLA-Tencor Alpha-Step D-600
Отличается возможностью размещения 200 мм пластин, наличию сервопривода предметного стола и опцией измерения механических напряжений, возникающих после нанесения тонких пленок.
Стилусный профилометр KLA-Tencor P-7
Платформа среднего класса, которая сочетает в себе все превосходные функции сканирования, присущие бренду KLA Instruments, производительность и одну из самых доступных цен среди аналогов.
Стилусный профилометр KLA-Tencor P-17
Представляют серию профилометров, специально разработанных для обеспечения потребностей мелкосерийных производств в профессиональном контроле.
Стилусный профилометр KLA-Tencor P-170
Кассетный профилометр, позволяющий проводить измерения в диапазоне от нескольких нанометров до одного миллиметра сразу у нескольких образцов в режиме 24/7.

Сервис и ремонт измерительного оборудования

Выезд сервис-инженера
В кратчайшие сроки к вам приедет наш сервисный инженер для проведения ремонта.
Сервисный договор
Обслуживание «под ключ»: график выездов, экстренные выезды,склад запчастей «быстрого реагирования».
Диагностика и ремонт
Ремонтируем аналитическое и лабораторное оборудование всех ведущих марок, как представляемых эксклюзивно нами, так и сторонних производителей.
Гарантия и качество
Большой опыт оказания услуг по сервисному обслуживанию и ремонту измерительного оборудования.
Сервис оборудования

ФОРМА ДЛЯ
ОБРАТНОЙ СВЯЗИ

Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.

Напишите свой вопрос, укажите интересующее оборудование.

Наша почта
sales@imc-systems.ru
Наш телефон
+7 (495) 374-04-01