Голографические микроскопы и профилометры

Голографические профилометры отраженного света

Голографические профилометры отраженного света
Голографические профилометры отраженного света
Голографические профилометры отраженного света
Голографические профилометры отраженного света
Голографические профилометры отраженного света
Голографические профилометры отраженного света
Голографические профилометры отраженного света
Голографические профилометры отраженного света

Описание оборудования

   Серия DHM®-R1000, DHM®-R2100 и DHM®-R2200 представляет собой голографические микроскопы, использующие отраженный свет. Способность работать в областях с низким коэффициентом отражения (<1%) делает их идеальными инструментами для точных измерений оптической топографии большого разнообразия образцов.
   Благодаря высокой скорости сбора и обработки данных, а также простоте использования приборы DHM® позволяют проводить экспресс-проверки, автоматизированный контроль качества на линии производства и различные фундаментальные исследования.
   DHM®-R1000 — это самая простая и бюджетная модель серии DHM®-R, которая использует лишь один источник лазерного излучения и чрезвычайно проста в использовании. Это идеальный инструмент для измерения гладких поверхностей с неровностями или несплошностями менее 300 нм.
   Оборудование серии DHM®-R2000 позволяет использовать интерференцию на двух длинах волн одновременно с использованием одного регистрирующего тракта. Обе интерференционные картины записываются на одну голограмму и затем реконструируются независимо друг от друга.
   В процессе обработки они комбинируются и затем восстанавливаются вместе, тем самым позволяя расширить измерительный диапазон по вертикали до более чем десятка микрон. Эта уникальная особенность позволяет:

- увеличивать вертикальный диапазон, изображаемый без сканирования или переключения длин волн, до 15 мкм;

- проводить измерения поверхности в режиме «реального времени» для обеих конфигураций (одна длина волны, либо две длины волны) с использованием фазового и амплитудного (яркостного) контраста;

- субнанометровая разрешающая способность сохраняется для всего вертикального диапазона;

- неизменная простота использования и интуитивно понятный интерфейс программного обеспечения;

- нечувствительность к внешним вибрациям.

   Режим работы с использованием двух длин волн аналогичен режиму с одной длиной волны, сохраняет простые и мощные инструменты анализа, такие как: объединение в последовательности сканирований (автоматизация измерений больших площадей), измерения шероховатости поверхности, определения динамических характеристик работы микроустройств и многие другие.
   В зависимости от развитости рельефа исследуемого материала измерения могут производиться как на одной длине волны, так и с использованием их комбинации. Переключение между измерениями на одной и двух волнах осуществляется в момент регистрации голограммы.
   В приборах серии DHM®-R2200 интегрирован третий источник лазерного света, что позволяет получать еще одну комбинированную интерференционную картину и еще более расширяет измерительный диапазон.

Субнанометровая разрешающая способность во всем вертикальном диапазоне

Digital holographic microscopy (DHM)

Субнанометровая разрешающая способность, реализуемая в монохроматических измерениях, может оставаться неизменной и в широком вертикальном диапазоне, что реализуется с помощью дополнительного источника лазерного света с длиной волной, отличной от основной. Благодаря мощному алгоритму отображения, комбинирующему данные, полученные от измерений с одной длиной волны и комбинированных измерений на двух длинах волн вертикальное разрешение оборудования остается постоянным во всем вертикальном диапазоне.
Регистрация данных о поверхности в микронном диапазоне ведется непрерывно, что позволяет избегать артефактов, связанных с временем сбора данных и, таким образом, делает систему нечувствительной к внешним вибрациям. Изображение поверхности в режиме реального времени и функциональное программное обеспечение обеспечивают простоту использования и эффективность голографических микроскопов.

Основные характеристики

DHM R1000

Конфигурация

1 лазерный источник

Режимы измерений

по 1 длине волны

Точность

0.15 нм

Вертикальное разрешение

0.3 нм

Воспроизводимость

0.01 нм

Предел измерения (без сканирования)

200 мкм

Максимальная высота ступенек

333 нм

DHM R2100

Конфигурация

2 лазерных источника

Режимы измерений

по 1 или 2 длинам волн

Точность

0.15 нм

Вертикальное разрешение

0.3 нм

Воспроизводимость

0.01 нм

Предел измерения (без сканирования)

200 мкм

Максимальная высота ступенек

2.1 мкм

DHM R2200

Конфигурация

3 лазерных источника

Режимы измерений

по 1 или 2 длинам волн

Точность

0.15 нм

Вертикальное разрешение

0.3 нм

Воспроизводимость

0.01 нм

Предел измерения (без сканирования)

200 мкм

Максимальная высота ступенек

12 мкм

Видео
Principle of Digital Holographic Microscopy
Live 3D Profilometer LynceeTec

Расходные материалы и аксессуары

К расходным материалам и аксессуарам
Мы предлагаем широкий выбор расходных материалов и аксессуаров для зондовой атомно-силовой и электронной микроскопии по категориям:
Похожее оборудование
Голографические профилометры проходящего света
Являются единственными в своем роде оптическими профилометрами, предназначенными для инспекции поверхности в проходящем свете.
Оптический профилометр KLA Zeta-20
Настольный оптический профилометр, оснащенный запатентованной технологией ZDot и гибкой многорежимной оптикой для измерений 3D топографии поверхности, толщины пленок и автоматического контроля дефектов.
Оптический профилометр KLA Zeta-300
Оптический профилометр для работы с крупными образцами, оснащенный запатентованной технологией ZDot и гибкой многорежимной оптикой для измерений 3D топографии поверхности, толщины пленок и автоматического контроля дефектов.
Оптический профилометр KLA Zeta-388
Напольный оптический профилометр с кассетной загрузкой для автоматической инспекции и метрологии, оснащенный запатентованной технологией ZDot и гибкой многорежимной оптикой для измерений 3D топографии поверхности, толщины пленок и автоматического контроля дефектов.
Оптический профилометр KLA-Tencor MicroXAM-800
Интерферометр белого света (профилометр) для 3D анализа топологии поверхности.
Оптический профилометр Profilm3D
Доступные по цене бесконтактные системы анализа 3D-рельефа поверхности на основе интерферометрии белого света (WLI).
Промышленные стилусные профилометры Toho FP
Датчик KLA-Tencor. Измерение профиля поверхности полупроводниковых пластин в широком диапазоне значений, с высокой степенью автоматизации.
Стилусный профилометр HRP-260
Стилусный профилометр KLA-Tencor HRP-260 для измерения профиля поверхности пластин до 200 мм.
Стилусный профилометр KLA-Tencor Alpha-Step D-500
Может быстро и качественно провести анализ 2D-топографии поверхности размером до 30 мм.
Стилусный профилометр KLA-Tencor Alpha-Step D-600
Отличается возможностью размещения 200 мм пластин, наличию сервопривода предметного стола и опцией измерения механических напряжений, возникающих после нанесения тонких пленок.
Стилусный профилометр KLA-Tencor P-7
Платформа среднего класса, которая сочетает в себе все превосходные функции сканирования, присущие бренду KLA Instruments, производительность и одну из самых доступных цен среди аналогов.
Стилусный профилометр KLA-Tencor P-17
Представляют серию профилометров, специально разработанных для обеспечения потребностей мелкосерийных производств в профессиональном контроле.
Стилусный профилометр KLA-Tencor P-170
Кассетный профилометр, позволяющий проводить измерения в диапазоне от нескольких нанометров до одного миллиметра сразу у нескольких образцов в режиме 24/7.

Сервис и ремонт измерительного оборудования

Выезд сервис-инженера
В кратчайшие сроки к вам приедет наш сервисный инженер для проведения ремонта.
Сервисный договор
Обслуживание «под ключ»: график выездов, экстренные выезды,склад запчастей «быстрого реагирования».
Диагностика и ремонт
Ремонтируем аналитическое и лабораторное оборудование всех ведущих марок, как представляемых эксклюзивно нами, так и сторонних производителей.
Гарантия и качество
Большой опыт оказания услуг по сервисному обслуживанию и ремонту измерительного оборудования.
Сервис оборудования

ФОРМА ДЛЯ
ОБРАТНОЙ СВЯЗИ

Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.

Напишите свой вопрос, укажите интересующее оборудование.

Наша почта
sales@imc-systems.ru
Наш телефон
+7 (495) 374-04-01