KLA-Tencor RS-100

В течение уже почти двух десятилетий, приборы серии KLA-Tencor OmniMap являются «промышленным стандартом» для измерений удельного сопротивления и проводимости в ходе производства полупроводниковых пластин. Популярность оборудования обусловлена высокой точностью и воспроизводимостью измерений, высокой пропускной способностью контроля, а также новыми возможностями, такими как: автоматизация контроля и возможость для удовлетворения самых требовательных запросов (в т.ч. и для 300 мм технологии).

KLA-Tencor OmniMap RS100 — современная система для прецезионного измерения удельного сопротивления полупроводниковых пластин в широком диапазоне. Рассчитана на применение в условиях серийного производства, обладает функцией автоматической загрузки и сортировки пластин по результатам контроля, пригодна для измерений пластин до 300 мм.

Спектр применения KLA-Tencor OmniMap RS100 — от контроля нанесения металлизации, результатов химико-механической планаризации, ионной имплантации — до возможности оборудования измерять такие материалы как поликремний, медь и толстые кремниевые пластины.

Все это вместе делает оборудование незаменимым для измерений в процессе промышленного производства, контроле отклонения от технологического процесса, а также квалификации работы другого технологического оборудования.

• высокая точность и воспроизводимостью измерений,

• высокая пропускная способность контроля,

• автоматизация контроля,

• поддержка 300 мм технологии.