Главная Каталог Анализ физических свойств материалов Измерения электрических характеристик Холловский измеритель HL9900

Измерения электрических характеристик

Холловский измеритель HL9900

Onto Innovation Inc.

Описание оборудования

Установка HL9900 предназначена для измерения удельного сопротивления, подвижности и концентрации носителей при комнатной температуре и при температуре жидкого азота в полупроводниковых структурах на основе Si, GaAs, InP, SiC, GaN.

Измеритель HL9900 сконфигурирован для обработки подложек GaAs и GaN со слоевым сопротивлением от 0,1 мОм до 1 МОм при температуре от 90 К до 500 К. Магнитное поле более 0.5 Тл.

Основные характеристики

Слоевое сопротивление	0,1 мОм до 1 МОм
Концентрация носителей заряда	10⁶ до 10²¹ см^-3
Подвижность	1 до 10⁷ см²/В∙с
Диапазон задаваемых токов	100 нА до 19.9 мА
Измерение напряжений	–6 В до 6 В
Температура	90 К до 500 К

Узнать стоимость

Области применения

Все области применения

Металлургия

Геология

Криминалистика

Качество и безопасность пищевых продуктов

Фармацевтическая промышленность

Экология

Расходные материалы и аксессуары

К расходным материалам и аксессуарам

Мы предлагаем широкий выбор расходных материалов и аксессуаров для зондовой атомно-силовой и электронной микроскопии по категориям:

Зонды для АСМ

Аксессуары для АСМ

Расходные материалы
для АСМ и СЭМ

Компоненты для
сверхвысокого вакуума

Похожее оборудование

4Dimension 120-серия — Ручной измеритель удельного сопротивления

Многофункциональный измеритель сопротивления, идеально подходящий для проведения научно-исследовательской работы, связанной с измерением электрических характеристик материалов с высокой точностью.

233AC Измеритель электрического сопротивления

Система измерения электрического сопротивления четырехзондовым методом, является автоматизированной версией 280-й серии и предназначена для работы с кассетной загрузкой пластин.

280I-серия для измерения удельного сопротивления

Настольная система для измерения удельного сопротивления серии 280I обладает широким функционалом, охватывающим большинство задач, связанных с измерением удельного сопротивления полупроводниковых пластин.

Four Dimensions CVmap

Ртутные зонды, позволяющие проводить измерение электрических характеристик полупроводниковых пластин без нанесения металлизации.

KLA-Tencor RS-75

Эта модель специально ориентирована на применение в производстве для контроля широкого спектра технологических операций.

KLA-Tencor RS-100

Установка рассчитана на применение в условиях серийного производства, обладает функцией автоматической загрузки и сортировки пластин по результатам контроля, пригодна для измерений пластин до 300 мм.

KLA-Tencor RS-200

Полностью автоматическая работа обеспечивают улучшенные характеристики как для пластин 200 мм, так и 300 мм. Обеспечивает точное и надежное измерение удельного сопротивления при технологической норме от 45 нм и более.