Отличительной особенностью версии CV92М является сниженная стоимость по сравнению с базовой моделью CV92A при сохранении измерительных характеристик. Уменьшение стоимости достигается благодаря отсутствию некоторых функций автоматизации контроля, применяемых для контроля пластин в ходе серийного производства и зачастую излишних в лабораторных условиях.
Указанная версия прибора является оптимальной для ведения НИР, исследований в рамках мелкосерийного производства, а так же для использования в университетских лабораториях и научно-образовательных центрах.
Семейство ртутных зондов CV92 соединяет в себе самые передовые технологии компании 4Dimensions для инспекции полупроводниковых пластин с легкостью и безопасностью эксплуатации.
Технические характеристики
- Площадь контакта 2*10-5 — 2 см2
- Конфигурация: точка, точка и кольцо, четыре точки
- Размеры тестируемых пластин Ø0,5—8»
- Прикладываемое электрическое напряжение ± 1000В
- Частотный диапазон внешних разъемов для подключения измерителей до 10 МГц
- Ручной контроль положения тестируемой пластины с индикацией положения на ЖКИ
- Замкнутая система подачи ртути
- Вакуумный зажим образцов
- Габаритные размеры 800х610х270 мм
- Потребление 230В 200 Вт
- Вес 50 кг
Программное обеспечение
- Интуитивно понятный интерфейс пользователя
- ОС MS Windows
- Программные средства обработки и автоматизации измерений
- Двух– и трехмерные зависимости измеряемых параметров
- Графическое представление C-V, I-V, V-t зависимостей
- Импорт данных в формате ASCII в внешние программные среды
- Программное обеспечение для хранения и каталогизации данных
- Интерфейсы LAN/SECS, GEM
Программное обеспечение CVmap для измерения и анализа результатов контроля
Результаты измерения распределения степени легирования по площади пластины
Более подробная информация и брошюры доступны в разделе «Профилометры». Кроме того, всю интересующую информацию можно получить по запросу на адрес электронной почты sales@imc-systems.ru
