Назад

Анализатор МЭМС

Поделиться:
Анализатор МЭМС позволяет измерять перемещения в трехмерном варианте по всему полю зрения объектива одновременно, без применения сканирования по XYZ. Все данные о поверхности извлекаются одновременно с разрешающей способностью (по измерительной оси Z) на уровне лазерного измерителя вибраций (0,2 нм). Исследование топографии поверхности в режиме реального времени — Частотный диапазон от квазистатического режима до СВЧ (25 МГц) — Измерение МЭМС структур с вертикальными скоростями перемещений до 10 м/с Трехмерная виброметрия — Получение информации обо всей площади кадра единовременно – без сканирования по XYZ — Разрешающая способность измерения перемещений (1 нм в плоскости XY, 5 пм по измерительной оси Z) — Гибкая измерительная конфигурация — Возможность установки до 6 объективов на одну турель — Возможность измерения в замкнутых камерах (через смотровое стекло) Измерение топографии в динамическом режиме позволяет исследовать весь процесс работы МЭМС. Комплексный анализ перемещения элементов МЭМС дает уникальные комплексные сведения о поведении микроустройства в рабочем режиме. Применение голографического анализатора для исследований МЭМС структур Измерения в контролируемой атмосфере теперь возможно организовать с такой же легкостью, как и на открытом образце благодаря уникальной оптической схеме микроскопа. Исследование МЭМС может проводиться в условиях вакуАнализатор МЭМС позволяет измерять перемещения в трехмерном варианте по всему полю зрения объектива одновременно, без применения сканирования по XYZ. Все данные о поверхности извлекаются одновременно с разрешающей способностью (по измерительной оси Z) на уровне лазерного измерителя вибраций (0,2 нм).

Исследование топографии поверхности в режиме реального времени

— Частотный диапазон от квазистатического режима до СВЧ (25 МГц)

— Измерение МЭМС структур с вертикальными скоростями перемещений до 10 м/с

Трехмерная виброметрия

— Получение информации обо всей площади кадра единовременно – без сканирования по XYZ

— Разрешающая способность измерения перемещений (1 нм в плоскости XY, 5 пм по измерительной оси Z)

— Гибкая измерительная конфигурация

— Возможность установки до 6 объективов на одну турель

— Возможность измерения в замкнутых камерах (через смотровое стекло)

Измерение топографии в динамическом режиме позволяет исследовать весь процесс работы МЭМС. Комплексный анализ перемещения элементов МЭМС дает уникальные комплексные сведения о поведении микроустройства в рабочем режиме.ума, жидкости, газовой среде, при высоких/низких температурах и различном давлении. Кроме того, возможность использовать объективы с увеличенной рабочей длиной позволяет гибко организовывать измерения и осуществлять воздействия на образец одновременно с измерениями. Установка для непосредственного исследования МЭМС Возможность работать через смотровое стекло вакуумной камеры Программное обеспечение представляет очень широкие возможности для анализа различных перемещений: искривление, деформация, биения и прочее. Измерение амплитуды, угловой и линейной скоростей и ускорений осуществляется в каждой точке образца. Более того, программное обеспечение позволяет выполнять все элементы частотного анализа: Фурье, Бодэ анализ, определение параметров гармонических и негармонических процессов. Измерительные возможности и уникальные характеристики Lyncee Tec DHM Стробоскопический модуль делает возможным синхронизацию возбуждения МЭМС с моментом измерений. Таким образом в стробоскопическом режиме открывается возможность исследования периодических процессов с частотой событий до 25 МГц. Более подробная информация, а так же демо-измерения доступны на странице, посвященной Lyncee Tec DHM R на нашем веб-сайте, а так же по электронной почте sales@imc-systems.ru

Применение голографического анализатора для исследований МЭМС структур

Измерения в контролируемой атмосфере теперь возможно организовать с такой же легкостью, как и на открытом образце благодаря уникальной оптической схеме микроскопа. Исследование МЭМС может проводиться в условиях вакуума, жидкости, газовой среде, при высоких/низких температурах и различном давлении. Кроме того, возможность использовать объективы с увеличенной рабочей длиной позволяет гибко организовывать измерения и осуществлять воздействия на образец одновременно с измерениями.

MEMS handling

Установка для непосредственного исследования МЭМС

Vacuum setup

Возможность работать через смотровое стекло вакуумной камеры

Программное обеспечение представляет очень широкие возможности для анализа различных перемещений: искривление, деформация, биения и прочее. Измерение амплитуды, угловой и линейной скоростей и ускорений осуществляется в каждой точке образца. Более того, программное обеспечение позволяет выполнять все элементы частотного анализа: Фурье, Бодэ анализ, определение параметров гармонических и негармонических процессов.

Измерительные возможности и уникальные характеристики Lyncee Tec DHM

Стробоскопический модуль делает возможным синхронизацию возбуждения МЭМС с моментом измерений. Таким образом в стробоскопическом режиме открывается возможность исследования периодических процессов с частотой событий до 25 МГц.

Более подробная информация, а так же демо-измерения доступны на странице, посвященной Lyncee Tec DHM R на нашем веб-сайте, а так же по электронной почте sales@imc-systems.ru

Категории оборудования

Все категории
Анализ физических свойств материалов
Анализ размеров частиц, свойств поверхности, термический анализ и реология.
Испытания материалов
Оборудование для испытания различных материалов от биологических тканей до современных высокопрочных сплавов на сжатие, циклическое нагружение, усталостную прочность, ударные, многоосевые, реологические воздействия, растяжение и кручение.
Наука и нанотехнологии
Более 10 лет наша компания занимается поставкой и обслуживанием уникального научного оборудования в области материаловедения, физики и химии. Уникальные комплексы для микроскопии, спектроскопии поверхности твердых тел, физики твердого тела и криомагнитных исследований.
Контроль технологических процессов и выбросов
Широкий выбор решений для газового анализа и анализа жидкости в промышленности.
Измерения геометрии и топологии
Контрольное и измерительное оборудование для электронной промышленности, обеспечивающее разнообразные технологические нормы, объемы производства и типы изделий электронной техники. Мы предлагаем оборудование для всех стадий производства электронных компонентов: от контроля чистых пластин и их обработки, до корпусирования и электрического тестирования готовых изделий.
Элементный и изотопный анализ
Определение элементного состава различных объектов является одним из самых востребованных видов анализа практически во всех областях науки и технологии производства. Наибольшую значимость элементный анализ имеет в таких областях, как металлургия, производство химических продукции — реагентов, удобрений, растворителей, лекарственных средств, производство ядерного топлива и полупроводниковых материалов.
Оборудование для экологического мониторинга
Оборудование и комплексные решения, от отдельного газоанализатора до передвижных и стационарных экологических постов (ПЭП, ПЭЛ, АСКЗА), систем мониторинга промышленных дымовых выбросов и сбросов сточных вод предприятий.
Хроматография и масс-спектрометрия
Это метод разделения и анализа смесей, основанный на распределении вещества между двумя фазами, подвижной и неподвижной. Наиболее современным типом детектора для хроматографа являются масс-спектрометрические детекторы, обладающие высочайшей чувствительностью, а также позволяющие устанавливать структуру неизвестных соединений по точной массе, а также картине фрагментации.
Молекулярный анализ
Инфракрасная спектроскопия с преобразованием Фурье (FTIR) исследует жидкие, твердые и газообразные объекты и предназначена для определения структуры молекул. В качестве прикладных задач возможны контроль качества сырья и продукции, определение содержания загрязняющих веществ в природных объектах, расшифровка состава сложных смесей. Широко используется в криминалистике, фармацевтике, полупроводниковой и атомной промышленности.

Бренды оборудования

Расходные материалы и аксессуары

К расходным материалам и аксессуарам
Мы предлагаем широкий выбор расходных материалов и аксессуаров для зондовой атомно-силовой и электронной микроскопии по категориям:

Сервис и ремонт измерительного оборудования

Выезд сервис-инженера
В кратчайшие сроки к вам приедет наш сервисный инженер для проведения ремонта.
Сервисный договор
Обслуживание «под ключ»: график выездов, экстренные выезды,склад запчастей «быстрого реагирования».
Диагностика и ремонт
Ремонтируем аналитическое и лабораторное оборудование всех ведущих марок, как представляемых эксклюзивно нами, так и сторонних производителей.
Гарантия и качество
Большой опыт оказания услуг по сервисному обслуживанию и ремонту измерительного оборудования.
Сервис оборудования