FOLLOW US ON
+7 (495) 374-04-01
Отраслевые решения
Задать вопрос

beam cutter

Эллипсометрические измерения на прозрачных подложках теперь возможны благодаря инновационной технологии безынтерференционного освещения knife edge

Тонкие пленки на прозрачных подложках пользуются все возрастающим спросом в таких продвинутых современных технологиях, как гибкие дисплеи, пластиковые солнечные батареи, функциональные окна и новые концепции в освещении. Революционным методом в тонкопленочной метрологии является спектроскопическая эллипсометрия. Однако же прозрачные подложки являются предметом дискуссии из-за сильного фонового отражения. Проходя долгий оптический путь через прозрачный слой, свет становится некогерентным или частично когерентным. Это приводит к полной или частичной потере информации о фазе световой волны, что делает затруднительным или вовсе невозможным определение метрологических параметров образца. Чтобы как-то уменьшить эффект фонового отражения, нижнюю поверхность обрабатывают различными агентами, как например, лентами, клеями или пастами. После этого, как правило, образец становится непригодным для дальнейших исследований.

Главная задача состоит в том, чтобы подавить фоновое отражение для оптимизации эллипсометрических измерений на прозрачных подложках, не повреждая образец.

Подходящим и эффективным способом устранения фонового отражения от нижней поверхности является искусственное образование области тени с помощью технологии безынтерференционного освещения.

Посредством передвижения острого края устройства под названием “beam cutter” в область луча визуализирующего эллипсометра образец освещается строго очерченным краем.

Отраженный от задней поверхности свет имеет хорошо очерченный край. По отношению к внутреннему углу падения он попадает на поверхность на определенном расстоянии от режущего края. Область тени между ними оказывается неискаженной артефактами фонового отражения.

 

Закрыть

Задать вопрос

Оборудование для контроля воды IMC Systems - научное оборудование, инспекция в полупроводниковой промышленности, оборудование для экологического мониторинга и контроля технологических процессов

ФИО*
Компания
Телефон и email*
Напишите вопрос и наименование продукции*
Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.