RU EN
Задать вопрос

Сверхвысоковакуумные смотровые окна

VACGEN предлагает широкий выбор сверхвысоковакуумных смотровых окон с разыми свойствами пропускания. Они позволяют оператору осуществлять контроль операций как в камерах высокого, так и сверхвысокого вакуума. Все окна могут использоваться в диапазоне давлений 1 бар — 1×10-11 мбар.

Оглавление:

Боросиликатные смотровые окна (Kodial Viewports).
Смотровые окна из плавленого кварца.
Смотровые окна из фторида кальция.
Смотровые окна с сапфировым стеклом.
Защитные затворы.
Люки воздушного шлюза с механизмом быстрого запирания.
Стеклянные диски со свинцовым покрытием.

 

Боросиликатные смотровые окна (Kodial Viewports).

Очень крепкая конструкция, стекло вплавляется во фланец посредство индукционного нагрева без использования иных связующих материалов.

Kodial® Viewports

Описание:
Уплотнение достигается за счет индукционного нагрева.
Клей не используется при производстве окон.
Применимы в системах высокого и сверхвысокого вакуума.
Малая толщина.
Диапазон давления от 1 бар до 1×10-11 мбар.
Размеры 34мм, 70мм, 114мм, 152мм и 203мм
Отжиг до 350°C

Боросиликатные смотровые окна совместимы с фланцами CF. Окна содержат оптику из боросиликатного стекла, которая герметизирована с кольцом сварки Kovar с использованием процесса индукционного нагревателя. Оптические узлы испытаны на гелиевые утечки и очищены в условиях сверхвысокого вакуума.

Боросиликатные смотровые окна с кольцом крепления из стали 304L
DN тип Диаметр фланца

А, мм

Диаметр окна

В, мм

Размер С, мм Размер O, мм Температура отжига, оС Артикул
DN19 34 15,8 8 1 350 ZVPZ16
DN40 70 37 13 2,5 350 ZVPZ38
DN63 114 63,6 17,5 3 350 ZVPZ64
DN100 152 89,2 20 3 350 ZVPZ100
DN150 203 137 22 4 350 ZVPZ150

 

Боросиликатные смотровые окна с кольцом крепления из стали 316LN
DN тип Диаметр фланца

А, мм

Диаметр окна

В, мм

Размер С, мм Размер O, мм Температура отжига, оС Артикул
DN19 34 15,8 8 1 350 ZVPZL16
DN40 70 37 13 2,5 350 ZVPZL38
DN63 114 63,6 17,5 3 350 ZVPZL64
DN100 152 89,2 20 3 350 ZVPZL100
DN150 203 137 22 4 350 ZVPZL150

Скачать брошюру VACGEN 

Смотровые окна из плавленого кварца.

Окно имеет толщину, не превышающую толщину его монтажного фланца. Оно обеспечивает широкий угол обзора вакуумной камеры Изготовлено из кварцевого стекла высокой чистоты.

Описание:
Применимы в системах высокого и сверхвысокого вакуума.
Диапазон допустимых температур от -20оС до 120 оС.
Скорость изменения температуры 3 оС в минуту.
Диапазон давления от 1 бар до 1×10-11 мбар.
Скорость утечки менее 1×10-10 мбар.*л/сек.

 

Смотровые окна из плавленого кварца совместимы с фланцами CF. Окна состоят из прозрачной пластины высокочистого оптического кварц стекла и монтажного фланца стали 304L или 316LN POA.

Fused Silica Quartz Viewport

Смотровые окна из плавленого кварца
DN тип Диаметр фланца

А, мм

Диаметр окна

В, мм

Размер С, мм Размер O, мм Температура отжига, оС Артикул
DN19 34 16 12,7 1,5 200 ZVPFSQ16
DN40 70 32 12,7 3 200 ZVPFSQ38
DN40 70 38 12,7 3 200 ZVPFSQ38W
DN63 114 63 17,4 4.5 200 ZVPFSQ64
DN100 152 89 19,9 6 200 ZVPFSQ100

 

Скачать брошюру VACGEN 

Смотровые окна из фторида кальция.

Смотровые окна совместимы с фланцами CF из нержавеющей стали 304L. Конструкция окно из фтористого кальция позволяет отжиг при температуре 120 оС. Окно обеспечивает пропускную способность в широком оптическом диапазоне от глубокого ультрафиолетового до инфракрасного.

 

Calcium Fluoride Zero Length Viewport

 

Описание:
Применимы в системах высокого и сверхвысокого вакуума.
Диапазон допустимых температур от -20оС до 120 оС.
Скорость изменения температуры 3 оС в минуту.
Диапазон давления от 1 бар до 1×10-11 мбар.
Скорость утечки менее 1×10-10 мбар.*л/сек.
Плоскостность λ / 4

Смотровые окна из плавленого кварца
DN тип Диаметр фланца

А, мм

Диаметр окна

В, мм

Размер С, мм Размер O, мм Температура отжига, оС Артикул
DN19 34 15 12,7 1,5 120 ZVPCF16
DN40 70 32 12,7 3 120 ZVPCF38
DN40 70 38 12,7 3 120 ZVPCF38W
DN63 114 63 17,4 4.5 120 ZVPCF64
DN100 152 89 19,9 6 120 ZVPCF100

Смотровые окна с сапфировым стеклом.

Окно имеет толщину, не превышающую толщину его монтажного фланца. Оно обеспечивает широкий угол обзора вакуумной камеры. Окна с сапфировым стеклом монтируются в высокотемпературные системы высокого и сверхвысокого вакуума.

Описание:
Применимы в системах высокого и сверхвысокого вакуума.
Температура отжига 450 оС
Диапазон допустимых температур от -20оС до 450 оС.
Скорость изменения температуры 3 оС в минуту.
Диапазон давления от 1 бар до 1×10-11 мбар.
Скорость утечки менее 1×10-10 мбар.*л/сек.
Плоскостность λ / 4

 

Смотровые окна с сапфировым стеклом.
DN тип Диаметр фланца

А, мм

Диаметр окна

В, мм

Размер С, мм Размер O, мм Температура отжига, оС Артикул
DN19 34 15 12,7 1,5 450 ZVPSA16
DN40 70 32 12,7 1,5 450 ZVPSA38
DN40 70 38 12,7 1,5 450 ZVPSA38W
DN63 114 63 17,4 2 450 ZVPSA64
DN100 152 89 19,9 2,5 450 ZVPSA100
DN150 203 136 22,3 4 450 ZVPSA150

Защитные затворы.

Заслонки вакуумного смотрового окна используются для защиты внутренней поверхности окна от осадка материала, выбрасываемого при обработке тонких пленок подложек. Конструкция жалюзи имеет максимально широкий угол обзора и максимальный уровень защиты зоны обзора.

Описание:
Поворотный привод со встроенным упором.
Специальный экран для обеспечения максимального угла обзора и максимальной защиты смотрового окна.
Простой монтаж под стандартными смотровыми окнами VACGEN.

Защитный затвор –технические характеристики.
Материал створки Нержавеющая сталь
Монтажное уплотнение OFHC прокладка (с обоих сторон)
Рабочий диапазон давлений От 1 бар до 1,33*10-10 мбара
Скорость утечки 33*10-10 мбара*л/сек.
Диапазон рабочих температур 0 оС – 200 оС
Температура отжига 250 оС
Материал основы Сталь 304L
Система открытия Поворотный привод
Монтаж Под любым углом.

 

DN тип Размер А, мм Диаметр В, мм Артикул
DN63 197 114 ZVPS63
DN100 235 152 ZVPS100
DN150 285 202 ZVPS150

 

Люки воздушного шлюза с механизмом быстрого запирания.

Серия люков быстрого запирания предназначена для загрузки образцов в камеру воздушного шлюза, чтобы сохранять в основной вакуумной камере в условия сверхвысокого вакуума. Все люки данной серии оснащены многоразовыми уплотнительными кольцами Viton®.

Описание:
Температура отжига 200 оС
Материал сталь 304L.
Уплотнение Viton®
Монтажные отверстия с резьбой М8.

Диаметр фланца, мм А, мм B, мм C, мм D, мм E, мм F, мм G, мм J, мм Артикул
114 61,2 28,5 37 8,5 65,8 73,5 71,9 69 ZHD64
152 99,4 30,5 40 11,5 82,3 90,3 91,3 88,5 ZHD100
203 149,7 32,5 47,5 13,5 112,5 120,5 116,8 121,8 ZHD150

 

Стеклянные диски со свинцовым покрытием.

Стеклянные диски со свинцовым покрытием используются для защиты от рентгеновского излучения которое может проходить через смотровое вакуумное окно. Диск крепится с внешней стороны окна

Описание:
Комплект состоит из стеклянного диска со свинцовым покрытием и крепежного кольца
Комплект устанавливается на любое смотровое окно соответствующего диаметра.
Комплект может быть снят без нарушения вакуума
Диски имеют толщину 6 мм что эквивалентно толщине свинца 1,5 мм для источников рентгеновского излучения до 150 кВ.
Максимальная температура отжига 450 оС.

Стеклянные диски со свинцовым покрытием .
DN тип Диаметр фланца, мм Артикул
DN16CF 34 VPZ16LGDR
DN38CF 70 VPZ38LGDR
DN64CF 114 VPZ64LGDR
DN100CF 152 VPZ100LGDR
DN150CF 203 VPZ150LGDR

 

Закрыть

Задать вопрос

Сверхвысоковакуумные смотровые окна

ФИО*
Компания
Телефон*
Email*
Напишите вопрос и наименование продукции*
Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.