VACGEN предлагает широкий выбор сверхвысоковакуумных смотровых окон с разыми свойствами пропускания. Они позволяют оператору осуществлять контроль операций как в камерах высокого, так и сверхвысокого вакуума. Все окна могут использоваться в диапазоне давлений 1 бар — 1×10-11 мбар.
Боросиликатные смотровые окна (Kodial Viewports).
Смотровые окна из плавленого кварца.
Смотровые окна из фторида кальция.
Смотровые окна с сапфировым стеклом.
Защитные затворы.
Люки воздушного шлюза с механизмом быстрого запирания.
Стеклянные диски со свинцовым покрытием.
Очень крепкая конструкция, стекло вплавляется во фланец посредство индукционного нагрева без использования иных связующих материалов.
Описание:
Уплотнение достигается за счет индукционного нагрева.
Клей не используется при производстве окон.
Применимы в системах высокого и сверхвысокого вакуума.
Малая толщина.
Диапазон давления от 1 бар до 1×10-11 мбар.
Размеры 34мм, 70мм, 114мм, 152мм и 203мм
Отжиг до 350°C
Боросиликатные смотровые окна совместимы с фланцами CF. Окна содержат оптику из боросиликатного стекла, которая герметизирована с кольцом сварки Kovar с использованием процесса индукционного нагревателя. Оптические узлы испытаны на гелиевые утечки и очищены в условиях сверхвысокого вакуума.
| Боросиликатные смотровые окна с кольцом крепления из стали 304L | ||||||
| DN тип | Диаметр фланца
А, мм |
Диаметр окна
В, мм |
Размер С, мм | Размер O, мм | Температура отжига, оС | Артикул |
| DN19 | 34 | 15,8 | 8 | 1 | 350 | ZVPZ16 |
| DN40 | 70 | 37 | 13 | 2,5 | 350 | ZVPZ38 |
| DN63 | 114 | 63,6 | 17,5 | 3 | 350 | ZVPZ64 |
| DN100 | 152 | 89,2 | 20 | 3 | 350 | ZVPZ100 |
| DN150 | 203 | 137 | 22 | 4 | 350 | ZVPZ150 |
| Боросиликатные смотровые окна с кольцом крепления из стали 316LN | ||||||
| DN тип | Диаметр фланца
А, мм |
Диаметр окна
В, мм |
Размер С, мм | Размер O, мм | Температура отжига, оС | Артикул |
| DN19 | 34 | 15,8 | 8 | 1 | 350 | ZVPZL16 |
| DN40 | 70 | 37 | 13 | 2,5 | 350 | ZVPZL38 |
| DN63 | 114 | 63,6 | 17,5 | 3 | 350 | ZVPZL64 |
| DN100 | 152 | 89,2 | 20 | 3 | 350 | ZVPZL100 |
| DN150 | 203 | 137 | 22 | 4 | 350 | ZVPZL150 |
Окно имеет толщину, не превышающую толщину его монтажного фланца. Оно обеспечивает широкий угол обзора вакуумной камеры Изготовлено из кварцевого стекла высокой чистоты.
Описание:
Применимы в системах высокого и сверхвысокого вакуума.
Диапазон допустимых температур от -20оС до 120 оС.
Скорость изменения температуры 3 оС в минуту.
Диапазон давления от 1 бар до 1×10-11 мбар.
Скорость утечки менее 1×10-10 мбар.*л/сек.
Смотровые окна из плавленого кварца совместимы с фланцами CF. Окна состоят из прозрачной пластины высокочистого оптического кварц стекла и монтажного фланца стали 304L или 316LN POA.
| Смотровые окна из плавленого кварца | ||||||
| DN тип | Диаметр фланца
А, мм |
Диаметр окна
В, мм |
Размер С, мм | Размер O, мм | Температура отжига, оС | Артикул |
| DN19 | 34 | 16 | 12,7 | 1,5 | 200 | ZVPFSQ16 |
| DN40 | 70 | 32 | 12,7 | 3 | 200 | ZVPFSQ38 |
| DN40 | 70 | 38 | 12,7 | 3 | 200 | ZVPFSQ38W |
| DN63 | 114 | 63 | 17,4 | 4.5 | 200 | ZVPFSQ64 |
| DN100 | 152 | 89 | 19,9 | 6 | 200 | ZVPFSQ100 |
Смотровые окна совместимы с фланцами CF из нержавеющей стали 304L. Конструкция окно из фтористого кальция позволяет отжиг при температуре 120 оС. Окно обеспечивает пропускную способность в широком оптическом диапазоне от глубокого ультрафиолетового до инфракрасного.
Описание:
Применимы в системах высокого и сверхвысокого вакуума.
Диапазон допустимых температур от -20оС до 120 оС.
Скорость изменения температуры 3 оС в минуту.
Диапазон давления от 1 бар до 1×10-11 мбар.
Скорость утечки менее 1×10-10 мбар.*л/сек.
Плоскостность λ / 4
| Смотровые окна из плавленого кварца | ||||||
| DN тип | Диаметр фланца
А, мм |
Диаметр окна
В, мм |
Размер С, мм | Размер O, мм | Температура отжига, оС | Артикул |
| DN19 | 34 | 15 | 12,7 | 1,5 | 120 | ZVPCF16 |
| DN40 | 70 | 32 | 12,7 | 3 | 120 | ZVPCF38 |
| DN40 | 70 | 38 | 12,7 | 3 | 120 | ZVPCF38W |
| DN63 | 114 | 63 | 17,4 | 4.5 | 120 | ZVPCF64 |
| DN100 | 152 | 89 | 19,9 | 6 | 120 | ZVPCF100 |
Окно имеет толщину, не превышающую толщину его монтажного фланца. Оно обеспечивает широкий угол обзора вакуумной камеры. Окна с сапфировым стеклом монтируются в высокотемпературные системы высокого и сверхвысокого вакуума.
Описание:
Применимы в системах высокого и сверхвысокого вакуума.
Температура отжига 450 оС
Диапазон допустимых температур от -20оС до 450 оС.
Скорость изменения температуры 3 оС в минуту.
Диапазон давления от 1 бар до 1×10-11 мбар.
Скорость утечки менее 1×10-10 мбар.*л/сек.
Плоскостность λ / 4
| Смотровые окна с сапфировым стеклом. | ||||||
| DN тип | Диаметр фланца
А, мм |
Диаметр окна
В, мм |
Размер С, мм | Размер O, мм | Температура отжига, оС | Артикул |
| DN19 | 34 | 15 | 12,7 | 1,5 | 450 | ZVPSA16 |
| DN40 | 70 | 32 | 12,7 | 1,5 | 450 | ZVPSA38 |
| DN40 | 70 | 38 | 12,7 | 1,5 | 450 | ZVPSA38W |
| DN63 | 114 | 63 | 17,4 | 2 | 450 | ZVPSA64 |
| DN100 | 152 | 89 | 19,9 | 2,5 | 450 | ZVPSA100 |
| DN150 | 203 | 136 | 22,3 | 4 | 450 | ZVPSA150 |
Заслонки вакуумного смотрового окна используются для защиты внутренней поверхности окна от осадка материала, выбрасываемого при обработке тонких пленок подложек. Конструкция жалюзи имеет максимально широкий угол обзора и максимальный уровень защиты зоны обзора.
Описание:
Поворотный привод со встроенным упором.
Специальный экран для обеспечения максимального угла обзора и максимальной защиты смотрового окна.
Простой монтаж под стандартными смотровыми окнами VACGEN.
| Защитный затвор –технические характеристики. | |
| Материал створки | Нержавеющая сталь |
| Монтажное уплотнение | OFHC прокладка (с обоих сторон) |
| Рабочий диапазон давлений | От 1 бар до 1,33*10-10 мбара |
| Скорость утечки | 33*10-10 мбара*л/сек. |
| Диапазон рабочих температур | 0 оС – 200 оС |
| Температура отжига | 250 оС |
| Материал основы | Сталь 304L |
| Система открытия | Поворотный привод |
| Монтаж | Под любым углом. |
| DN тип | Размер А, мм | Диаметр В, мм | Артикул |
| DN63 | 197 | 114 | ZVPS63 |
| DN100 | 235 | 152 | ZVPS100 |
| DN150 | 285 | 202 | ZVPS150 |
Серия люков быстрого запирания предназначена для загрузки образцов в камеру воздушного шлюза, чтобы сохранять в основной вакуумной камере в условия сверхвысокого вакуума. Все люки данной серии оснащены многоразовыми уплотнительными кольцами Viton®.
Описание:
Температура отжига 200 оС
Материал сталь 304L.
Уплотнение Viton®
Монтажные отверстия с резьбой М8.
| Диаметр фланца, мм | А, мм | B, мм | C, мм | D, мм | E, мм | F, мм | G, мм | J, мм | Артикул |
| 114 | 61,2 | 28,5 | 37 | 8,5 | 65,8 | 73,5 | 71,9 | 69 | ZHD64 |
| 152 | 99,4 | 30,5 | 40 | 11,5 | 82,3 | 90,3 | 91,3 | 88,5 | ZHD100 |
| 203 | 149,7 | 32,5 | 47,5 | 13,5 | 112,5 | 120,5 | 116,8 | 121,8 | ZHD150 |
Стеклянные диски со свинцовым покрытием используются для защиты от рентгеновского излучения которое может проходить через смотровое вакуумное окно. Диск крепится с внешней стороны окна
Описание:
Комплект состоит из стеклянного диска со свинцовым покрытием и крепежного кольца
Комплект устанавливается на любое смотровое окно соответствующего диаметра.
Комплект может быть снят без нарушения вакуума
Диски имеют толщину 6 мм что эквивалентно толщине свинца 1,5 мм для источников рентгеновского излучения до 150 кВ.
Максимальная температура отжига 450 оС.
| Стеклянные диски со свинцовым покрытием . | ||
| DN тип | Диаметр фланца, мм | Артикул |
| DN16CF | 34 | VPZ16LGDR |
| DN38CF | 70 | VPZ38LGDR |
| DN64CF | 114 | VPZ64LGDR |
| DN100CF | 152 | VPZ100LGDR |
| DN150CF | 203 | VPZ150LGDR |
Задать вопрос
Сверхвысоковакуумные смотровые окна
