RU EN
Задать вопрос

NaniteAFM — самый маленький модуль АСМ, который может быть интегрирован в любую пользовательскую систему

Основные особенности:

  • идеален для самых различных нужд и применений
  • возможна автоматизация измерений
  • подходит для работы с большими, тяжелыми или изогнутыми образцами

NaniteAFM от Nanosurf позволяет проводить исследование и контроль высокотехнологичных поверхностей многих образцов, вне зависимости от их типа и размера. В данной миниатюрной системе сочетаются возможность зондового сканирования, контроль поверхности двумя видеокамерами и моторизированный блок, для высокоточного позиционирования сканера. Для работы требуется лишь пространство для установки, около 300 см3.

Внешний вид и варианты интеграции модуля NaniteAFM

Функциональность

В качестве крепления NaniteAFM используется пластина типа «ласточкин хвост». За счет специальных посадочных мест в приборе возможна быстрая и высокоточная установка кантилеверов, дополнительного лазерного выравнивания не требуется. Благодаря этому существенно сокращается время, затрачиваемое на проведение экспериментов.

Этой же цели служат два камеры с разрешением 2 мкм, встроенные в модуль. Одна из них дает изображение поверхности образца «сверху», позволяет найти на нем интересующие области и быстро расположить кантилевер прямо над ними. Благодаря второй камере можно увидеть образец под кантилевером «сбоку» (угол обзора – 45 о), что очень удобно при начальном приближении зонда к объекту (в пределах нескольких десятков микрометров).

Изображения сверху и сбоку (1 и 2), простой снимок и АСМ (3 и 4)

Дополнительная экономия времени оператора может быть осуществлена за счет автоматизации работы NaniteAFM. Модуль имеет ряд встроенных в интерфейс сценариев для проведения измерений серий образцов. Анализ и создание отчетов также можно настроить.

Пример автоматизации измерений

NaniteAFM – это один из лучших приборов для проведения контроля образцов, получения информации о качестве их поверхностей в наномасштабе. Он одинаково подходит как для непрозрачных, так и для прозрачных образцов. Многие фирмы используют данный модуль для анализа поверхности различных стекол.

Изображение (A) и статистический анализ (B) шероховатости поверхности стекла

Изображение (A) и профиль по высоте (B) наноразмерных неровностей на стекле.

Отображение фазового состава совместно с топографией поверхности.
Слева представлено исследование механических свойств резины. Справа – изучение намагниченности в тонком слое пермаллоя

Стандартные
моды 
Электрические
свойства
Механические свойства
Динамическая полуконтактная мода (теппинг режим) Атомно-силовая микроскопия
с измерением тока (C-AFM)
Модуляция силы взаимодействия
Контактная мода Электростатическая силовая микроскопия (EFM) Силовое картирование
Мода отображения фаз Силовая спектроскопия
Сканирующая микроскопия сопротивления растекания (SSRM) Литография и Наноманипуляции
Магнитные свойства
Магнитно-силовая микроскопия (MFM)

 

Технические характеристики

Модуль NaniteAFM

110 мкм 70 мкм 25 мкм
Максимальный диапазон сканирования (XY)(1) 110 мкм 70 мкм 25 мкм
Максимальная высота(1) 22 мкм 14 мкм 5 мкм
Средняя ошибка линейности XY < 0.6% < 1.2% < 0.7%
Уровень шума при измерениях по оси Z (RMS, статический режим) ср. 350 пм / макс. 500 пм ср. 350 пм / макс. 500 пм ср. 80 пм / макс. 150 пм
Уровень шума при измерениях по оси Z (RMS, динамический режим) ср. 90 пм / макс. 150 пм ср. 90 пм / макс. 150 пм ср. 30 пм / макс. 50 пм
Установка кантилевера Выравнивание происходит автоматически, за счет специальных посадочных мест
Мониторинг поверхности образца Две встроенных USB камеры:

вид «сверху»: цветная матрица 3.1 МП;
4х-кратное опт. увеличение макс. разрешение ≈ 2.1 мкм и апертура ≈ 0.115

вид «сбоку»: монохромная матрица 1.3 МП

Кантилевер

Ширина мин. 28 мкм
Длина мин. 225 мкм
Светоотражающее покрытие рекомендуется
Измерения в жидких средах нет возможности
Форма кантилеверов только одиночные, прямоугольного сечения
Толщина чипа 300 мкм

(1) Допуск ±10% для 110 мкм, и ±15 % для 70 мкм и 25 мкм

скачать PDF
Закрыть

Скачать PDF

ФИО*
Компания
E-mail*
Телефон*

Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.

Закрыть

Задать вопрос

NaniteAFM — самый маленький модуль АСМ, который может быть интегрирован в любую пользовательскую систему

ФИО*
Компания
Телефон*
Email*
Напишите вопрос и наименование продукции*
Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.