Атомно-силовой микроскоп Nanosurf LensAFM позволяет проводить исследования тогда, когда возможности оптических микроскопов и 3D профилометров достигают своих пределов. Данный блок может быть установлен как обычный объектив, что автоматически повышает разрешающую способность и другие измерительные возможности этих приборов. При этом LensAFM предоставляет не только информацию о 3D топографии поверхности образцов, но и позволяет анализировать их физические свойства.
В настоящее время все больше возникает ситуаций, когда для исследований недостаточно информации, получаемой методами оптической микроскопии. С одной стороны, оптические микроскопы выделяются за счет простоты использования, возможности скрининга и минимальными требованиями по пробоподготовке. С другой, типичного 100-кратного объектива может быть недостаточно для получения достаточной информации об особенностях поверхности. Решение данной проблемы в обычной ситуации потребует наличия в лаборатории 2х специализированных приборов (оптического и атомно-силового микроскопов) и необходимости дополнительного перемещения образца. LensAFM позволяет оптимизировать данный процесс: за счет исключительно компактной конструкции и разработанного механизма крепления на микроскоп или профилометр, все, что вам нужно сделать, это повернуть револьверную головку прибора и запустить сканирование. Используется только один прибор, никаких дополнительных перемещений образцов.
Комбинирование LensAFM с какой-либо оптической системой значительно повышает разрешение снимков и обеспечивает дополнительные возможности для проведения измерений и визуализации результатов.
Дефекты металлической поверхности, наблюдаемые через объектив микроскопа, при 100-кратном приближении. Природа и точная структура остаются неясными.
Тот же участок при просмотре через 8-кратный объектив LensAFM. На данном оптическом изображении виден кантилевер АСМ, что позволяет легко его установить на интересующий участок образца.
АСМ топография, полученная благодаря LensAFM. По данному трехмерному изображению изучаемый дефект четко идентифицируется как дырка в слое покрытия, частично заполненные мусором.
| Стандартные моды | Электрические свойства | Механические свойства |
| Динамическая полуконтактная мода (теппинг режим) | Атомно-силовая микроскопия с измерением тока (C-AFM) | Модуляция силы взаимодействия |
| Контактная мода | Электростатическая силовая микроскопия (EFM) | Силовое картирование |
| Мода отображения фаз | Силовая спектроскопия | |
| Сканирующая микроскопия сопротивления растекания (SSRM) | Литография и Наноманипуляции | |
| Магнитные свойства | ||
| Магнитно-силовая микроскопия (MFM) |
Предметный столик |
|
| Максимальный диапазон сканирования (XY) | 70 мкм (1) |
| Максимальная высота (Z) | 14 мкм (1) |
| Средняя ошибка линейности XY | < 1.2% |
| Уровень шума при измерениях по оси Z (RMS, статический режим, воздух) | ср. 350 пм / макс. 500 пм |
| Уровень шума при измерениях по оси Z (RMS, динамический режим, воздух) | ср. 90 пм / макс. 150 пм |
| Установка кантилевера | автоматическая самонастройка |
| Предустановка | встроенный 8-кратный объектив с парфокальным расстоянием 45 или 60 мм |
| Точность установки при АСМ измерениях | ±10 мкм |
Кантилевер |
|
| Ширина | мин. 20 мкм |
| Длина | мин. 40 мкм |
| Светоотражающее покрытие | рекомендуется |
| Измерения в жидких средах | Да, с золотым покрытием |
| Толщина чипа | 300 мкм, 500 мкм или 600 мкм в зависимости от вида кантилевера |
(1) – Допуск ± 15%
Скачать PDF
Задать вопрос
LensAFM — АСМ в дополнение к возможностям оптических микроскопов
