Основные особенности:
Alphacen 300 является серийно выпускаемым продуктом, результатом многих лет исследований и работы с индивидуальными заказами различных клиентов.
Видеодемонстрация работы Alphacen 300
Мощное и удобное программное обеспечение Alphacen 300 позволяет без вмешательства пользователя проводить предварительный мониторинг поверхности по анализу видеоизображения и отмечать интересующие области.
Размер изображения: 1.5 мкм x 1.5 мкм
Обнаружено, что высота ступенек между большими террасами составляет 1.5 нм, между большой и малой – 0.75 нм.
Размер изображения: 5 мкм x 5 мкм
Шероховатость поверхности: 0.112 нм RMS (0.087 нм Ra).
Практика показывает, что большинство атомно-силовых микроскопов в основном предназначены для анализа полупроводниковых пластин размером до 200 мм. Очевидно, что в таком случае исследования могут быть ограничены как формой, так и массой исследуемых образцов. Крупногабаритные и тяжелые виды продукции встречаются, например, и в сфере оптического производства (большие линзы различного назначения), и в сфере производства полупроводниковых приборов. Alphacen 300, являясь полноценным прибором для исследований методами АСМ, нивелирует подобные ограничения. Данный прибор имеет предметный столик, позволяющий свободно перемещаться по XY в пределах области на 300 мм x 300 мм и фиксировать каждую точку на образце. При необходимости диапазон измерений по оси X можно расширить вплоть до 500 мм. Максимально допустимый вес образца – 40 кг. Возможные режимы измерений представлены ниже в таблице.
| Стандартные моды | Магнитные свойства | Механические свойства |
| Динамическая полуконтактная мода (теппинг режим) | Магнитно силовая микроскопия (MFM) | Модуляция силы взаимодействия |
| Контактная мода | Силовое картирование | |
| Мода поперечных сил | Электрические свойства | Силовая спектроскопия |
| Мода отображения фаз | Атомно-силовая микроскопия с измерением тока (C-AFM) | Микроманипуляции и растяжение |
| Пьезоэлектрическая силовая микроскопия (PFM) | Жесткость и упругость | |
| Температурная микроскопия | Электростатическая силовая микроскопия (EFM) | Адгезия |
| Сканирующая микроскопия теплопроводности (SThM) | Зондовая силовая микроскопия Кельвина (KPFM) | Литография и Наноманипуляции |
| Сканирующая микроскопия сопротивления растекания (SSRM) | Электрохимическая атомно силовая микроскопия (EC-AFM) |
Сканер |
|
| Вид сканирования | Сканирование зондом |
| Максимальный диапазон сканирования (XY) | 100 мкм(1) |
| Максимальная высота (Z) | 10 мкм(1) |
| Средняя ошибка линейности XY | < 0.1% |
| XY-плоскостность при максимальном диапазоне сканирования | ср. 5 нм |
| Уровень шума Z-сенсора (RMS) | ср. 150 пм / макс. 200 пм |
| Уровень шума при измерениях по оси Z (RMS, статический режим, воздух) |
ср. 100 пм / макс. 200 пм |
| Уровень шума при измерениях по оси Z (RMS, динамический режим, воздух) |
ср. 25 пм / макс. 35 пм |
| Источник света | 850 нм низкокогерентный СЛД (суперлюминесцентный диод) |
Предметный столик |
|
| Поле зрения (сверху) | 5 MP, 1.5 мм x 1.1 мм |
| Поле зрения (сбоку) | 5 MP, 3.2 мм x 3.2 мм |
| Максимальный размер образца | 300 мм x 300 мм x 45 мм |
| Максимальная масса образца | 40 кг |
| Позиционирование по XY | 300 мм x 300 мм |
| Позиционирование по высоте | 50 мм |
| Размеры системы | 1008 мм x 1887 мм x 1208 мм |
| Масса системы | 833 кг |
| Акустическая изоляция | ~30 дБ |
| Виброизоляция | активная |
Кантилевер |
|
| Ширина | мин. 20 мкм |
| Длина | мин. 40 мкм |
| Светоотражающее покрытие | рекомендуется |
| Измерения в жидких средах | Да, с золотым покрытием |
| Толщина чипа | 300 мкм, 500 мкм или 600 мкм в зависимости от вида кантилевера |
(1) Допуск ± 10%
Скачать PDF
Задать вопрос
Alphacen 300 — атомно-силовая микроскопия для больших и тяжелых образцов
