RU EN
Задать вопрос

Alphacen 300 — атомно-силовая микроскопия для больших и тяжелых образцов

Основные особенности:

  • стандартная система для АСМ
  • максимальные размеры образцов 300 мм x 300 мм
  • максимальная масса образцов – 40 кг

Alphacen 300 является серийно выпускаемым продуктом, результатом многих лет исследований и работы с индивидуальными заказами различных клиентов.

Видеодемонстрация работы Alphacen 300

Функциональность

Мощное и удобное программное обеспечение Alphacen 300 позволяет без вмешательства пользователя проводить предварительный мониторинг поверхности по анализу видеоизображения и отмечать интересующие области.

Размер изображения: 1.5 мкм x 1.5 мкм

Обнаружено, что высота ступенек между большими террасами составляет 1.5 нм, между большой и малой – 0.75 нм.

Размер изображения: 5 мкм x 5 мкм

Шероховатость поверхности: 0.112 нм RMS (0.087 нм Ra).

Практика показывает, что большинство атомно-силовых микроскопов в основном предназначены для анализа полупроводниковых пластин размером до 200 мм. Очевидно, что в таком случае исследования могут быть ограничены как формой, так и массой исследуемых образцов. Крупногабаритные и тяжелые виды продукции встречаются, например, и в сфере оптического производства (большие линзы различного назначения), и в сфере производства полупроводниковых приборов. Alphacen 300, являясь полноценным прибором для исследований методами АСМ, нивелирует подобные ограничения. Данный прибор имеет предметный столик, позволяющий свободно перемещаться по XY в пределах области на 300 мм x 300 мм и фиксировать каждую точку на образце. При необходимости диапазон измерений по оси X можно расширить вплоть до 500 мм. Максимально допустимый вес образца – 40 кг. Возможные режимы измерений представлены ниже в таблице.

Стандартные моды  Магнитные свойства Механические свойства
Динамическая полуконтактная мода (теппинг режим) Магнитно силовая микроскопия (MFM) Модуляция силы взаимодействия
Контактная мода Силовое картирование
Мода поперечных сил Электрические свойства Силовая спектроскопия
Мода отображения фаз Атомно-силовая микроскопия с измерением тока (C-AFM) Микроманипуляции и растяжение
Пьезоэлектрическая силовая микроскопия (PFM) Жесткость и упругость
Температурная микроскопия Электростатическая силовая микроскопия (EFM) Адгезия
Сканирующая микроскопия теплопроводности (SThM) Зондовая силовая микроскопия Кельвина (KPFM) Литография и Наноманипуляции
Сканирующая микроскопия сопротивления растекания (SSRM) Электрохимическая атомно силовая микроскопия
(EC-AFM)

Технические характеристики

Сканер

Вид сканирования Сканирование зондом
Максимальный диапазон сканирования (XY) 100 мкм(1)
Максимальная высота (Z) 10 мкм(1)
Средняя ошибка линейности XY < 0.1%
XY-плоскостность при максимальном диапазоне сканирования ср. 5 нм
Уровень шума Z-сенсора (RMS) ср. 150 пм / макс. 200 пм
Уровень шума при измерениях по оси Z
(RMS, статический режим, воздух)
ср. 100 пм / макс. 200 пм
Уровень шума при измерениях по оси Z
(RMS, динамический режим, воздух)
ср. 25 пм / макс. 35 пм
Источник света 850 нм низкокогерентный СЛД (суперлюминесцентный диод)

Предметный столик

Поле зрения (сверху) 5 MP, 1.5 мм x 1.1 мм
Поле зрения (сбоку) 5 MP, 3.2 мм x 3.2 мм
Максимальный размер образца 300 мм x 300 мм x 45 мм
Максимальная масса образца 40 кг
Позиционирование по XY 300 мм x 300 мм
Позиционирование по высоте 50 мм
Размеры системы 1008 мм x 1887 мм x 1208 мм
Масса системы 833 кг
Акустическая изоляция ~30 дБ
Виброизоляция активная

Кантилевер

Ширина мин. 20 мкм
Длина мин. 40 мкм
Светоотражающее покрытие рекомендуется
Измерения в жидких средах Да, с золотым покрытием
Толщина чипа 300 мкм, 500 мкм или 600 мкм в зависимости от вида кантилевера

(1) Допуск ± 10%

скачать PDF
Закрыть

Скачать PDF

ФИО*
Компания
E-mail*
Телефон*

Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.

Закрыть

Задать вопрос

Alphacen 300 — атомно-силовая микроскопия для больших и тяжелых образцов

ФИО*
Компания
Телефон*
Email*
Напишите вопрос и наименование продукции*
Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.