Описание оборудования
- стандартная система для АСМ
- максимальные размеры образцов 300 мм x 300 мм
- максимальная масса образцов – 40 кг
Alphacen 300 является серийно выпускаемым продуктом, результатом многих лет исследований и работы с индивидуальными заказами различных клиентов.
Мощное и удобное программное обеспечение Alphacen 300 позволяет без вмешательства пользователя проводить предварительный мониторинг поверхности по анализу видеоизображения и отмечать интересующие области.
Практика показывает, что большинство атомно-силовых микроскопов в основном предназначены для анализа полупроводниковых пластин размером до 200 мм. Очевидно, что в таком случае исследования могут быть ограничены как формой, так и массой исследуемых образцов. Крупногабаритные и тяжелые виды продукции встречаются, например, и в сфере оптического производства (большие линзы различного назначения), и в сфере производства полупроводниковых приборов. Alphacen 300, являясь полноценным прибором для исследований методами АСМ, нивелирует подобные ограничения. Данный прибор имеет предметный столик, позволяющий свободно перемещаться по XY в пределах области на 300 мм x 300 мм и фиксировать каждую точку на образце. При необходимости диапазон измерений по оси X можно расширить вплоть до 500 мм. Максимально допустимый вес образца – 40 кг. Возможные режимы измерений представлены ниже в таблице.
Основные характеристики
Сканер |
|
Вид сканирования |
Сканирование зондом |
---|---|
Режимы измерений |
Стандартные моды:
Температурная микроскопия:
Магнитные свойства:
Электрические свойства:
Механические свойства:
|
Максимальный диапазон сканирования (XY) |
100 мкм(1)
|
Максимальная высота (Z) |
10 мкм(1)
|
Средняя ошибка линейности XY |
< 0.1% |
XY-плоскостность при максимальном диапазоне сканирования |
ср. 5 нм |
Уровень шума Z-сенсора (RMS) |
ср. 150 пм / макс. 200 пм |
Уровень шума при измерениях по оси Z |
ср. 100 пм / макс. 200 пм |
Уровень шума при измерениях по оси Z |
ср. 25 пм / макс. 35 пм |
Источник света |
850 нм низкокогерентный СЛД (суперлюминесцентный диод) |
Предметный столик |
|
Поле зрения (сверху) |
5 MP, 1.5 мм x 1.1 мм |
Поле зрения (сбоку) |
5 MP, 3.2 мм x 3.2 мм |
Максимальный размер образца |
300 мм x 300 мм x 45 мм |
Максимальная масса образца |
40 кг |
Позиционирование по XY |
300 мм x 300 мм |
Позиционирование по высоте |
50 мм |
Размеры системы |
1008 мм x 1887 мм x 1208 мм |
Масса системы |
833 кг |
Акустическая изоляция |
~30 дБ |
Виброизоляция |
активная |
Кантилевер |
|
Ширина |
мин. 20 мкм |
Длина |
мин. 40 мкм |
Светоотражающее покрытие |
рекомендуется |
Измерения в жидких средах |
Да, с золотым покрытием |
Толщина чипа |
300 мкм, 500 мкм или 600 мкм в зависимости от вида кантилевера |
(1) Допуск ± 10%
Сервис и ремонт измерительного оборудования
ФОРМА ДЛЯ
ОБРАТНОЙ СВЯЗИ
Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.
Напишите свой вопрос, укажите интересующее оборудование.