RU EN
Задать вопрос

beam cutter

Эллипсометрические измерения на прозрачных подложках теперь возможны благодаря инновационной технологии безынтерференционного освещения knife edge

Тонкие пленки на прозрачных подложках пользуются все возрастающим спросом в таких продвинутых современных технологиях, как гибкие дисплеи, пластиковые солнечные батареи, функциональные окна и новые концепции в освещении. Революционным методом в тонкопленочной метрологии является спектроскопическая эллипсометрия. Однако же прозрачные подложки являются предметом дискуссии из-за сильного фонового отражения. Проходя долгий оптический путь через прозрачный слой, свет становится некогерентным или частично когерентным. Это приводит к полной или частичной потере информации о фазе световой волны, что делает затруднительным или вовсе невозможным определение метрологических параметров образца. Чтобы как-то уменьшить эффект фонового отражения, нижнюю поверхность обрабатывают различными агентами, как например, лентами, клеями или пастами. После этого, как правило, образец становится непригодным для дальнейших исследований.

Главная задача состоит в том, чтобы подавить фоновое отражение для оптимизации эллипсометрических измерений на прозрачных подложках, не повреждая образец.

Подходящим и эффективным способом устранения фонового отражения от нижней поверхности является искусственное образование области тени с помощью технологии безынтерференционного освещения.

Посредством передвижения острого края устройства под названием “beam cutter” в область луча визуализирующего эллипсометра образец освещается строго очерченным краем.

Отраженный от задней поверхности свет имеет хорошо очерченный край. По отношению к внутреннему углу падения он попадает на поверхность на определенном расстоянии от режущего края. Область тени между ними оказывается неискаженной артефактами фонового отражения.

 

Закрыть

Задать вопрос

beam cutter

ФИО*
Компания
Телефон и email*
Напишите вопрос и наименование продукции*
Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.