Установка молекулярно-лучевой эпитаксии LAB-10
Краткий обзор МЛЭ установки LAB-10
Установка молекулярно-лучевой эпитаксии LAB-10 MBE — это стандартная система молекулярно-пучковой эпитаксии (МЛЭ, МПЭ) с шлюзовой камерой и дополнительной камерой пробоподготовки / хранения образцов. Размер подложки для системы составляет 10×10 мм — стандартная пластина образца компании ScientaOmicron.
Проверенная конструкция камеры системы LAB-10 MBE с эффузионными ячейками (до 7-ми) демонстрирует отличную однородность толщины пленки в процессе роста для подложки 10×10 мм. Емкость эффузионной ячейки варьируется в пределах от 10 см3 до 35 см3 для роста одного слоя.
Быстрая и надежная система перемещения образца вместе с отличной производительностью приводит к низкой стоимости владения системой LAB-10 MBE. Опциональное программное обеспечение, позволяющее легко и интуитивно управлять процессом роста пленки, а также возможность доукомплектации системы LAB-10 MBE стандартным аналитическим оборудованием компании ScientaOmicron позволяет считать эту систему молекулярно-лучевой эпитаксии уникальной для исследователей.
Области применения
- Рост металлических пленок
- Рост полупроводников (III-V, III-N, II-VI, SiGe)
- Рост магнитных материалов
- Рост оксидов
- Рост органики
Камера молекулярно-лучевой эпитаксии установки LAB-10
- Емкость эффузионных ячеек от 10 см3 до 35 см3
- электронно-лучевые испарители EFM
- Ротационные задвижки на эффузионных ячейках
- На камере МЛЭ оборудованы следующие порты: окна наблюденя за процессом трансфера образцов, два наклоненных фланца для эллипсометрии, фланец для мониторинга интенсивности потока пучка, кварцевые микровесы, RGA, фланец для продувки, для измерения давления, фланец для RHEED пушки и экрана
- Большой порт откачки
- Один фланец, перпендикулярный образцу, для оптических измерений
Общие особенности конструкции:
Дистанция между всеми компонентами системы подобрана для оптимального доступа ко всем эффузионным ячейкам. Все лезвия затвора работают с модулями «мягкого подвода».Управление скоростью движения затвора следует по синусоидальной кривой скорости, что позволяет избежать отбрасывания частиц затвором. Особое внимние было уделено системам безопасности и удобству управления МЛЭ установкой. Специальные тенты для отжига позволяют добиться гомогенного распределения тепла для оптимального вакуума и чистоты.
Система поставляется полностью в сборе и тестируется на заводе как готовое к работе решение для молекулрно-лучевой эпитаксии для исследовательских нужд.
Система молекулярно-лучевой эпитаксии LAB-10 MBE может быть легко расширена с помощью аналитических систем ScientaOmicron, давая доступ к самым разным методикам in-situ анализа — СЗМ, АСМ, РФЭС, УФС, Оже, РЭМ и многи других. Данная итнеграция не ухудшает производительности МЛЭ установки.
Общий вид системы в сборе:
