Описание оборудования
Эллипсометрия – очень чувствительный оптический метод, который используется уже в течение более чем 100 лет с целью получения информации о поверхности. Он основан на том явлении, что состояние поляризации света изменяется при отражении от поверхностей раздела сред. Основоположником метода эллипсометрии является немецкий исследователь Пауль Друде, применявший ее для получения оптических констант металлов и сверхтонких пленок. Затем долгое время метод оставался невостребованным. Однако в середине 20-го века с бурным развитием микроэлектроники, появлением лазеров и вычислительной техники он получил второе рождение и на сегодняшний день применяется в самых разных областях: микро- и наноэлектронике, физике полупроводников и физике твёрдого тела, в оптике, электрохимии, химии полимеров, биологии, медицине и в других, и занимает лидирующее место в ряду других аналитических методов.
Спектральные визуализирующие эллипсометры Accurion
Как комбинация методов нуль-эллипсометрии и микроскопии, спектральная визуализирующая эллипсометрия существенно расширяет возможности классического метода. Кроме возможности определения толщины и оптических свойств пленок и слоев, метод позволяет получить качественные изображения поверхностей с наилучшим латеральным разрешением среди подобных приборов — 1 мкм.
Визуализирующий эллипсометр Accurion Nanofilm_EP4 обладает набором уникальных особенностей в сочетании с in-situ визуализацией в реальном времени. Это позволяет наблюдать структуру образца на микроскопическом уровне и измерять такие параметры, как: толщину покрытий, коэффициенты преломления и поглощения с картированием выбранной поверхности образца по этим параметрам.
Отличительные особенности и области применения эллипсометров Accurion:
• Прямая in-situ визуализация образца с наилучшим латеральным разрешением по сравнению с коммерчески доступными аналогами.
• Исследования в диапазоне от 250 нм до 1700 нм с возможностью получения изображений на любой из длин волн в этом диапазоне.
• Большой набор аксессуаров для различных применений (ячейки для исследований границ раздела твердое — жидкость, жидкость — жидкость, контроля температуры, электрохимическая ячейка и многое другое).
• Запатентованная концепция «region of interest (ROI)» дает возможность параллельного исследования нескольких областей внутри выбранного поля зрения.
• Изучение динамических структур, таких как, движущиеся и образующиеся монослои на водной поверхности, растущие и адсорбированные слои, взаимодействие протеинов и многое другое.
• Изящное решение проблемы фоновых отражений при исследовании образцов на тонких прозрачных подложках beam cutter.
• Уникальная разработка среди объективов Nanochromat_2 для высокоразрешающей контрастной визуализации в диапазоне ультрафиолет (УФ) – ближний инфракрасный (БИК) свет с минимизированными искажающими эффетами.
• Интерактивное и легкое в использовании программное обеспечение для контроля и моделирования «EP4Control», полностью управляющее работой прибора и предлагающее широкий спектр возможностей обработки данных
Сервис и ремонт измерительного оборудования
ФОРМА ДЛЯ
ОБРАТНОЙ СВЯЗИ
Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.
Напишите свой вопрос, укажите интересующее оборудование.