NanoESCA — РФЭ спектрометр и микроскоп

• Предельное разрешение РФЭС визуализации: 500 нм / 100 нм (Лаборатория/Синхротрон)
• Удобная навигация образца при помощи фотоэлектронной микроскопии
• Спектроскопия с малым пятном облучения
• Энергетический фильтр с поправкой на аберрацию
• Монохромный рентгеновский источник высокой мощности
• µARUPS с предельным углом охвата
• Создан в сотрудничестве с FOCUS GmbH

Новаторский дизайн от Scienta Omicron:
NanoESCA предлагает отображение химических состояний с непревзойденным РФЭС латеральным разрешением (< 500 нм в лабораторных условиях). Прибор позволяет анализировать мельчайшие образцы, давая информацию о химическом состоянии за пределами применимости других методов с высоким латеральным разрешением, например, Оже-сканирования и времяпролетной МСВИ.

Навигация образца в режиме реального времени обеспечивается посредством фотоэлектронной микроскопии, которая работает в режиме вторичных электронов. Режим фотоэлектронной микроскопии позволяет легко обнаружить мельчайшие особенности образца и обеспечивает высокое разрешение (< 50 нм). Кроме того режим фотоэлектронной микроскопии обеспечивает количественную информацию о локальной работе выхода и локальном заряде образца.

Система NanoESCA может комплектоваться опцией μARUPS, которая позволяет анализировать k-пространство с предельным углом охвата в микронных областях, например, в небольших зернах в поликристаллической поверхности образца.

За ее революционный дизайн система NanoESCA получила награду R&D 100 в 2007 году.