СЗМ для больших образцов происходят от известных микроскопов VT серии и предлагают идеальное решение для больших образцов диаметром вплоть до 4 дюймов.
Ключевые особенности:
Интеграция
Конструкция прбора легко позволяет совмещать его с приборами молеулярно-пучковой эпитаксии и изготовления полупроводниковых пластин. СЗМ для больших образцов размещаются в специально разработанных камерах и имеют внутреннюю пружинную подвеску и вихретоковое демпфирование. Камера может непосредственно устанавливаться на существующую вакуумную систему.
При работе с некоторыми системами (такими, как системы с большими механическими насосами или криогенными генераторами) возникают критически высокие уровни вибраций. Для таких случаев разработана специальная подсистема с высокопроизводительным механизмом подавления вибраций.
Замена зонда и образца
СЗМ для больших образцов обладает возможностью управления образцом. Линейный привод осуществляет перемещение образца в камеру микроскопа, где он далее размещается на погрузочное устройство и опускается на столик микроскопа для осуществления сканирования.
 |
 |
 |
 |
Вихретоковое демфирование
Вместе с микроскопом UHV STM1 компания Omicron представила систему вихретокового демпфирования, установившую новую веху в технологии высоковакуумных СЗМ. Она типична для всех систем СЗМ Omicron и обеспечивает высокое разрешение сканирующей туннельной микроскопии даже в неидеальных условиях на протяжении уже более 25 лет.
Задать вопрос
Large Sample SPM
