Комплекс NanoSAM (также называемый Оже-микрозонд) является основным инструментом для Оже-спектроскопии (анализа малых структур). Благодаря уникальной производительности электронной колонны Gemini сверхвысокого вакуума, NanoSAM гарантирует непревзойденное разрешение лучше 5 нм в сканирующей Оже микроскопии и лучше 3 нм в микроскопии вторичных электронов.
В отличие от других систем, Оже-спектрометр NanoSAM обладает очень хорошим разрешением не только на стандартной энергии пучка в 20 кэВ, но и при энергии в 5 кэВ — разрешение в сканирующей Оже микроскопии при этой энергии остается лучше 10 нм. Режим низких энергий позволяет работать в диапазоне параметров, где сечения Оже высоки и хорошо документированы для количественного анализа.
Оже-спектрометр NanoSAM предназначен как для быстрого и эффективного сбора данных с рутинных образцов, так и для гибкой работы в нетипичных диапазонах параметров на сложных материалах. Кроме того, функциональность NanoSAM может быть расширена с помощью методик дополнительного анализа ключевых характеристик образцов: кристаллической структуры (дифракция отраженных электронов) или структуры магнитных доменов (сканирующая электронная микроскопия с поляризационным анализом). Другими особенностями NanoSAM являются: определение профиля распределения веществ по глубине, зарядовая нейтрализация, фокусируемый ионный пучок и электронно-лучевая литография.
Задать вопрос
Оборудование для контроля воды IMC Systems - научное оборудование, инспекция в полупроводниковой промышленности, оборудование для экологического мониторинга и контроля технологических процессов