Модули линейного перемещения.

Оглавление:

LDP Вакуумные линейные приводы.
Модуль перемещения по оси Z серии TR.
RD2 Модуль передачи вращения в линейное перемещение.
Микрометрический привод LDM.
Шарнирный модуль Механическая рука МН.
Угловой манипулятор WS20.
Линейный реечный привод – LRP2 и RLRP2.
Линейный реечный привод – LRP6 и RLRP6.

LDP Вакуумные линейные приводы.

Устройства серии LDР представляют собой приводы линейного перемещения  в условиях сверхвысокого вакуума, для передвижения образца или датчика относительно его монтажного фланца от 25 мм до 150 мм с плавной и надежной работой. С полным ассортиментом фланцев и наконечников зонда. Данные устройства могут использоваться практически во всех задачах, где требуется перемещение образца внутри вакуумной системы.

Описание:
Рабочий режим до температуры 250°C.
Скорость утечки 1*10^-10 мбар.* л./сек.
Диапазон давлений от 1*10^-11 мбар до 1 бара.
Тип линейное перемещение
Блокировка положения

Модуль перемещения по оси Z серии TR.

Модуль TR представляет собой сильфон с внутренним отверстием 33 мм. Возможно ручное и моторизованное управление. Жесткая опорная рама и направляющие обеспечивают точность и плавность движения и вращения.

Описание:
Диапазон перемещения по оси Z 150, 300, 450 и 600 мм.
Диаметр внутреннего отверстия 33 мм (без опорной трубки).
Винтовой привод для всех диапазонов перемещения (дополнительный винтовой привод перемещения для сдвига на большие расстояния).
Точность составляет 0,01 для ручного управления; 0,005 для автоматического.
Линейное перемежение 2 мм за 1 оборот.
Возможна установка шагового двигателя с концевыми выключателями.
Верхний фланец 70 мм.
Монтажный фланец 70 мм.
Температура отжига 250 ^оС (со снятыми двигателями и выключателями).
Возможен монтаж под лютым углом.

RD2 Модуль передачи вращения в линейное перемещение.

Диапазон перемещений 12 и 24 мм. Минимальные люфты обеспечивают точное позиционирование объекта внутри вакуумной системы.

Описание:
Милый люфт.
Скорость вращения до 500 об/мин.
Фланец диаметром 70 мм.
Градуированный маховик со шкалой Вернье (Нониуса).
Осевая нагрузка: поворотный вал 40 Н.
Линейные перемещения вала 12 и 24 мм.
Длинный сильфон.
Температура отжига 230 ^оС (без двигателей).
Возможна установка шаговых двигателей и экодера.

Микрометрический привод LDM.

Микрометрический линейный привод обеспечивает перемещение внутри вакуумной камеры с точностью до 5 микрон.

Описание:
Микрометрические приводы.
Температура отжига до 230 ^оС
Осевая нагрузка 25 Н.
Доступны с ходом штока 25 и 50 мм.
Крепежный фланец диаметром 70 мм. — перемещаемый фланец диаметром 33 мм.
Крепежный фланец диаметром 33 мм. – диаметр штока 9 мм.

Шарнирный модуль Механическая рука МН.

Механическая рука используется для захвата линейного, вращательного и углового перемещения объектов в вакуумной системе. Эргономичная рукоятка передает истинное положение образца внутри вакуумной камеры.

Описание:
Линейное перемещение от 80 до 280 мм.
Угловое перемещение ±22 ^о.
Двойной сварной сильфон.
Внешний фланец диаметром 70 мм.
Скорость утечки менее 1*10^-11 мбар*л/сек.
Модуль выполнен из нержавеющей стали со стороны вакуумной системы.
Фиксация положения.
Подпружиненный захват.
Плоскость захвата перпендикулярна штоку.

Механическая рука может использоваться и для переноса образцов и как вакуумная отвертка.

Угловой манипулятор WS20.

Модуль перемещения допускает ограниченное линейное и угловое перемещение. Управление ручкой переводит движение в вакуумную оболочку.

Описание:
Линейное перемещение 20мм.
Угловое перемещение ±7,5 ^о.
Температура отжига до 250 ^оС.
Вал диаметром 6,35 мм с резьбовым отверстием M3.
Вся конструкция из нержавеющей стали.
Скорость утечки менее 1*10^-11 мбар*л/сек.
Диапазон давлений от 1 бара до 10^-11 мбар.

Линейный реечный привод — LRP2 и RLRP2.

Конструкция реечной линейной передачи обеспечивает точное перемещение объекта внутри вакуумной системы с возможностью вращения. В конструкции не применяются магнитные связи.

Описание:
Немагнитное точное линейное перемещение.
Широкий диапазон перемещений с возможностью непрерывного вращения.
Малое отклонение образца при полностью выдвинутом штоке.
Температура отжига до 250 ^оС.
Скорость утечки менее 1*10^-11 мбар*л/сек.
Диапазон давлений от 1 бара до 10^-11 мбар.
Крепежный фланец диаметром 70 мм.
Дополнительный фланец насоса.
Возможны варианты автоматизации.

Линейный реечный привод – LRP6 и RLRP6.

Конструкция реечной линейной передачи обеспечивает точное перемещение объекта внутри вакуумной системы с возможностью вращения. В конструкции не применяются магнитные связи.

Описание:
Немагнитное точное линейное перемещение.
Широкий диапазон перемещений с возможностью непрерывного вращения.
Малое отклонение образца при полностью выдвинутом штоке.
Температура отжига до 250 ^оС.
Скорость утечки менее 1*10^-11 мбар*л/сек.
Диапазон давлений от 1 бара до 10^-11 мбар.
Крепежный фланец диаметром 152 мм.
Шток диаметром 28,6 мм с внутренним валом 9 мм
Дополнительный фланец насоса.
Возможны варианты автоматизации.