LDP Вакуумные линейные приводы.
Модуль перемещения по оси Z серии TR.
RD2 Модуль передачи вращения в линейное перемещение.
Микрометрический привод LDM.
Шарнирный модуль Механическая рука МН.
Угловой манипулятор WS20.
Линейный реечный привод – LRP2 и RLRP2.
Линейный реечный привод – LRP6 и RLRP6.
Устройства серии LDР представляют собой приводы линейного перемещения в условиях сверхвысокого вакуума, для передвижения образца или датчика относительно его монтажного фланца от 25 мм до 150 мм с плавной и надежной работой. С полным ассортиментом фланцев и наконечников зонда. Данные устройства могут использоваться практически во всех задачах, где требуется перемещение образца внутри вакуумной системы.
Описание:
Рабочий режим до температуры 250°C.
Скорость утечки 1*10-10 мбар.* л./сек.
Диапазон давлений от 1*10-11 мбар до 1 бара.
Тип линейное перемещение
Блокировка положения
LDP Вакуумные линейные приводы. | |||||||||
Размер фланца OD, мм |
Перемещение, мм | Управление | Шкала положения | Длинна L, мм |
Размер R, мм |
Размер Е, мм |
Артикул | ||
34 | 25 | Ручн. | Есть | 264 | 90 | 116 | ZLDP925 | ||
34 | 50 | Ручн. | Есть | 323 | 90 | 141 | ZLDP950 | ||
34 | 100 | Ручн. | Есть | 441 | 90 | 192 | ZLDP910 | ||
34 | 150 | Ручн. | Есть | 559 | 90 | 242 | ZLDP915 | ||
70 | 25 | Ручн. | Нет | 140 | 33 | 58 | ZLDP225 | ||
70 | 50 | Ручн. | Нет | 174 | 41 | 92 | ZLDP250 | ||
70 | 100 | Ручн. | Нет | 241 | 58 | 160 | ZLDP210 | ||
70 | 150 | Ручн. | Нет | 308 | 74 | 226 | ZLDP215 | ||
34 | 25 | Пневм. | Нет | 269 | 90 | 116 | ZLDP925P | ||
34 | 50 | Пневм. | Нет | 327 | 90 | 141 | ZLDP950P | ||
34 | 100 мах | Пневм. | Нет | 445 | 90 | 192 | ZLDP910P | ||
70 | 25 | Пневм. | Нет | 268 | 33 | 58 | ZLDP225P | ||
70 | 50 | Пневм. | Нет | 326 | 41 | 92 | ZLDP250P | ||
70 | 100 мах | Пневм. | Нет | 444 | 58 | 160 | ZLDP210P | ||
Дополнительный комплект концевых выключателей: 2 герконовых переключателя ZLDPRSK2 | ZLDPRSK2 | ||||||||
Комплект смазки для серии ZLDP9 и ZLDP2 | ZLUBEK |
Модуль TR представляет собой сильфон с внутренним отверстием 33 мм. Возможно ручное и моторизованное управление. Жесткая опорная рама и направляющие обеспечивают точность и плавность движения и вращения.
Описание:
Диапазон перемещения по оси Z 150, 300, 450 и 600 мм.
Диаметр внутреннего отверстия 33 мм (без опорной трубки).
Винтовой привод для всех диапазонов перемещения (дополнительный винтовой привод перемещения для сдвига на большие расстояния).
Точность составляет 0,01 для ручного управления; 0,005 для автоматического.
Линейное перемещение 2 мм за 1 оборот.
Возможна установка шагового двигателя с концевыми выключателями.
Верхний фланец 70 мм.
Монтажный фланец 70 мм.
Температура отжига 250 оС (со снятыми двигателями и выключателями).
Возможен монтаж под любым углом.
TR Характеристики. | |||||
DN тип | Внешний фланец, мм | Управление | Разрешение, мм | Температура отжига, оС | Артикул |
DN 40 | 70 | Ручное | 0,01 | 250 | ZTR1570 |
DN 40 | 70 | Ручное | 0,01 | 250 | ZTR3070 |
DN 40 | 70 | Ручное | 0,01 | 250 | ZTR4570 |
DN 40 | 70 | Ручное | 0,01 | 250 | ZTR6070 |
DN 40 | 70 | Шаговый двигатель | 0,005 | 250 * | ZTR1570W |
DN 40 | 70 | Шаговый двигатель | 0,005 | 250 * | ZTR3070W |
DN 40 | 70 | Шаговый двигатель | 0,005 | 250 * | ZTR4570W |
DN 40 | 70 | Шаговый двигатель | 0,005 | 250 * | ZTR6070W |
DN 40 | 70 | Шаговый двигатель с энкодером | 0,005 | 250 * | ZTR1570E |
DN 40 | 70 | Шаговый двигатель с энкодером | 0,005 | 250 * | ZTR3070E |
DN 40 | 70 | Шаговый двигатель с энкодером | 0,005 | 250 * | ZTR4570E |
DN 40 | 70 | Шаговый двигатель с энкодером | 0,005 | 250 * | ZTR6070E |
* Со снятыми двигателями и выключателями. |
TR Размеры | ||||
Перемещение Z, мм | Размер А max, мм | Размер А min, мм | Размер В, мм | Артикул |
150 | 279 | 129 | 314 | ZTR1570 |
300 | 466 | 166 | 499 | ZTR3070 |
450 | 652 | 202 | 685 | ZTR4570 |
600 | 815 | 215 | 849 | ZTR6070 |
150 | 279 | 129 | 314 | ZTR1570W |
300 | 466 | 166 | 499 | ZTR3070W |
450 | 652 | 202 | 685 | ZTR4570W |
600 | 815 | 215 | 849 | ZTR6070W |
150 | 279 | 129 | 314 | ZTR1570E |
300 | 466 | 166 | 499 | ZTR3070E |
450 | 652 | 202 | 685 | ZTR4570E |
600 | 815 | 215 | 849 | ZTR6070E |
Диапазон перемещений 12 и 24 мм. Минимальные люфты обеспечивают точное позиционирование объекта внутри вакуумной системы.
Описание:
Милый люфт.
Скорость вращения до 500 об/мин.
Фланец диаметром 70 мм.
Градуированный маховик со шкалой Вернье (Нониуса).
Осевая нагрузка: поворотный вал 40 Н.
Линейные перемещения вала 12 и 24 мм.
Длинный сильфон.
Температура отжига 230 оС (без двигателей).
Возможна установка шаговых двигателей и экодера.
RD2 Модуль передачи вращения в линейное перемещение. | |||||
Диаметр фланца, мм | Первичное вращение | Вторичное перемещение, мм | Разрешение первичного вращения | Разрешение вторичного перемещения | Артикул |
70 | Непрерывное | 12 | 0,1 | 0,02 | ZRD2 |
70 | Непрерывное | 24 | 0.1 | 0,02 | ZRD224 |
Дополнение первичным шаговым двигателем R1 | Непрерывное | 0,01 | — | ZRDPMKW | |
Дополнение шаговым двигателем c экодером | Непрерывное | 1,01 | — | ZRDPMKE | |
Первичный R1.
Вторичный шаговый двигатель R2 |
— | Max 24 | 0,01 | 18 шагов на 0,005 мм | ZRDSMKW |
Вторичный шаговый двигатель с экодером R2 | — | Max 24 | 1,01 | 18 шагов на 0,005 мм | ZRDSMKE |
Крутящий момент, первичный | Момент перемещения вторичный | Передаточное число | Артикул |
0,5 Нм при
500 об / мин |
5 Нм при 10 оборотов в минуту | ZRD2 | |
0,5 Нм при
500 об / мин |
5 Нм при 10 оборотов в минуту | ZRD224 | |
4 Нм в 16
максимальная частота вращения |
4 Нм в 16
максимальная частота вращения |
ZRDPMKW | |
4 Нм в 16
максимальная частота вращения |
4 Нм в 16
максимальная частота вращения |
ZRDPMKE | |
9:01 | ZRDSMKW | ||
9:01 | ZRDSMKE |
Микрометрический линейный привод обеспечивает перемещение внутри вакуумной камеры с точностью до 5 микрон.
Описание:
Микрометрические приводы.
Температура отжига до 230 оС
Осевая нагрузка 25 Н.
Доступны с ходом штока 25 и 50 мм.
Крепежный фланец диаметром 70 мм. — перемещаемый фланец диаметром 33 мм.
Крепежный фланец диаметром 33 мм. – диаметр штока 9 мм.
Микрометрический привод LDM. | |||||
DN тип | Диаметр фланца, мм | Перемещение, мм | Управление | Разрешение | Артикул |
DN16 | 34 | 25 | Микрометр | 0,01 | ZLDM925 |
DN16 | 34 | 50 | Микрометр | 0,005 | ZLDM950 |
DN40 | 70 | 25 | Микрометр | 0,01 | ZLDM225 |
DN40 | 70 | 50 | Микрометр | 0,005 | ZLDM250 |
Механическая рука используется для захвата линейного, вращательного и углового перемещения объектов в вакуумной системе. Эргономичная рукоятка передает истинное положение образца внутри вакуумной камеры.
Описание:
Линейное перемещение от 80 до 280 мм.
Угловое перемещение ±22 о.
Двойной сварной сильфон.
Внешний фланец диаметром 70 мм.
Скорость утечки менее 1*10-11 мбар*л/сек.
Модуль выполнен из нержавеющей стали со стороны вакуумной системы.
Фиксация положения.
Подпружиненный захват.
Плоскость захвата перпендикулярна штоку.
Механическая рука может использоваться и для переноса образцов и как вакуумная отвертка.
Механическая рука МН. (DN40). | ||||
Линейное перемещение, мм | Размер А макс, мм | Размер С, мин., мм | Описание | Артикул |
80 | 285 | 205 | Без зажима | ZMH075 |
151 | 356 | 205 | Без зажима | ZMH150 |
237 | 442 | 205 | Без зажима | ZMH225 |
280 | 485 | 205 | Без зажима | ZMH275 |
80 | 285 | 205 | С симметричным зажимом | ZMH075S |
151 | 356 | 205 | С симметричным зажимом | ZMH150S |
237 | 442 | 205 | С симметричным зажимом | ZMH225S |
280 | 485 | 205 | С симметричным зажимом | ZMH275S |
80 | 285 | 205 | С симметричным зажимом | ZMH075P |
151 | 356 | 205 | С симметричным зажимом | ZMH150P |
237 | 442 | 205 | С симметричным зажимом | ZMH225P |
280 | 485 | 205 | С симметричным зажимом | ZMH275P |
Зажимы двойного действия | ZJAWSY | |||
Зажимы параллельного закрытия | ZJAWPE |
Монтажный фланец | 70 мм. |
Ориентация | Любая |
Конструкция | Нержавеющая сталь |
Углы наклона | 22,5 о в любую сторону |
Линейное перемещение | 80, 150, 236, 279 мм |
Поворот | 360 о |
Поперечная сила | Максимум 10 Н |
Крутящий момент | 0,3 Нм. |
Ограничение крутящего момента | Необходим для продления срока службы сильфона |
Фиксатор поворота | Есть |
Фиксатор линейного перемещение | Есть |
Температура отжига | 250 оС |
Варианты захватов | Параллельного закрытия (сила 10 Н, максимальное открытие 10мм.) |
Симметричный пинцет двойного действия (сила 3 Н, максимальное открытие 74 о) |
Модуль перемещения допускает ограниченное линейное и угловое перемещение. Управление ручкой переводит движение в вакуумную оболочку.
Описание:
Линейное перемещение 20мм.
Угловое перемещение ±7,5 о.
Температура отжига до 250 оС.
Вал диаметром 6,35 мм с резьбовым отверстием M3.
Вся конструкция из нержавеющей стали.
Скорость утечки менее 1*10-11 мбар*л/сек.
Диапазон давлений от 1 бара до 10-11 мбар.
DN тип | 40 |
Диаметр фланца, мм | 70 |
Линейное перемещение, мм | 20 |
Угловое перемещение | ±7,5 о |
Длинна с воздушной стороны макс. | 125 |
Длинна с воздушной стороны мин. | 105 |
Длинна с вакуумной стороны макс. | 125 |
Длинна с вакуумной стороны мин. | 105 |
Артикул | ZWS020 |
Конструкция реечной линейной передачи обеспечивает точное перемещение объекта внутри вакуумной системы с возможностью вращения. В конструкции не применяются магнитные связи.
Описание:
Немагнитное точное линейное перемещение.
Широкий диапазон перемещений с возможностью непрерывного вращения.
Малое отклонение образца при полностью выдвинутом штоке.
Температура отжига до 250 оС.
Скорость утечки менее 1*10-11 мбар*л/сек.
Диапазон давлений от 1 бара до 10-11 мбар.
Крепежный фланец диаметром 70 мм.
Дополнительный фланец насоса.
Возможны варианты автоматизации.
DN тип | DN40 |
Размер крепежного фланца, мм | 70 |
Диаметр пробы, мм | 19 |
Максимальная нагрузка, кг | 0,3 |
Перемещение, мм | Вращение | Внешний размер, мм | Артикул |
305 | НЕТ | 530 | ZLRP203 |
460 | НЕТ | 685 | ZLRP204 |
610 | НЕТ | 835 | ZLRP206 |
914 | НЕТ | 1139 | ZLRP209 |
305 | ЕСТЬ | 630 | ZRLRP203 |
460 | ЕСТЬ | 785 | ZRLRP204 |
610 | ЕСТЬ | 935 | ZRLRP206 |
914 | ЕСТЬ | 1239 | ZRLRP209 |
Конструкция реечной линейной передачи обеспечивает точное перемещение объекта внутри вакуумной системы с возможностью вращения. В конструкции не применяются магнитные связи.
Описание:
Немагнитное точное линейное перемещение.
Широкий диапазон перемещений с возможностью непрерывного вращения.
Малое отклонение образца при полностью выдвинутом штоке.
Температура отжига до 250 оС.
Скорость утечки менее 1*10-11 мбар*л/сек.
Диапазон давлений от 1 бара до 10-11 мбар.
Крепежный фланец диаметром 152 мм.
Шток диаметром 28,6 мм с внутренним валом 9 мм
Дополнительный фланец насоса.
Возможны варианты автоматизации.
DN тип | DN100 |
Размер крепежного фланца, мм | 152 |
Длинна фланца, мм | 6 |
Диаметр пробы, мм | 28,6 |
Максимальная нагрузка, кг | 3 |
Перемещение, мм | Вращение | Внешний размер, мм | Артикул |
460 | НЕТ | 760 | ZLRP604 |
914 | НЕТ | 1214 | ZLRP609 |
460 | ЕСТЬ | 885 | ZRLRP604 |
914 | ЕСТЬ | 1339 | ZRLRP609 |
+7 (495) 374-04-01
Отправьте заявку на электронную почту:Задать вопрос
Модули линейного перемещения.