IMC SYSTEMS > Оборудование > Модули линейного перемещения.

Модули линейного перемещения.

LDP Вакуумные линейные приводы.
Модуль перемещения по оси Z серии TR.
RD2 Модуль передачи вращения в линейное перемещение.
Микрометрический привод LDM.
Шарнирный модуль Механическая рука МН.
Угловой манипулятор WS20.
Линейный реечный привод – LRP2 и RLRP2.
Линейный реечный привод – LRP6 и RLRP6.

LDP Вакуумные линейные приводы.

Устройства серии LDР представляют собой приводы линейного перемещения в условиях сверхвысокого вакуума, для передвижения образца или датчика относительно его монтажного фланца от 25 мм до 150 мм с плавной и надежной работой. С полным ассортиментом фланцев и наконечников зонда. Данные устройства могут использоваться практически во всех задачах, где требуется перемещение образца внутри вакуумной системы.

Описание:
Рабочий режим до температуры 250°C.
Скорость утечки 1*10^-10мбар.* л./сек.
Диапазон давлений от 1*10^-11 мбар до 1 бара.
Тип линейное перемещение
Блокировка положения

LDP Вакуумные линейные приводы.
Размер фланца OD, мм	Перемещение, мм	Управление	Шкала положения	Длинна L, мм	Размер R, мм	Размер Е, мм	Артикул
34	25	Ручн.	Есть	264	90	116	ZLDP925
34	50	Ручн.	Есть	323	90	141	ZLDP950
34	100	Ручн.	Есть	441	90	192	ZLDP910
34	150	Ручн.	Есть	559	90	242	ZLDP915
70	25	Ручн.	Нет	140	33	58	ZLDP225
70	50	Ручн.	Нет	174	41	92	ZLDP250
70	100	Ручн.	Нет	241	58	160	ZLDP210
70	150	Ручн.	Нет	308	74	226	ZLDP215
34	25	Пневм.	Нет	269	90	116	ZLDP925P
34	50	Пневм.	Нет	327	90	141	ZLDP950P
34	100 мах	Пневм.	Нет	445	90	192	ZLDP910P
70	25	Пневм.	Нет	268	33	58	ZLDP225P
70	50	Пневм.	Нет	326	41	92	ZLDP250P
70	100 мах	Пневм.	Нет	444	58	160	ZLDP210P
Дополнительный комплект концевых выключателей: 2 герконовых переключателя ZLDPRSK2								ZLDPRSK2
Комплект смазки для серии ZLDP9 и ZLDP2								ZLUBEK

Модуль перемещения по оси Z серии TR.

Модуль TR представляет собой сильфон с внутренним отверстием 33 мм. Возможно ручное и моторизованное управление. Жесткая опорная рама и направляющие обеспечивают точность и плавность движения и вращения.

Описание:
Диапазон перемещения по оси Z 150, 300, 450 и 600 мм.
Диаметр внутреннего отверстия 33 мм (без опорной трубки).
Винтовой привод для всех диапазонов перемещения (дополнительный винтовой привод перемещения для сдвига на большие расстояния).
Точность составляет 0,01 для ручного управления; 0,005 для автоматического.
Линейное перемещение 2 мм за 1 оборот.
Возможна установка шагового двигателя с концевыми выключателями.
Верхний фланец 70 мм.
Монтажный фланец 70 мм.
Температура отжига 250 ^оС (со снятыми двигателями и выключателями).
Возможен монтаж под любым углом.

TR Характеристики.
DN тип	Внешний фланец, мм	Управление	Разрешение, мм	Температура отжига, ^оС	Артикул
DN 40	70	Ручное	0,01	250	ZTR1570
DN 40	70	Ручное	0,01	250	ZTR3070
DN 40	70	Ручное	0,01	250	ZTR4570
DN 40	70	Ручное	0,01	250	ZTR6070
DN 40	70	Шаговый двигатель	0,005	250 *	ZTR1570W
DN 40	70	Шаговый двигатель	0,005	250 *	ZTR3070W
DN 40	70	Шаговый двигатель	0,005	250 *	ZTR4570W
DN 40	70	Шаговый двигатель	0,005	250 *	ZTR6070W
DN 40	70	Шаговый двигатель с энкодером	0,005	250 *	ZTR1570E
DN 40	70	Шаговый двигатель с энкодером	0,005	250 *	ZTR3070E
DN 40	70	Шаговый двигатель с энкодером	0,005	250 *	ZTR4570E
DN 40	70	Шаговый двигатель с энкодером	0,005	250 *	ZTR6070E
* Со снятыми двигателями и выключателями.

TR Размеры
Перемещение Z, мм	Размер А max, мм	Размер А min, мм	Размер В, мм	Артикул
150	279	129	314	ZTR1570
300	466	166	499	ZTR3070
450	652	202	685	ZTR4570
600	815	215	849	ZTR6070
150	279	129	314	ZTR1570W
300	466	166	499	ZTR3070W
450	652	202	685	ZTR4570W
600	815	215	849	ZTR6070W
150	279	129	314	ZTR1570E
300	466	166	499	ZTR3070E
450	652	202	685	ZTR4570E
600	815	215	849	ZTR6070E

RD2 Модуль передачи вращения в линейное перемещение.

Диапазон перемещений 12 и 24 мм. Минимальные люфты обеспечивают точное позиционирование объекта внутри вакуумной системы.

Описание:
Милый люфт.
Скорость вращения до 500 об/мин.
Фланец диаметром 70 мм.
Градуированный маховик со шкалой Вернье (Нониуса).
Осевая нагрузка: поворотный вал 40 Н.
Линейные перемещения вала 12 и 24 мм.
Длинный сильфон.
Температура отжига 230 ^оС (без двигателей).
Возможна установка шаговых двигателей и экодера.

RD2 Модуль передачи вращения в линейное перемещение.
Диаметр фланца, мм	Первичное вращение	Вторичное перемещение, мм	Разрешение первичного вращения	Разрешение вторичного перемещения	Артикул
70	Непрерывное	12	0,1	0,02	ZRD2
70	Непрерывное	24	0.1	0,02	ZRD224
Дополнение первичным шаговым двигателем R1	Непрерывное		0,01	—	ZRDPMKW
Дополнение шаговым двигателем c экодером	Непрерывное		1,01	—	ZRDPMKE
Первичный R1. Вторичный шаговый двигатель R2	—	Max 24	0,01	18 шагов на 0,005 мм	ZRDSMKW
Вторичный шаговый двигатель с экодером R2	—	Max 24	1,01	18 шагов на 0,005 мм	ZRDSMKE

Крутящий момент, первичный	Момент перемещения вторичный	Передаточное число	Артикул
0,5 Нм при 500 об / мин	5 Нм при 10 оборотов в минуту		ZRD2
0,5 Нм при 500 об / мин	5 Нм при 10 оборотов в минуту		ZRD224
4 Нм в 16 максимальная частота вращения	4 Нм в 16 максимальная частота вращения		ZRDPMKW
4 Нм в 16 максимальная частота вращения	4 Нм в 16 максимальная частота вращения		ZRDPMKE
		9:01	ZRDSMKW
		9:01	ZRDSMKE

Микрометрический привод LDM.

Микрометрический линейный привод обеспечивает перемещение внутри вакуумной камеры с точностью до 5 микрон.

Описание:
Микрометрические приводы.
Температура отжига до 230 ^оС
Осевая нагрузка 25 Н.
Доступны с ходом штока 25 и 50 мм.
Крепежный фланец диаметром 70 мм. — перемещаемый фланец диаметром 33 мм.
Крепежный фланец диаметром 33 мм. – диаметр штока 9 мм.

Микрометрический привод LDM.
DN тип	Диаметр фланца, мм	Перемещение, мм	Управление	Разрешение	Артикул
DN16	34	25	Микрометр	0,01	ZLDM925
DN16	34	50	Микрометр	0,005	ZLDM950
DN40	70	25	Микрометр	0,01	ZLDM225
DN40	70	50	Микрометр	0,005	ZLDM250

Шарнирный модуль Механическая рука МН.

Механическая рука используется для захвата линейного, вращательного и углового перемещения объектов в вакуумной системе. Эргономичная рукоятка передает истинное положение образца внутри вакуумной камеры.

Описание:
Линейное перемещение от 80 до 280 мм.
Угловое перемещение ±22 ^о.
Двойной сварной сильфон.
Внешний фланец диаметром 70 мм.
Скорость утечки менее 1*10^-11 мбар*л/сек.
Модуль выполнен из нержавеющей стали со стороны вакуумной системы.
Фиксация положения.
Подпружиненный захват.
Плоскость захвата перпендикулярна штоку.

Механическая рука может использоваться и для переноса образцов и как вакуумная отвертка.

Механическая рука МН. (DN40).
Линейное перемещение, мм	Размер А макс, мм	Размер С, мин., мм	Описание	Артикул
80	285	205	Без зажима	ZMH075
151	356	205	Без зажима	ZMH150
237	442	205	Без зажима	ZMH225
280	485	205	Без зажима	ZMH275
80	285	205	С симметричным зажимом	ZMH075S
151	356	205	С симметричным зажимом	ZMH150S
237	442	205	С симметричным зажимом	ZMH225S
280	485	205	С симметричным зажимом	ZMH275S
80	285	205	С симметричным зажимом	ZMH075P
151	356	205	С симметричным зажимом	ZMH150P
237	442	205	С симметричным зажимом	ZMH225P
280	485	205	С симметричным зажимом	ZMH275P
			Зажимы двойного действия	ZJAWSY
			Зажимы параллельного закрытия	ZJAWPE

Монтажный фланец	70 мм.
Ориентация	Любая
Конструкция	Нержавеющая сталь
Углы наклона	22,5 ^о в любую сторону
Линейное перемещение	80, 150, 236, 279 мм
Поворот	360 ^о
Поперечная сила	Максимум 10 Н
Крутящий момент	0,3 Нм.
Ограничение крутящего момента	Необходим для продления срока службы сильфона
Фиксатор поворота	Есть
Фиксатор линейного перемещение	Есть
Температура отжига	250 ^оС
Варианты захватов	Параллельного закрытия (сила 10 Н, максимальное открытие 10мм.)
Варианты захватов	Симметричный пинцет двойного действия (сила 3 Н, максимальное открытие 74 ^о)

Угловой манипулятор WS20.

Модуль перемещения допускает ограниченное линейное и угловое перемещение. Управление ручкой переводит движение в вакуумную оболочку.

Описание:
Линейное перемещение 20мм.
Угловое перемещение ±7,5 ^о.
Температура отжига до 250 ^оС.
Вал диаметром 6,35 мм с резьбовым отверстием M3.
Вся конструкция из нержавеющей стали.
Скорость утечки менее 1*10^-11 мбар*л/сек.
Диапазон давлений от 1 бара до 10^-11 мбар.

DN тип	40
Диаметр фланца, мм	70
Линейное перемещение, мм	20
Угловое перемещение	±7,5 ^о
Длинна с воздушной стороны макс.	125
Длинна с воздушной стороны мин.	105
Длинна с вакуумной стороны макс.	125
Длинна с вакуумной стороны мин.	105
Артикул	ZWS020

Линейный реечный привод — LRP2 и RLRP2.

Конструкция реечной линейной передачи обеспечивает точное перемещение объекта внутри вакуумной системы с возможностью вращения. В конструкции не применяются магнитные связи.

Описание:
Немагнитное точное линейное перемещение.
Широкий диапазон перемещений с возможностью непрерывного вращения.
Малое отклонение образца при полностью выдвинутом штоке.
Температура отжига до 250 ^оС.
Скорость утечки менее 1*10^-11 мбар*л/сек.
Диапазон давлений от 1 бара до 10^-11 мбар.
Крепежный фланец диаметром 70 мм.
Дополнительный фланец насоса.
Возможны варианты автоматизации.

DN тип	DN40
Размер крепежного фланца, мм	70
Диаметр пробы, мм	19
Максимальная нагрузка, кг	0,3

Перемещение, мм	Вращение	Внешний размер, мм	Артикул
305	НЕТ	530	ZLRP203
460	НЕТ	685	ZLRP204
610	НЕТ	835	ZLRP206
914	НЕТ	1139	ZLRP209
305	ЕСТЬ	630	ZRLRP203
460	ЕСТЬ	785	ZRLRP204
610	ЕСТЬ	935	ZRLRP206
914	ЕСТЬ	1239	ZRLRP209

Линейный реечный привод – LRP6 и RLRP6.

Описание:
Немагнитное точное линейное перемещение.
Широкий диапазон перемещений с возможностью непрерывного вращения.
Малое отклонение образца при полностью выдвинутом штоке.
Температура отжига до 250 ^оС.
Скорость утечки менее 1*10^-11 мбар*л/сек.
Диапазон давлений от 1 бара до 10^-11 мбар.
Крепежный фланец диаметром 152 мм.
Шток диаметром 28,6 мм с внутренним валом 9 мм
Дополнительный фланец насоса.
Возможны варианты автоматизации.

DN тип	DN100
Размер крепежного фланца, мм	152
Длинна фланца, мм	6
Диаметр пробы, мм	28,6
Максимальная нагрузка, кг	3

Перемещение, мм	Вращение	Внешний размер, мм	Артикул
460	НЕТ	760	ZLRP604
914	НЕТ	1214	ZLRP609
460	ЕСТЬ	885	ZRLRP604
914	ЕСТЬ	1339	ZRLRP609