RU EN
Задать вопрос

Манипуляторы для работы в сверхвысоком вакууме

Оглавление:

Z-осевой манипулятор серии LTM.
Z-осевые манипуляторы LTM с широким отверстием.
Miniax XYZ манипулятор.
Модуль перемещения по осям XY Transax.
Платформа двунаправленного перемещения Omniax XY.
Шарнирные манипуляторы серии WS.

Z-осевой манипулятор серии LTM.

Манипулятор обеспечивает движение по оси Z образцов и датчиков диаметром до 38 мм с высокой точностью и стабильностью в условиях сверхвысокого вакуума. Возможны варианты исполнения с ручным и автоматическим приводами.

Описание:
Отверстие диаметром 38 мм.
Диапазон перемещений от 25 до 150 мм.
Шкала с шагом 1 мм.
Нагрев до 250 оС (без двигателя).
Диапазон рабочих температур -20 оС до 200 оС.
Резьбовые фланцы М6.
Стопоры на крайних точках движения.
При оснащении двигателями точность позиционирования до 2,5 микрон.
Концентричность отверстия фланца в пределах 0,5 мм.
Приблизительный крутящий момент, необходимый для подъема 1,2Нм.
Подъем:

  • 200Н Максимальная приложенная осевая нагрузка.
  • 50Н Максимальная радиальная нагрузка.

Рабочее давление от 1 бар до 10-11 мбар.
Скорость утечки 1×10-10 мбар*л/сек.

Комплект для смазки
Манипулятор Артикул комплекта
ZLTM серия ZLUBEK

Z-осевой манипулятор серии LTM
DN тип Размер фланца OD, мм Перемещение Управление Нагрев до, оС Артикул
DN40 70 25 Ручное 250 * ZLTM25
DN40 70 50 Ручное 250 * ZLTM50
DN40 70 75 Ручное 250 * ZLTM75
DN40 70 100 Ручное 250 * ZLTM100
DN40 70 150 Ручное 250 * ZLTM150
DN40 70 25 Шаговый двигатель 250 * ZLTM25W
DN40 70 50 Шаговый двигатель 250 * ZLTM50W
DN40 70 75 Шаговый двигатель 250 * ZLTM75W
DN40 70 100 Шаговый двигатель 250 * ZLTM100W
DN40 70 150 Шаговый двигатель 250 * ZLTM150W
DN40 70 25 Шаговый двигатель с энкодером 250 * ZLTM25ME
DN40 70 50 Шаговый двигатель с энкодером 250 * ZLTM50ME
DN40 70 75 Шаговый двигатель с энкодером 250 * ZLTM75ME
DN40 70 100 Шаговый двигатель с энкодером 250 * ZLTM100ME
DN40 70 150 Шаговый двигатель с энкодером 250 * ZLTM150ME
* без двигателей

Z-осевые манипуляторы LTM с широким отверстием.

Манипулятор обеспечивает движение по оси Z образцов и датчиков диаметром до 68 мм. Сварные швы сильфона обеспечивают минимальное натекание. Для увеличения точности позиционирования объектов в вакуумной системе возможна установка шаговых двигателей под управлением контроллера Sim-Step.

Описание:
Высокая точность и плавность перемещения.
Сильфон с сквозным отверстием 68 мм.
Диапазон перемещений от 25 до 150 мм.
Градуированная шкала с шагом 1 мм.
Диапазон рабочих температур от -20 до 200 оС
Температура отжига 250 оС (со снятыми двигателями и датчиками).
Верхний фланец и резьбой М8, нижний без резьбы.
Стопоры в крайних точках перемещения.
Концевые выключатели поставляются в конфигурации с шаговым двигателем.
Диапазон рабочих давлений от 1 бара до 1*10-11 мбара.
Скорость утечки менее 1*10-10 мбара*л/сек.

 

Z-отсевые манипуляторы с LTM с широким отверстием.
DN тип Перемещение, мм Управление Размер А max, мм Размер А min, мм Общая высота, мм Артикул
DN63 25 Ручное 125 100 253 ZLTM11425HW
DN63 50 Ручное 150 100 278 ZLTM11450HW
DN63 75 Ручное 175 100 303 ZLTM11475HW
DN63 100 Ручное 200 100 328 ZLTM114100HW
DN63 150 Ручное 250 100 375 ZLTM114150HW
DN63 25 Шаговый двигатель 125 100 307 ZLTM11425SMS
DN63 50 Шаговый двигатель 150 100 332 ZLTM11450SMS
DN63 75 Шаговый двигатель 175 100 357 ZLTM11475SMS
DN63 100 Шаговый двигатель 200 100 382 ZLTM114100SMS
DN63 150 Шаговый двигатель 250 100 432 ZLTM114150SMS
DN63 25 Шаговый двигатель с экодером 125 100 307 ZLTM11425MSE
DN63 50 Шаговый двигатель с экодером 150 100 332 ZLTM11450MSE
DN63 75 Шаговый двигатель с экодером 175 100 357 ZLTM11475MSE
DN63 100 Шаговый двигатель с экодером 200 100 382 ZLTM114100MSE
DN63 150 Шаговый двигатель с экодером 250 100 432 ZLTM114150SMS
DN63 25 Двигатель постоянного тока 125 100 407 ZLTM11425DCSE
DN63 50 Двигатель постоянного тока 150 100 432 ZLTM11450DCS
DN63 75 Двигатель постоянного тока 175 100 457 ZLTM11475DCS
DN63 100 Двигатель постоянного тока 200 100 482 ZLTM114100DCS
DN63 150 Двигатель постоянного тока 250 100 532 ZLTM114150DCS

 

Miniax XYZ манипулятор.

Манипулятор XYZ Miniax обеспечивает движение в любом направлении образцов и датчиков с высокой точностью и стабильностью в условиях сверхвысокого вакуума. Возможны варианты исполнения с ручного и автоматического привода.

Описание:
Перемещение по осям XY ± 12,5 мм.
Перемещение по оси Z 50 или 100 мм.
Нагрев до 200 оС.
Стандартный базовый фланец имеет наружный диаметр 152 мм (NW100CF).
Четыре мини-порта, предназначены для подключения сервисных вводов.
Подвижный фланец с наружным диаметром 70 мм (NW35CF) с резьбовыми отверстиями M6, расположенные вокруг оси Y.
Дополнительный фланец с наружным диаметром 70 мм (NW35CF).
Двойные отверстия под болты на монтажном фланце.
Рабочее давление от 1 бар до 10-11 мбар.
Скорость утечки 1×10-10 мбар*л/сек.
Разрешение по осям XY 0,001 мм, повторяемость 0,005 мм.
Разрешение Z 0,005 мм, повторяемость 0,010 мм.

Miniax использует один сильфон для движения по осям X, Y и Z. Поперечные роликовые подшипники используются для XY движения. Втулки и направляющие для движения по оси Z.

Miniax XYZ манипулятор
DN тип Размер фланца OD, мм Перемещение по оси Z, мм Дополнительный фланец, деаметр, мм Размер

А, мм

Размер

С, мм

Артикул
DN40 70 50 Нет 160-210 250 ZXYZ0570
DN40 70 100 Нет 160–260 301 ZXYZ1070
DN100 152 50 4 * 34 160-210 250 ZXYZ0515
DN100 152 100 4 * 34 160–260 301 ZXYZ1015

Модуль перемещения по осям XY Transax.

Модуль Transax XY выполнен в виде отдельного одностороннего сварного сильфона, который совместим с механизмами линейного перемещения Transax по оси Z и вращающимися платформами, такими как RP100, что позволяет создавать полный манипулятор образца, комбинируя эти модули вместе.

Описание:
Перемещение по осям X и Y ± 25 мм.
Отверстие диаметром 54 мм для крепления датчиков или образцов.
Двойные отверстия под болты на монтажном фланце.
Микрометры с ценой градуса 5 микрон в стандартной комплектации.
Возможен вариант поставки с шаговыми двигателями и концевыми выключателями.
Возможен вариант поставки шаговыми двигателями и энкодерами
Рабочее давление от 1 бар до 10-11 мбар.
Скорость утечки 1×10-10 мбар*л/сек.
Нагрев до 230 оС.
Ручное управление:
Точность 10 микрон.
Повторяемость 10 микрон.
Шаговые двигатели:
Точность 0,5 микрон.
Повторяемость 0,5 микрон.
Максимальная скорость 4 мм/сек.

XY Transax модули и аксессуары
Модуль XY с базовым фланцем 152 мм Артикул
± 0 адаптер ZT000A6S
± 12,5 модуль ZT208A6-12.5
± 25,0 модуль ZT208A6S
XY Двигатели Артикул
X и Y шаговые двигатели * MTXYMOTW *
X и Y шаговые двигатели с энкодерами * MTXYMOTE *
Модули горизонтальной стабилизации Артикул
Модуль горизонтальной стабилизации MHSA
Компенсационный модуль (только для оси Z) ZTRS
* Входят в наборы автоматизации

Платформа двунаправленного перемещения Omniax XY.

Платформа Omniax XY предназначена для линейного перемещения по двум направлениям образца в вакуумной системе в условиях высокого и сверхвысокого вакуума. Платформа совместима с механизмами линейного перемещения Omniax Z и вращающимися платформами, такими как RP100, что позволяет создавать полный манипулятор образца, сочетая эти модули.

Модуль Omniax XY выполнен в виде отдельного одностороннего сварного сильфонного модуля,

Описание:
Сварные сильфонные швы высокой точности.
Перемещение ±25 мм по осям X и Y.
Отверстие диаметром 54 мм на платформе перемещения.
Двойные отверстия под болты на монтажном фланце.
Шкалы перемещения с градуировкой 5 микрон.
Микрометры в стандартной комплектации.
Возможна оснащение шаговыми двигателями с концевыми выключателями.
Возможно оснащение линейными энкодером для точного позиционирования объекта в вакууме.
Рабочий режим до температуры 250°C.
Диапазон давлений от 1 бара до 1*10-11 мбар.
Скорость утечки менее 1*10-10 мбар. *л./сек.

Omniax XY – основные размеры
XY перемещение, мм Базовый код XY А2, мм Диаметр отверстия D, мм Опорная труба, мм
±25.0 Т211-12,5 175 108 28 или 54
±25.0 Т211 175 108 28 или 54

 

Omniax XY – модули и аксессуары
Базовый фланец Диапазон перемещений Артикул
NW100CF(6”” OD) Только Z ±0мм MT000B6S
NW100CF(6”” OD) ±12.5 mm MT211B6-12.5
NW100CF(6”” OD) ±25.0 mm MT211B6S
NW150CF (8”” OD) Только Z ±0мм ZT000B8S
NW150CF (8”” OD) ±12.5 mm ZT211B8-12.5
NW150CF(8”” OD) ±12.5 mm ZT211B8S

 

Omniax XY – двигатели автоматического перемещения
Модуль двигателя Артикул
X Шаговый двигатель поворота MTXYMOTW*
Y Шаговый двигатель поворота c энкодером MTXYMOTE*
Комплекты для одной оси

Ручное перемещение:
Точность 10 микрон
Повторяемость 10 микрон
Шаговые двигатели:
Точность 0,5 микрона
Повторяемость 0,5 микрон
Максимальная скорость перемещения 4 мм/сек

Шарнирные манипуляторы серии WS.

Манипулятор серии WS использует гибкий сильфон для обеспечения перемещения в условиях высокого и сверхвысокого вакуума.

Описание:
Линейное перемещение от 80 до 280 мм.
Угловое перемещение ± 22о.
Двойной сварной сильфон.
Наружный монтажный фланец 70 мм.
Скорость утечки менее 1x 10-10 мбар*л./сек.
Диапазон давления от 1 бар до 10-11 мбар.
Конструкция из нержавеющей стали.

DN тип – DN40
Наружный монтажный фланец 70 мм.
Монтажный фланец 34 мм.
Угловое перемещение ± 22о.
Диаметр отверстия 3,6 мм
Тип – универсальный.

Шарнирные манипуляторы серии WS — размеры
Линейное перемещение, мм Размер А, мм выдвинутое положение Размер B, мм задвинутое положение Размер C, мм задвинутое положение Размер D, мм выдвинутое положение Артикул
80 139 159 59 79 ZWS075
151 210 259 59 108 ZWS150
237 296 381 59 144 ZWS225
280 339 442 59 162 ZWS275

 

Закрыть

Задать вопрос

Манипуляторы для работы в сверхвысоком вакууме

ФИО*
Компания
Телефон*
Email*
Напишите вопрос и наименование продукции*
Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.