МЛЭ система EVO 25/50

Установка молекулярно-лучевой эпитаксии для работы с подложками 1″ (EVO-25) или 2″ (EVO-50) c модулем загрузки образца. Возможна комплектация дополнительной камерой подготовки или хранения образцов.