Источник электронов с малым пятном EKF 1000

Краткий обзор

• Источник электронов с малым пятном облучения
• Высокий ток пучка электронов
• Оптимизированная стабильность в течение длительного времени
• Подходит для Оже-спектроскопии, растровой электронной микроскопии, сканирующей Оже-микроскопии
• Модульная конструкция

Источник электронов EKF 1000 с малым пятном облучения представляет собой компактное и экономически эффективное решение для решения широкого круга задач — Оже-спектроскопии, растровой электронной микроскопии, сканирующей Оже-микроскопии. Источник обладает током пучка высокой устойчивости, причем рабочий размер пятна <1 мкм при 5 кэВ. Прибор оснащен LaB6 нитью накала, которая обеспечивает высокий максимальный ток пучка.

Квадрупольные X/Y дефлекторы используются для статического и динамического отклонения пучка при получении изображения в сканирующей Оже- и растровой электронной микроскопии. Блок управления NGE 52 охватывает диапазон энергий от 100 эВ до 5 кэВ, имеет высокоустойчивое к выбросам и регулируемое питание нити накала, что позволяет проводить надежный количественный Оже-анализ. Отдельный блок управления сканированием обеспечивает сканирование на ТВ частоте, а также сканирование с контролем от ПК.