RU EN
Задать вопрос

UHV приводы и перемещение

VACGEN предлагает большой выбор устройств для перемещения в условиях сверхвысокого вакуума для интегрированного манпулирования подложкой или образцом в камере. Магнитно-связанные устройства могут быть использованы для переноса образца между загрузочным лотком и рабочей кмерой.

Мы предлагаем большой выбор ротационных вводов на высокий момент, которые обеспеивают управление с непревзойдённой точностью и отличаются долгим сроком службы. Все приводы в UHV исполнении и не используют магнитных жидкостей и смазок.

  • Wobble sticks
  • Магнитные сверхвысоковакуумные  линейные приводы и приводы вращения (а также их кобинации)
  • Сверхвысоковакуумные приводы вращения
  • Сверхвысоковакуумные вращающиеся платформы
  • XY перемещение
  • Двигатели и контроллеры

Rotary Drive Magnetic Manual DN19CF

Оглавление:

LDP Вакуумные линейные приводы.
MRD6 Поворотные приводы с магнитной связью.
RD1 Основной поворотный привод.
Модуль перемещения по оси Z серии TR.
Шарнирные манипуляторы серии WS.

LDP Вакуумные линейные приводы.

Устройства серии LDР представляют собой приводы линейного перемещения  в условиях сверхвысокого вакуума, для передвижения образца или датчика относительно его монтажного фланца от 25 мм до 150 мм с плавной и надежной работой. С полным ассортиментом фланцев и наконечников зонда. Данные устройства могут использоваться практически во всех задачах, где требуется перемещение образца внутри вакуумной системы.

Описание:
Рабочий режим до температуры 250°C.
Скорость утечки 1*10-10 мбар.* л./сек.
Диапазон давлений от 1*10-11 мбар до 1 бара.
Тип линейное перемещение
Блокировка положения

LDP Вакуумные линейные приводы.
Размер фланца
OD, мм
Перемещение, мм Управление Шкала положения Длинна
L, мм
Размер
R, мм
Размер
Е, мм
Артикул
34 25 Ручн. Есть 264 90 116 ZLDP925
34 50 Ручн. Есть 323 90 141 ZLDP950
34 100 Ручн. Есть 441 90 192 ZLDP910
34 150 Ручн. Есть 559 90 242 ZLDP915
70 25 Ручн. Нет 140 33 58 ZLDP225
70 50 Ручн. Нет 174 41 92 ZLDP250
70 100 Ручн. Нет 241 58 160 ZLDP210
70 150 Ручн. Нет 308 74 226 ZLDP215
34 25 Пневм. Нет 269 90 116 ZLDP925P
34 50 Пневм. Нет 327 90 141 ZLDP950P
34 100 мах Пневм. Нет 445 90 192 ZLDP910P
70 25 Пневм. Нет 268 33 58 ZLDP225P
70 50 Пневм. Нет 326 41 92 ZLDP250P
70 100 мах Пневм. Нет 444 58 160 ZLDP210P
Дополнительный комплект концевых выключателей: 2 герконовых переключателя ZLDPRSK2 ZLDPRSK2
Комплект смазки для серии ZLDP9 и ZLDP2 ZLUBEK

 

MRD6 Поворотные приводы с магнитной связью.

Магнитные поворотные приводы серии MRD использует высокопрочную магнитную муфту для передачи вращения внутрь вакуумной системы в условиях высокого и сверхвысокого вакуума. Это достигается без каких-либо уплотнений или сильфонов, что делает эти приводы исключительно надежными .

Описание:
Корпус, изготовленный из единого куска из нержавеющей стали 316.
Нет вакуумных уплотнений или сильфонов — нет утечек в атмосферу.
Отсутствие люфта при низкой нагрузке и малом ускорении.
Не повреждается при приложении сильного крутящего момента.
Длительный срок эксплуатации.
Рабочий режим температура до 250°C.
Быстрая установка и демонтаж двигателя.
Ручной привод оснащен V образной канавкой для установки автоматического привода.

 

 

MRD6 Поворотные приводы с магнитной связью
DN тип Размер фланца
OD, мм
Управление Крутящий момент, H*м Тяга,
Н
Максимальная скорость вращения
Об/мин
Вес образца Артикул
DN 40 70 Ручное 4 10 500 2 ZMRD6
DN 40 70 Шаговый двигатель 4 1 500 2.3 ZMRD6М
DN 40 70 DC двигатель 4 10 500 2.5 ZMRD6В
DN 40 70 Энкодер двигатель 4 10 500 2.3 ZMRD6ВМЕ

 

MRD6 технические характеристики
Скорость утечки Менее 1×10-10 мбар./сек.
Диапазон рабочего давления Менее 1×10-10 мбар. – 2 бара
Диапазон рабочей температуры До 250 оС
Материал Основа — нержавеющая сталь марки 316
Механические части — алюминиевый сплав — марка 6082
Подшипники — нержавеющая сталь
Магниты – редкоземельные металлы
Смазка Покрытие дисульфида молибдена (стандартные приводы СВВ)
UHV совместимая смазка (для увеличения срока службы)
Управление Ручное, шаговый двигатель, энкодер, DC двигатель.
Дополнения Возможна установка керамических подшипников, а также нестандартные длинна и диаметр вала (по запросу)

 

RD1 Основной поворотный привод.

RD1 — это ручной или оснащенный двигателем высокоточный поворотный привод с блокировкой. Главный вал может быть удлинен в соответствии с индивидуальными требованиями.

Описание:
Малый люфт.
Скорость вращения до 500 об/мин.
70 мм фланец.
Градуированный маховик со шкалой нониуса.
Доступно оснащение двигателями с разрешающей способностью до 0,01о.
Осевая нагрузка на поворотный вал 40 Н.
Рабочий режим температура до 230°C. (без двигателей).
Возможна оснащение шаговыми двигателями с дополнительными датчиками
Подходит для обработки проб VACGEN.
Возможна установка более длинного вала (по запросу).

RD1 Основной поворотный привод
Размер фланца

OD, мм

Диапазон значений поворота Разрешение Крутящий момент Н 100 об/мин Крутящий момент Н 10 об/мин Артикул
70 360 * 0,1 0,5 5 ZRD1
Шаговый двигатель ± 168 0,01 4 при 16 об/мин макс 4 при 16 об/мин макс ZRDPMKW
Шаговый двигатель с Энкодером ± 168 0,01 4 при 16 об/мин макс 4 при 16 об/мин макс ZRDPMKE
* Непрерывное вращение при отсутствии проводов и охлаждения

Модуль перемещения по оси Z серии TR.

Модуль TR представляет собой сильфон с внутренним отверстием 33 мм. Возможно ручное и моторизованное управление. Жесткая опорная рама и направляющие обеспечивают точность и плавность движения и вращения.

Описание:
Диапазон перемещения по оси Z 150, 300, 450 и 600 мм.
Диаметр внутреннего отверстия 33 мм (без опорной трубки).
Винтовой привод для всех диапазонов перемещения (дополнительный винтовой привод перемещения для сдвига на большие расстояния).
Точность составляет 0,01 для ручного управления; 0,005 для автоматического.
Линейное перемежение 2 мм за 1 оборот.
Возможна установка шагового двигателя с концевыми выключателями.
Верхний фланец 70 мм.
Монтажный фланец 70 мм.
Температура отжига 250 оС (со снятыми двигателями и выключателями).
Возможен монтаж под лютым углом.

TR Характеристики.
DN тип Внешний фланец, мм Управление Разрешение, мм Температура отжига, оС Артикул
DN 40 70 Ручное 0,01 250 ZTR1570
DN 40 Ручное 0,01 250 ZTR3070
DN 40 Ручное 0,01 250 ZTR4570
DN 40 Ручное 0,01 250 ZTR6070
DN 40 Шаговый двигатель 0,005 250 * ZTR1570W
DN 40 Шаговый двигатель 0,005 250 * ZTR3070W
DN 40 Шаговый двигатель 0,005 250 * ZTR4570W
DN 40 Шаговый двигатель 0,005 250 * ZTR6070W
DN 40 Шаговый двигатель с энкодером 0,005 250 * ZTR1570E
DN 40 Шаговый двигатель с энкодером 0,005 250 * ZTR3070E
DN 40 Шаговый двигатель с энкодером 0,005 250 * ZTR4570E
DN 40 Шаговый двигатель с энкодером 0,005 250 * ZTR6070E
* Со снятыми двигателями и выключателями.
TR Размеры
Перемещение Z, мм Размер А max, мм Размер А min, мм Размер В, мм Артикул
150 279 129 314 ZTR1570
300 466 166 499 ZTR3070
450 652 202 685 ZTR4570
600 815 215 849 ZTR6070
150 279 129 314 ZTR1570W
300 466 166 499 ZTR3070W
450 652 202 685 ZTR4570W
600 815 215 849 ZTR6070W
150 279 129 314 ZTR1570E
300 466 166 499 ZTR3070E
450 652 202 685 ZTR4570E
600 815 215 849 ZTR6070E

Шарнирные манипуляторы серии WS.

Манипулятор серии WS использует гибкий сильфон для обеспечения перемещения в условиях высокого и сверхвысокого вакуума.

Описание:
Линейное перемещение от 80 до 280 мм.
Угловое перемещение ± 22о.
Двойной сварной сильфон.
Наружный монтажный фланец 70 мм.
Скорость утечки менее 1x 10-10 мбар*л./сек.
Диапазон давления от 1 бар до 10-11 мбар.
Конструкция из нержавеющей стали.

Шарнирные манипуляторы серии WS — размеры
DN тип – DN40
Наружный монтажный фланец 70 мм.
Монтажный фланец 34 мм.
Угловое перемещение ± 22о.
Диаметр отверстия 3,6 мм
Тип – универсальный.

Шарнирные манипуляторы серии WS — размеры
Линейное перемещение, мм Размер А, мм выдвинутое положение Размер B, мм задвинутое положение Размер C, мм задвинутое положение Размер D, мм выдвинутое положение Артикул
80 139 159 59 79 ZWS075
151 210 259 59 108 ZWS150
237 296 381 59 144 ZWS225
280 339 442 59 162 ZWS275

 

Закрыть

Задать вопрос

UHV приводы и перемещение

ФИО*
Компания
Телефон*
Email*
Напишите вопрос и наименование продукции*
Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.