Голографический анализатор для МЭМС

Комплексные решения исследовательских задач от измерений…

Анализатор МЭМС Lyncée Tec является комплексной системой для измерений и включает в себя:

• предметные столы и устройства для закрепления образцов
• вакуумные и температурные камеры
• генераторы гармонического сигнала
• запись электрических сигналов от исследуемого объекта
• стробоскопический модуль для измерений в МЭМС и синхронизации

Анализатор МЭМС и зондовая станция над полупроводниковой пластиной

…До частотных и временных зависимостей

Программное обеспечение MEMSTool позволяет эффективно исследовать трехмерную топографию в динамическом режиме

• перемещение в нормальном направлении (от 5 пм до 50 мкм)
• перемещение в латеральной плоскости (от 1 нм до 5 мм)
• анализ Бодэ и Фурье
• карты распределения вибраций и синхронности работы

Амплитудно-частотная и фазо-частотная зависимость колебательной системы МЭМС