CV92M

Отличительной особенностью версии CV92М является сниженная стоимость по сравнению с базовой моделью CV92A при сохранении измерительных характеристик. Уменьшение стоимости достигается благодаря отсутствию некоторых функций автоматизации контроля, применяемых для контроля пластин в ходе серийного производства и зачастую излишних в лабораторных условиях.

Указанная версия прибора является оптимальной для ведения НИР, исследований в рамках мелкосерийного производства, а так же для использования в университетских лабораториях и научно-образовательных центрах.

Семейство ртутных зондов CV92 соединяет в себе самые передовые технологии компании 4Dimensions для инспекции полупроводниковых пластин с  легкостью и безопасностью эксплуатации.

Технические характеристики

• Площадь контакта 2*10^-5 — 2 см²
• Конфигурация: точка, точка и кольцо, четыре точки
• Размеры тестируемых пластин Ø0,5—8»
• Прикладываемое электрическое напряжение ± 1000В
• Частотный диапазон внешних разъемов для подключения измерителей до 10 МГц
• Ручной контроль положения тестируемой пластины с индикацией положения на ЖКИ
• Замкнутая система подачи ртути
• Вакуумный зажим образцов
• Габаритные размеры 800х610х270 мм
• Потребление 230В 200 Вт
• Вес 50 кг

Программное обеспечение

• Интуитивно понятный интерфейс пользователя
• ОС MS Windows
• Программные средства обработки и автоматизации измерений
• Двух– и трехмерные зависимости измеряемых параметров
• Графическое представление C-V, I-V, V-t зависимостей
• Импорт данных в формате ASCII в внешние программные среды
• Программное обеспечение для хранения и каталогизации данных
• Интерфейсы LAN/SECS, GEM

Программное обеспечение CVmap для измерения и анализа результатов контроля

Результаты измерения распределения степени легирования по площади пластины

 Более подробная информация и брошюры доступны в разделе «Профилометры». Кроме того, всю интересующую информацию можно получить по запросу на адрес электронной почты sales@imc-systems.ru