Анализатор МЭМС

Анализатор МЭМС позволяет измерять перемещения в трехмерном варианте по всему полю зрения объектива одновременно, без применения сканирования по XYZ. Все данные о поверхности извлекаются одновременно с разрешающей способностью (по измерительной оси Z) на уровне лазерного измерителя вибраций (0,2 нм).

Исследование топографии поверхности в режиме реального времени

— Частотный диапазон от квазистатического режима до СВЧ (25 МГц)

— Измерение МЭМС структур с вертикальными скоростями перемещений до 10 м/с

Трехмерная виброметрия

— Получение информации обо всей площади кадра единовременно – без сканирования по XYZ

— Разрешающая способность измерения перемещений (1 нм в плоскости XY, 5 пм по измерительной оси Z)

— Гибкая измерительная конфигурация

— Возможность установки до 6 объективов на одну турель

— Возможность измерения в замкнутых камерах (через смотровое стекло)

Измерение топографии в динамическом режиме позволяет исследовать весь процесс работы МЭМС. Комплексный анализ перемещения элементов МЭМС дает уникальные комплексные сведения о поведении микроустройства в рабочем режиме.

Применение голографического анализатора для исследований МЭМС структур

Измерения в контролируемой атмосфере теперь возможно организовать с такой же легкостью, как и на открытом образце благодаря уникальной оптической схеме микроскопа. Исследование МЭМС может проводиться в условиях вакуума, жидкости, газовой среде, при высоких/низких температурах и различном давлении. Кроме того, возможность использовать объективы с увеличенной рабочей длиной позволяет гибко организовывать измерения и осуществлять воздействия на образец одновременно с измерениями.

Установка для непосредственного исследования МЭМС

Возможность работать через смотровое стекло вакуумной камеры

Программное обеспечение представляет очень широкие возможности для анализа различных перемещений: искривление, деформация, биения и прочее. Измерение амплитуды, угловой и линейной скоростей и ускорений осуществляется в каждой точке образца. Более того, программное обеспечение позволяет выполнять все элементы частотного анализа: Фурье, Бодэ анализ, определение параметров гармонических и негармонических процессов.

Измерительные возможности и уникальные характеристики Lyncee Tec DHM

Стробоскопический модуль делает возможным синхронизацию возбуждения МЭМС с моментом измерений. Таким образом в стробоскопическом режиме открывается возможность исследования периодических процессов с частотой событий до 25 МГц.

Более подробная информация, а так же демо-измерения доступны на странице, посвященной Lyncee Tec DHM R на нашем веб-сайте, а так же по электронной почте sales@imc-systems.ru