Стилусный профилометр KLA-Tencor HRP-260 предназначен для измерения профиля поверхности пластин на полупроводниковых и оптоэлектронных производствах с высоким разрешением и кассетной загрузкой/выгрузкой. Профилометр поддерживает измерения высоты ступенек от нескольких нанометров до 300 мкм с поддержкой 2D и 3D измерений профиля поверхности, шероховатости, коробления, механических напряжений. Длина трассы измерения профиля позволяет без сшивки измерять пластины диаметром до 200 мм.
Стилусный профилометр HRP®-260 предназначен для измерения профиля поверхности полупроводниковых пластин с высокой точностью, производительностью и воспроизводимостью результатов. Прибор позволяет измерять топологию поверхности чистых пластин и пластин с функциональными покрытиями на производстве полупроводниковых подложек, составных полупроводников, светодиодных кристаллов и других.
Принцип работы HRP-260 основан на сканировании поверхности пластины подвижным предметным столиком, размещенным на оптически плоской массивной базе. Считывание профиля осуществляется с помощью запатентованного пьезоэлектрического датчика UltraLite® . Такая схема организации измерений позволяет получать профили поверхности длиной до 200 мм без необходимости сшивки данных. По всей длине трассы сканирования профилометр обеспечивает высокую воспроизводимость измерений, постоянство и контроль усилия воздействия стилуса на поверхность.
Описание оборудования
Основные характеристики
|
Высота ступеньки профиля до 327 мкм |
|---|
|
Усилие воздействия стилуса на поверхность пластины 0.03 — 50 мг (выбирается оператором) |
|
Сканирование всей пластины без сшивки данных |
|
Визуализация сканирования с помощью оптики с переменным коэффициентом увеличения |
|
Предотвращение отрыва стилуса от поверхности при проходе ступенек |
|
Интуитивно понятный графический пользовательский интерфейс |
|
Автоматизированные алгоритмы сканирования больших объемов пластин, поддержка внешних АСУ |
|
Высокая разрешающая способность (сравнимая с современными атомно-силовыми микроскопами) |
Расходные материалы и аксессуары
К расходным материалам и аксессуарамМы предлагаем широкий выбор расходных материалов и аксессуаров для зондовой атомно-силовой и электронной микроскопии по категориям:
Голографические профилометры отраженного света
Идеальные инструменты для точных измерений оптической топографии большого разнообразия образцов.
Голографические профилометры проходящего света
Являются единственными в своем роде оптическими профилометрами, предназначенными для инспекции поверхности в проходящем свете.
Оптический профилометр KLA Zeta-20
Настольный оптический профилометр, оснащенный запатентованной технологией ZDot и гибкой многорежимной оптикой для измерений 3D топографии поверхности, толщины пленок и автоматического контроля дефектов.
Оптический профилометр KLA Zeta-300
Оптический профилометр для работы с крупными образцами, оснащенный запатентованной технологией ZDot и гибкой многорежимной оптикой для измерений 3D топографии поверхности, толщины пленок и автоматического контроля дефектов.
Оптический профилометр KLA Zeta-388
Напольный оптический профилометр с кассетной загрузкой для автоматической инспекции и метрологии, оснащенный запатентованной технологией ZDot и гибкой многорежимной оптикой для измерений 3D топографии поверхности, толщины пленок и автоматического контроля дефектов.
Оптический профилометр KLA-Tencor MicroXAM-800
Интерферометр белого света (профилометр) для 3D анализа топологии поверхности.
Оптический профилометр Profilm3D
Доступные по цене бесконтактные системы анализа 3D-рельефа поверхности на основе интерферометрии белого света (WLI).
Промышленные стилусные профилометры Toho FP
Датчик KLA-Tencor. Измерение профиля поверхности полупроводниковых пластин в широком диапазоне значений, с высокой степенью автоматизации.
Стилусный профилометр KLA-Tencor Alpha-Step D-500
Может быстро и качественно провести анализ 2D-топографии поверхности размером до 30 мм.
Стилусный профилометр KLA-Tencor Alpha-Step D-600
Отличается возможностью размещения 200 мм пластин, наличию сервопривода предметного стола и опцией измерения механических напряжений, возникающих после нанесения тонких пленок.
Стилусный профилометр KLA-Tencor P-7
Платформа среднего класса, которая сочетает в себе все превосходные функции сканирования, присущие бренду KLA Instruments, производительность и одну из самых доступных цен среди аналогов.
Стилусный профилометр KLA-Tencor P-17
Представляют серию профилометров, специально разработанных для обеспечения потребностей мелкосерийных производств в профессиональном контроле.
Стилусный профилометр KLA-Tencor P-170
Кассетный профилометр, позволяющий проводить измерения в диапазоне от нескольких нанометров до одного миллиметра сразу у нескольких образцов в режиме 24/7.
Сервис и ремонт измерительного оборудования
Выезд сервис-инженера
В кратчайшие сроки к вам приедет наш сервисный инженер для проведения ремонта.
Сервисный договор
Обслуживание «под ключ»: график выездов, экстренные выезды,склад запчастей «быстрого реагирования».
Диагностика и ремонт
Ремонтируем аналитическое и лабораторное оборудование всех ведущих марок, как представляемых эксклюзивно нами, так и сторонних производителей.
Гарантия и качество
Большой опыт оказания услуг по сервисному обслуживанию и ремонту измерительного оборудования.
ФОРМА ДЛЯ
ОБРАТНОЙ СВЯЗИ
Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.
Напишите свой вопрос, укажите интересующее оборудование.
Наша почта
sales@imc-systems.ru
Наш телефон
+7 (495) 374-04-01