KLA-Tencor RS-75

KLA Corporation

Описание оборудования

В то время, как в мире наблюдается тенденция к постоянному увеличению размеров пластин с целью удешевления стоимости изготовления элементов, большинство фабрик по-прежнему ориентировано на пластины 76, 100 и 150 мм. Специально для таких фабрик, компания KLA-Tencor представляет свою разработку — систему измерения удельного сопротивления KLA-Tencor OmniMap® RS75, основанную на использовании технологии четырехзондового метода. Оборудование обеспечивает высокоточное измерение сопротивления пластин со значительно большей скоростью по сравнению с существующими аналогами.

Эта модель специально ориентирована на применение в производстве для контроля широкого спектра технологических операций. Система обеспечивает высокую пропускную способность контроля на уровне 100 пластин в час в режиме температурной компенсации, выставления пластины по уровню для 200 мм пластин.

KLA-Tencor OmniMap® RS75 работает как в режиме ручной загрузки, так и с использованием кассетной загрузки.

Области применения

Все области применения

Металлургия

Геология

Криминалистика

Качество и безопасность пищевых продуктов

Фармацевтическая промышленность

Экология

Расходные материалы и аксессуары

К расходным материалам и аксессуарам

Мы предлагаем широкий выбор расходных материалов и аксессуаров для зондовой атомно-силовой и электронной микроскопии по категориям:

Зонды для АСМ

Аксессуары для АСМ

Расходные материалы
для АСМ и СЭМ

Компоненты для
сверхвысокого вакуума

Похожее оборудование

4Dimension 120-серия — Ручной измеритель удельного сопротивления

Многофункциональный измеритель сопротивления, идеально подходящий для проведения научно-исследовательской работы, связанной с измерением электрических характеристик материалов с высокой точностью.

233AC Измеритель электрического сопротивления

Система измерения электрического сопротивления четырехзондовым методом, является автоматизированной версией 280-й серии и предназначена для работы с кассетной загрузкой пластин.

280I-серия для измерения удельного сопротивления

Настольная система для измерения удельного сопротивления серии 280I обладает широким функционалом, охватывающим большинство задач, связанных с измерением удельного сопротивления полупроводниковых пластин.

Four Dimensions CVmap

Ртутные зонды, позволяющие проводить измерение электрических характеристик полупроводниковых пластин без нанесения металлизации.

KLA-Tencor RS-100

Установка рассчитана на применение в условиях серийного производства, обладает функцией автоматической загрузки и сортировки пластин по результатам контроля, пригодна для измерений пластин до 300 мм.

KLA-Tencor RS-200

Полностью автоматическая работа обеспечивают улучшенные характеристики как для пластин 200 мм, так и 300 мм. Обеспечивает точное и надежное измерение удельного сопротивления при технологической норме от 45 нм и более.

Холловский измеритель HL9900

Предназначен для измерения удельного сопротивления, подвижности и концентрации носителей при комнатной температуре и при температуре жидкого азота в полупроводниковых структурах на основе Si, GaAs, InP, SiC, GaN.