В то время, как в мире наблюдается тенденция к постоянному увеличению размеров пластин с целью удешевления стоимости изготовления элементов, большинство фабрик по-прежнему ориентировано на пластины 76, 100 и 150 мм. Специально для таких фабрик, компания KLA-Tencor представляет свою разработку — систему измерения удельного сопротивления KLA-Tencor OmniMap® RS75, основанную на использовании технологии четырехзондового метода. Оборудование обеспечивает высокоточное измерение сопротивления пластин со значительно большей скоростью по сравнению с существующими аналогами.
Эта модель специально ориентирована на применение в производстве для контроля широкого спектра технологических операций. Система обеспечивает высокую пропускную способность контроля на уровне 100 пластин в час в режиме температурной компенсации, выставления пластины по уровню для 200 мм пластин.
KLA-Tencor OmniMap® RS75 работает как в режиме ручной загрузки, так и с использованием кассетной загрузки.
Описание оборудования
Расходные материалы и аксессуары
К расходным материалам и аксессуарамМы предлагаем широкий выбор расходных материалов и аксессуаров для зондовой атомно-силовой и электронной микроскопии по категориям:
4Dimension 120-серия — Ручной измеритель удельного сопротивления
Многофункциональный измеритель сопротивления, идеально подходящий для проведения научно-исследовательской работы, связанной с измерением электрических характеристик материалов с высокой точностью.
233AC Измеритель электрического сопротивления
Система измерения электрического сопротивления четырехзондовым методом, является автоматизированной версией 280-й серии и предназначена для работы с кассетной загрузкой пластин
280I-серия для измерения удельного сопротивления
Настольная система для измерения удельного сопротивления серии 280I обладает широким функционалом, охватывающим большинство задач, связанных с измерением удельного сопротивления полупроводниковых пластин.
Four Dimensions CVmap
Ртутные зонды, позволяющие проводить измерение электрических характеристик полупроводниковых пластин без нанесения металлизации.
KLA-Tencor RS-100
Установка рассчитана на применение в условиях серийного производства, обладает функцией автоматической загрузки и сортировки пластин по результатам контроля, пригодна для измерений пластин до 300 мм.
KLA-Tencor RS-200
Полностью автоматическая работа обеспечивают улучшенные характеристики как для пластин 200 мм, так и 300 мм. Обеспечивает точное и надежное измерение удельного сопротивления при технологической норме от 45 нм и более.
Холловский измеритель HL9900
Предназначен для измерения удельного сопротивления, подвижности и концентрации носителей при комнатной температуре и при температуре жидкого азота в полупроводниковых структурах на основе Si, GaAs, InP, SiC, GaN
Электрохимический профилометр ECV-Pro
Предназначен для спектроскопических исследований полупроводниковых материалов
Сервис и ремонт измерительного оборудования
Выезд сервис-инженера
В кратчайшие сроки к вам приедет наш сервисный инженер для проведения ремонта.
Сервисный договор
Обслуживание «под ключ»: график выездов, экстренные выезды,склад запчастей «быстрого реагирования».
Диагностика и ремонт
Ремонтируем аналитическое и лабораторное оборудование всех ведущих марок, как представляемых эксклюзивно нами, так и сторонних производителей.
Гарантия и качество
Большой опыт оказания услуг по сервисному обслуживанию и ремонту измерительного оборудования.
ФОРМА ДЛЯ
ОБРАТНОЙ СВЯЗИ
Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.
Напишите свой вопрос, укажите интересующее оборудование.
Наша почта
sales@imc-systems.ru
Наш телефон
+7 (495) 374-04-01