KLA-Tencor RS-200

Основанная на проверенных отраслевых стандартах удельного сопротивления, обеспечивает точное и надежное измерение удельного сопротивления при технологической норме от 45 нм и более. Эта система измерения удельного сопротивления обеспечивает такие функции, как современная автоматизация и улучшенная производительность для удовлетворения сегодняшних производственных требований для 300-мм пластин.

Точные и повторяемые измерения удельного сопротивления, карты удельного сопротивления до 1 мм от края проводящей пленки и полностью автоматическая работа обеспечивают улучшенные характеристики как для пластин 200 мм, так и 300 мм.

Запатентованная температурная компенсация обеспечивает точность, долговременную повторяемость и соответствие системы для системы / Fab-to-fab для современных производственных требований.

Cистема измерения удельного сопротивления RS-200 включает в себя простое в использовании программное обеспечение, основанное на операционной системе Windows, что позволяет ускорить настройку измерений и анализ данных.

Candela CS20 является высокочувствительным измерительным оборудованием, которое может быть многократно использовано для контроля различных стадий контроля процесса производства в автоматическом режиме без необходимости длительного ручного контроля.

Запатентованная система анализатора оптической чувствительности комбинирует многоканальную детекторную систему для измерения рассеяния света, коэффициента отражения, фазового сдвига, а так же изменений топографии на поверхности пластины.

Система Candela 8420 быстро сканирует поверхность пластины и представляет информацию в виде изображения 100% поверхности пластины в высоком разрешении. Получаемое изображение позволяет измерение как характеристик всей пластины в целом, так и рассмотрение мелких дефектов.

Для инспекции поверхности многочисленные измерения делаются одновременно, а затем анализируются на предмет наличия дефектов и их классификации. Методика инспекции позволяет использовать переменные критерии распознавания визуальных образов дефектов.