FOLLOW US ON
+7 (495) 374-04-01
Отраслевые решения
Задать вопрос

Визуализация прямой запрещенной зоны молибденита на сапфире

 

 

 

эллипсометрические карты молибденита для различных длин волн

Введение.

Сульфид молибдена или молибденит (MoS2) – двумерный полупроводник с прямой запрещенной зоной. В перспективе молибденит может заменить кремний при создании электронных и оптоэлектронных устройств. Данный материал состоит из двумерных листов Мо и S, слабо связанных друг с другом, и совместим с различными подложками. При создании приборов на основе этого материала можно подавлять эффект короткого канала, это позволило бы создавать очень тонкие транзисторы.

Интересной особенностью двумерного молибденита является переход от косвенной ширины запрещенной зоны полупроводника (в случае объемного молибденита) к прямой для монослоя. В эллипсометрии поглощение света влияет на эллипсометрический угол Psi. В том случае, если на монослое не происходит никаких эффектов, можно ожидать, что между углом Psi субстрата и углом Psi монослоя не будет различия. В случае поглощения стоит ожидать значительной разницы в значениях угла Psi.

Материалы.

Образец отшлифованного MoS2 на подложке сапфира был механически отшлифован в университете Мюнхена группой U. Wurstbauer.

Метод.

Спектроскопические карты были записаны с помощью прибора nanofilm_EP4, оснащенного дифракционным монохроматором и двумя камерами (GigE CCD и InGaAs FPA) для визуализирующей эллипсометрии в спектральном диапазоне 360-1700 нм. Измерения проводились по новой технологиии безынтерференционного освещения beamcutter_ep4.

Результаты.

Расчет оптических параметров вскоре будет опубликован. В дополнение ко всему удалось визуализировать прямую запрещенную зону отображая микрокарты Psi на длине волны, близкой к соответствующей ожидаемой энергии запрещенной зоны. На картинке слева для более высоких энергий можно четко видеть контраст между MoS2 и субстратом. При низких энергиях никакого контраста не наблюдается.

Вывод.

Спектроскопическое микрокартирование эллипсометрических углов является многообещающим инструментом в исследовании локальных характеристик запрещенной зоны.

Закрыть

Задать вопрос

Оборудование для контроля воды IMC Systems - научное оборудование, инспекция в полупроводниковой промышленности, оборудование для экологического мониторинга и контроля технологических процессов

ФИО*
Компания
E-mail*
Телефон*
Вопрос*