FOLLOW US ON
+7 (495) 374-04-01
Отраслевые решения
Задать вопрос

Сверхбыстрый сканер

Среди всех элементов атомно-силового микроскопа наиболее тяжело адаптируемым для скоростного сканирования является сканер из-за возникновения нежелательных вибраций при механическом движении сканера.

Одним из способов устранения нежелательных вибраций сканера является повышение его резонансных частот. Для этого необходимо минимизировать его размеры, при этом конструкция сканера должна быть изготовлена из материалов с большим соотношением модуль Юнга/плотность, например, алюминий или дюраль. Минимизация размеров конструкции, как правило, приводит к возникновению интерференции (cross talk) в работе трех независимых осей сканера. Устранить эту проблему можно путем разделения пьезоэлементов, обеспечивающих движение по разным направлениям, жесткими мембранами, расположенными перпендикулярно оси движения пьезоэлементов.

Для того чтобы уменьшить число резонансных частот сканера, корпус сканера сделан монолитным, так как каждый структурный элемент обладает свой резонансной частотой. Монолитная конструкция подразумевает снижение числа структурных элементов, и, в свою очередь, числа резонансных частот самого сканера.

Резонансные частоты сканера Ultra Speed достигают величин, больших 70 Гц и обеспечивают скорость сканирования больше 100 Гц. Резонансная частота кантилевера лежит в широком диапазоне 30 кГц-3 МГц, что позволяет использовать кантилеверы различные по геометрии и материалу для самых разных приложений.

 

Закрыть

Задать вопрос

Оборудование для контроля воды IMC Systems - научное оборудование, инспекция в полупроводниковой промышленности, оборудование для экологического мониторинга и контроля технологических процессов

ФИО*
Компания
E-mail*
Телефон*
Вопрос*