FOLLOW US ON
+7 (495) 374-04-01
Отраслевые решения
Задать вопрос

Система калибровки (включает эталоны 1-го разряда — калибратор и генератор нулевого воздуха)

Система калибровки включает рабочие эталоны 1-го разряда:

1. Генератор нулевого воздуха AQMS модели 100

2. Генератор газовых смесей AQMS модели 200

1. Генератор нулевого воздуха AQMS модели 100 — рабочий эталон 1-го разряда предназначен для воспроизведения единицы объемной доли определяемых примесей в нулевом воздухе и ее передачи рабочим средствам измерений в соответствии с ГОСТ 8.578-2008 «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений содержания компонентов в газовых средах».

Принцип действия генератора основан на прокачивании атмосферного воздуха при помощи компрессора и его очистке от газов-загрязнителей и аэрозольных частиц при помощи системы фильтров (скрубберов).

В состав генератора входят: внешний компрессор, змеевик-охладитель, регенерационный скруббер, резервуар для хранения воздуха и система фильтров для удаления атмосферных загрязнителей.

Воздух, выходящий из компрессора и имеющий в результате сжатия повышенную относительную влажность, охлаждается в змеевике-охладителе, конденсат отделяется и выводится наружу через специальный фильтр. Далее частично осушенный воздух поступает в ресивер, используемый для поддержания постоянного давления, а затем на регенерационный скруббер, где происходит удаление остатков влаги. Сухой воздух поступает в резервуар для хранения, где он изолируется запорным клапаном.

Через редуктор, задающий давление на выходе генератора, воздух подается на систему фильтров, где происходит удаление атмосферных загрязнителей:

— скруббер для удаления углеводородов и СО, где под действиями высокой температуры происходит каталитическое разложение углеводородов до диоксида углерода (СО2) и воды (Н2О), оксида углерода (СО) до диоксида углерода (СО2);

— пурафиловый скруббер, где происходит окисление оксида азота (NO) до диоксида азота (NO2);

— угольный фильтр для удаления диоксида азота (NO2), озона (О3), диоксида серы (SO2), сероводорода (H2S) и аммиака (NH3);

— фильтр тонкой очистки, для удаления частиц с размером более 10 мкм.

Конструктивно генератор представляют собой одноблочные приборы.

На лицевой панели генератора расположены выключатель (вкл./выкл.), манометр, регулятор давления и индикаторы.

На задней панели прибора расположены: пурафиловый и угольный скрубберы, разъем для подключения сети переменного тока напряжением (230 ± 23) В, входной штуцер для подачи воздуха, выходной штуцер нулевого газа и вентилятор.

 

  Внешний вид генератора нулевого воздуха AQMS модели 100.

 Метрологические и технические характеристики

1) Метрологические характеристики генератора

Определяемая примесь в нулевом воздухе
на выходе генератора

Объемная доля определяемой примеси
в нулевом воздухе, млн-1

Диоксид серы (SO2)

не более 0,0005

Сероводород (H2S)

не более 0,0005

Оксид азота (NO)

не более 0,0005

Диоксид азота (NO2)

не более 0,0005

Озон (О3)

не более 0,0005

Аммиак (NH3)

не более 0,005

Оксид углерода (CO)

не более 0,025

Углеводороды в пересчете на метан (СН4)

не более 0,02

Примечания:

1) , где

 -наибольшее допускаемое значение объемной доли примеси в нулевом воздухе на выходе генератора при его исследованиях, млн-1;

 — границы относительной погрешности измерений объемной доли примеси в нулевом воздухе на выходе генератора (при Р = 0,99) при его исследованиях на комплексах эталонной аппаратуры, входящих в состав ГЭТ 154-2011, %.

2) Объемная доля загрязняющих веществ в воздухе на входе генератора не должна превышать норм согласно ГОСТ 12.1.005-88 «Система стандартов безопасности труда. Общие санитарно-гигиенические требования к воздуху рабочей зоны».

2) Давление воздуха на выходе генератора и допускаемое отклонение (210 ± 25) кПа при объемном расходе воздуха 20 дм3/мин;

3) Пределы допускаемой абсолютной погрешности поддержания давления в течение 8 ч непрерывной работы ± 25 кПа;

4) Температура точки росы влаги на выходе генераторов: минус 30 оС (при объемном расходе не более 20 дм3/мин);

5) Время прогрева, мин, не более 30;

6) Габаритные размеры, мм, не более: длина – 712; ширина – 485; высота – 225;

7) Масса, кг, не более 25;

8) Питание генераторов осуществляется от сети переменного тока напряжением (230 ± 23) В с частотой (50 ± 1) Гц;

9) Потребляемая мощность, В·А, не более: 150;

10) Средняя наработка на отказ (при доверительной вероятности Р=0,95): 6000 часов.

11) Средний срок службы, лет, не менее: 10.

12) Условия эксплуатации:

— диапазон температур окружающего воздуха от 10 до 35 °С;

— диапазон относительной влажности окружающего воздуха: от 15 % до 95 % при 25 °С (без конденсации влаги);

— диапазон атмосферного давления от 84 до 106,7 кПа.

2. Генератор газовых смесей AQMS модели 200 – рабочий эталон 1-го разряда предназначен для воспроизведения единицы объемной доли (массовой концентрации) определяемых компонентов, приведенных в таблице 2, и ее передачи рабочим средствам измерений в соответствии с ГОСТ 8.578-2008 «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений содержания компонентов в газовых средах».

Принцип действия генератора заключается в смешении потоков исходного газа от различных источников и газа-разбавителя.

Принцип действия генератора по каналу динамического разбавления заключается в смешении потоков исходного газа и газа-разбавителя, расход которых регулируется и измеряется с помощью регуляторов массового расхода газа. В качестве исходного газа используются стандартные образцы состава – газовые смеси в баллонах под давлением по ТУ 6-16-2956-92. Генераторы обеспечивают приготовление газовых смесей с возможностью одновременного использования от одного до четырех баллонов.

Для получения ПГС озона в воздухе в генераторе используется встроенный генератор озона, в котором озон образуется из кислорода воздуха под воздействием УФ-излучения ртутной лампы низкого давления. Содержание озона в газовой смеси на выходе генератора зависит от степени интенсивности излучения ртутной лампы. Интенсивность УФ лампы может регулироваться тремя способами:

– вручную, путем задания напряжения на лампе;

– автоматически с использованием встроенного фотодиода. В этом случае интенсивность лампы устанавливается по сигналу фотодиода в соответствии с таблицей зависимости объемной доли озона от сигнала фотодиода, находящейся в памяти прибора.

– автоматически, с помощью встроенного в генератор фотометра. В этом случае интенсивность лампы генератора озона регулируется по показаниям встроенного фотометра.

Встроенный фотометр измеряет содержание озона на выходе генератора или в смеси, подаваемой от внешнего источника. Через кювету фотометра поочередно пропускается ГС озона и поверочный нулевой газ (ПНГ). Приемник фотометра последовательно регистрирует интенсивность УФ-излучения, прошедшего через кювету с ГС (I) и ПНГ (I0). Концентрация озона в ГС пропорциональна поглощению УФ-излучения прошедшего через кювету с ГС (в соответствии с законом Бугера-Ламберта-Бера).

Принцип титрования в газовой фазе (преобразования NO в NO2) основан на реакции взаимодействия оксида азота (NO) с озоном, поступающим от генератора озона. Содержание NO2, в получаемой на выходе генератора ГС, пропорционально содержанию озона.

В качестве газа-разбавителя используются поверочные нулевые газы (ПНГ) – азот по ГОСТ 9293-74 или очищенный воздух (по ТУ 6-21-5-82 или от генератора нулевого воздуха).

Генератор осуществляет приготовление ПГС с заданным содержанием следующих компонентов: NO, NO2, N2O, NH3, SO2, H2S, CO, CO2, O2, О3, C3H8, CH4.

Конструктивно генератор выполнены в одном блоке, в состав которого входят газовая система и устройство управления.

Генератор может работать в автоматическом или ручном режимах. В автоматическом режиме задается содержание компонента в ПГС и микропроцессор рассчитывает необходимый расход газов. В ручном режиме требуемые расходы газов вводятся оператором с дисплея, расположенного на передней панели генераторов.

При помощи меню, отображаемого на дисплее генераторов, можно выбрать компонент, задать необходимую концентрацию компонента в ГС и расход, ввести значение концентрации в исходной ГС, а также получить фактическое значение концентрации и расхода.

Генератор имеет следующие выходные сигналы:

– показания цифрового дисплея;

– аналоговые выходы по напряжению (0-0.1, 0-1, 0-5, 0-10) В;

– цифровой выход RS-232, RS-485, Ethernet.

 

Внешний вид генератора газовых смесей AQMS модели 200

 Метрологические и технические характеристики

1. Метрологические характеристики

Измерительный

канал

Компонент

Диапазон воспроизведения объемной доли компонента, млн-1

Пределы допускаемой относительной

погрешности*, %

1

2

3

4

Фотометрический канал

(канал озона)

О3

св. 0,015 – 1

± 5

Канал динамического разбавления

NO, NO2

0,02 – 0,5

± (5 + 60·ХГРГС)

св. 0,5 – 1000

± 5

3

0,15 – 0,5

± (5 + 60·ХГРГС)

св. 0,5 – 1000

± 5

SO2

0,02 – 0,5

± (5 + 60·ХГРГС)

св. 0,5 – 1000

± 5

H2S

0,005 – 0,010

± (5 + 60·ХГР/2×ХГС)**

св. 0,010 – 0,5

± (5 + 60·ХГРГС)

св. 0,5 – 1000

± 5

N2O

1 – 100

± (5 + 60·ХГРГС)

св. 100 – 1000

± 5

СО

1 – 100

± (5 + 60·ХГРГС)

св. 100 – 1000

± 5

Канал динамического разбавления

СН4,

С3Н8

1 – 100

± (5 + 60·ХГРГС)

св. 100 – 1000

± 5

О2

100 – 1000

± 6

СО2

20 – 1000

± 7

Титрование

в газовой фазе

NO2

0,05 – 1,00

± 7

Примечания:

* 1) Пределы допускаемой относительной погрешности разбавительного канала установлены при следующих условиях:

– при использовании исходных ГС – стандартных образцов состава газовых смесей в баллонах под давлением по ТУ 6-16-2956-92:

NO, NO2, N2O, NН3, SO2, H2S в азоте (воздухе) с относительной погрешностью аттестации не более ± 4 %, объемная доля определяемого компонента в ГС не должна превышать 2 % (об.);

СО, СН4, С3Н8, CO2, в азоте (воздухе), О2 в азоте с относительной погрешностью аттестации не более ± 3 %, объемная доля определяемого компонента в ГС не должна превышать 2 % (об.), объемная доля углеводородов в исходной ГС не должна превышать 50 % НКПР (нижний концентрационный предел распространения пламени), значения которых приведены в ГОСТ Р 52136-2003;

– при использовании в качестве газа-разбавителя:

а) очищенного воздуха от генераторов нулевого воздуха модели 100 – рабочих эталонов 1-го разряда (фирма FPI Inc., Китай) или эталона сравнения – синтетического воздуха по ГОСТ 8.578-2008 для следующих диапазонов:

О3, NO, NO2, NН3, SO2, H2S в диапазоне до 1 млн-1;

СН4, С3Н8, СО, N2O в диапазоне до 10 млн-1;

б) очищенного воздуха от генераторов чистого воздуха, внесенных в Госреестр СИ РФ, воздуха по ТУ 6-21-5-82, азота газообразного особой частоты по ГОСТ 9293-74 для остальных диапазонов (кроме CO2 и O2);

в) очищенного воздуха, полученного от генератора чистого воздуха, с содержанием CO2 не более 1 млн-1 или азота газообразного особой чистоты по ГОСТ 9293-74 (для CO2);

г) азота газообразного особой чистоты марки 5.8 по ТУ 2114-007-53373468-2008 (для O2).

2) ХГР и ХГС – нормированное содержание компонента в газе-разбавителе и содержание компонента, подлежащее воспроизведению, соответственно, млн-1.

** При условии введения в рассчитанное значение концентрации поправки, равной 0,00025 ppb.

2 Диапазоны расходов газа-разбавителя, дм3/мин от 0,5 до 5, от 1 до 10, от 2 до 20

3 Пределы допускаемой относительной погрешности установления расхода газа-разбавителя, ± 2%

4 Пределы допускаемой относительной погрешности поддержания расхода газа-разбавителя в течение 2 ч непрерывной работы, % ± 1

5 Диапазоны расходов исходной ГС, см3/мин от 5 до 50, от 10 до 100, от 20 до 200

6 Пределы допускаемой относительной погрешности установления расхода исходной ГС, ± 2%

7 Пределы допускаемой относительной погрешности поддержания расхода исходной ГС в течение 2 ч непрерывной работы, ± 1%

8 Диапазон коэффициентов разбавления от 5 до 2000

9 Пределы допускаемой относительной погрешности коэффициента разбавления, ± 3%

10 Время непрерывной работы, ч, не менее 8

11 Время прогрева генератора, мин, не более: 30

12 Габаритные размеры, масса и потребляемая мощность

Габаритные размеры, мм,

не более

Масса, кг,

не более

Потребляемая мощность, В·А, не более

Длина: 597

Ширина: 485

Высота: 178

18

275

13 Питание осуществляется от сети переменного тока напряжением (230±23) В с частотой (50±1) Гц.

14 Средняя наработка на отказ (при доверительной вероятности Р = 0,95): 6000 часов.

15 Средний срок служб, лет, не менее 8

16 Условия эксплуатации:

— температура окружающей воздуха: от 15 до 25 оС;

— относительная влажность: от 45 до 80 %;

— атмосферное давление: от 84 до 106,7 кПа.

Генератор нулевого воздуха AQMS модели 100 — эталон 1-го разряда внесен в Госреестр СИ РФ под № 61319-15. 

Генератор газовых смесей AQMS модели 200 — эталон 1-го разряда внесен в Госреестр СИ РФ под № 63974-16. 

 

Закрыть

Задать вопрос

Оборудование для контроля воды IMC Systems - научное оборудование, инспекция в полупроводниковой промышленности, оборудование для экологического мониторинга и контроля технологических процессов

ФИО*
Компания
E-mail*
Телефон*
Вопрос*