FOLLOW US ON
+7 (495) 374-04-01
Отраслевые решения
Задать вопрос
РФЭС спектрометр ESCA 2SR

Рентгеновский фотоэлектронный спектрометр ESCA 2SR

Краткий обзор РФЭ спектрометра ESCA 2SR

  • РФЭС элементный анализ с высокой пропускной способностью и предельной чувствительностью
  • Быстрые автоматизированные измерения в режиме реального времени
  • Современный детектор на 128 каналов
  • Гибкие конфигурации для газовых кластерных ионных пучков, УФ фотоэлектронной спектроскопии, спектроскопии ионного рассеяния и т.д.
  • Интерфейс для других модулей, молекулярно-пучковой эпитаксии, сканирующей зондовой микроскопии и т.д.
РФЭС спектрометр ESCA 2SR
РФЭС спектрометр ESCA 2SR

Готовое решение для ЭСХА и РФЭС

РФЭС спектрометр ESCA 2SR является универсальным инструментом, позволяющим рутинным образом проводить анализ поверхности при помощи передовых РФЭС и ЭСХА приложений.

Удобно использовать в работе готовую систему, оптимизированную для обычных и продвинутых научных экспериментов: ESCA 2SR сочетает в себе высокую чувствительность, превосходное разрешение по энергии, высокую пропускную способность и передовую концепцию держателя образцов. Держатель образцов позволяет крепить множество тонких и толстых образцов и может быть легко адаптирован под индивидуальные требования конкретного эксперимента, включая опции нагрева и охлаждения.

Система ESCA 2SR включает в себя современный 128-ми канальный детектор, специальный 500 мм круг Роуленда, монохроматический рентгеновский источник высокой мощности и источник электронов для эффективной нейтрализации заряда. Моноатомный источник распыления ионов входит в базовую конфигурацию.

Конфигурация системы ESCA 2SR может быть легко расширена на кластерный источник ионов, рентгеновский источник с двойным пучком, УФ источник и различные инструменты пробоподготовки.

<div class="mzag_content"><p>Ultimate sensitivity: fast analysis of traces Au and Pt &lt; 0.03 At %.</p></div>

Вакуумная система

Система фотоэлектронной спектроскопии ESCA 2SR включает в себя удобную в использовании, готовую к эксплуатации систему сверхвысокого вакуума, состоящую из: (i) аналитической камеры из мю-металла и  (ii) простой в работе камеры загрузки образцов. Оперативная откачка системы обеспечивает быструю загрузку образца. Дополнительно система комплектуется камерой хранения образцов.

Система имеет интерфейсные порты для подключения камеры пробоподготовки или вакуумной системы транспортировки образца. Другие опции включают в себя подключение главбокса или пользовательских систем сверхвысокого вакуума, например, модулей сканирующей зондовой микроскопии или молекулярно-пучковой эпитаксии. Кроме того, аналитическая камера содержит дополнительные порты для последующей модернизации — монтажа: (i) источника ультрафиолетового излучения для УФ фотоэлектронной спектроскопии, (ii) кластерного источника ионов для определения профиля распределения веществ по глубине в случае чувствительных материалов и мн. др.

РФЭ спектрометр ESCA 2SR комплектуется модулем Mistral — встроенным центром управления оборудования на основе программируемых логических контроллеров. Mistral обладает 12″ сенсорным экраном и дополнительным управлением от ПК.

Манипулятор и контроллер платформы для образцов

Система ESCA 2SR работает с использованием передвижного столика для образцов. Столик обеспечивает надежное крепление нескольких образцов и предлагает прекрасную гибкость в части размеров и формы образцов. Кроме того, прибор может эксплуатироваться вместе со специальным столиком для образцов, вращающимся во время определения профиля распределения веществ по глубине. Большое количество других вариантов столиков для образцов позволяет удовлетворить индивидуальные запросы пользователя.

<div class="mzag_content"><p>ESCA 2SR Sample stage</p></div>

Закрыть

Задать вопрос

Оборудование для контроля воды IMC Systems - научное оборудование, инспекция в полупроводниковой промышленности, оборудование для экологического мониторинга и контроля технологических процессов

ФИО*
Компания
E-mail*
Телефон*
Вопрос*