FOLLOW US ON
+7 (495) 374-04-01
Отраслевые решения
Задать вопрос

NanoSAM. Оже-спектроскопия, нанозонд

Краткий обзор Оже спектрометра ScientaOmicron NanoSAM

Электронная колонна Gemini сверхвысокого вакуума:

  • высочайшее пространственное разрешение
  • наименьший размер пятна электронного пучка
  • уникальная производительность в режиме низких энергий
  • эффективная микроскопия вторичных электронов

Электронный анализатор Оже-спектрометра NanoSAM: 

  • переменное разрешение по энергии
  • превосходная чувствительность, многоканальное детектирование

Пробоподготовка для Оже спектроскопии:

  • варьирование размера образца
  • изменение температуры образца в диапазоне (50-500) K
  • наклон плоскости образца ±60°

Предельное разрешение для Оже-спектрометра

Комплекс NanoSAM (также называемый Оже-микрозонд) является основным инструментом для Оже-спектроскопии (анализа малых структур). Благодаря уникальной производительности электронной колонны Gemini сверхвысокого вакуума, NanoSAM гарантирует непревзойденное разрешение лучше 5 нм в сканирующей Оже микроскопии и лучше 3 нм в микроскопии вторичных электронов.

В отличие от других систем, Оже-спектрометр NanoSAM обладает очень хорошим разрешением не только на стандартной энергии пучка в 20 кэВ, но и при энергии в 5 кэВ — разрешение в сканирующей Оже микроскопии при этой энергии остается лучше 10 нм. Режим низких энергий позволяет работать в диапазоне параметров, где сечения Оже высоки и хорошо документированы для количественного анализа.

Дополнительный анализ

Оже спектроскопия - проведение анализаОже-спектрометр NanoSAM предназначен как для быстрого и эффективного сбора данных с рутинных образцов, так и для гибкой работы в нетипичных диапазонах параметров на сложных материалах. Кроме того, функциональность NanoSAM может быть расширена с помощью методик дополнительного анализа ключевых характеристик образцов: кристаллической структуры (дифракция отраженных электронов) или структуры магнитных доменов (сканирующая электронная микроскопия с поляризационным анализом). Другими особенностями NanoSAM являются: определение профиля распределения веществ по глубине, зарядовая нейтрализация, фокусируемый ионный пучок и электронно-лучевая литография.

Закрыть

Задать вопрос

Оборудование для контроля воды IMC Systems - научное оборудование, инспекция в полупроводниковой промышленности, оборудование для экологического мониторинга и контроля технологических процессов

ФИО*
Компания
Телефон и email*
Напишите вопрос и наименование продукции*
Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.