FOLLOW US ON
+7 (495) 374-04-01
Отраслевые решения
Задать вопрос

Olympus MX-61L/MX-61

Инспекционные микроскопы серии MX61(MX61L) предназначены для оптического контроля поверхности полупроводниковых пластин, фотошаблонов, оптоэлектронных приборов, а также, МЭМС. Микроскопы позволяют исследовать пластины диаметром до 200мм (300мм для версии MX61L) и обеспечивают непревзойденное качество изображения поверхности, высочайшую разрешающую способность и четкость картинки в режиме светлого поля, темного поля, дифференциального интерференционного контраста, флюоресценции, а также инфракрасного света.


Эргономичный дизайн

Интуитивное управление для ускорения процесса измерений

Эргономичное расположение основных органов управления инспекционных микроскопов MX61 на передней панели по соседству с рукоятками регулировки фокуса позволяет вращать туррель с объективами, изменять уровень освещенности и величину аппертуры не отрывая глаз от окуляров и не снимая рук с регулировок фокуса.

MX-61 controls

Расположение основных органов управления инспекционного микроскопа Olympus MX61 на передней панели позволяет значительно повысить эффективность использования оборудования за счет более высокой концентрации внимания оператора

Настраиваемый наклон окуляров

Широкий диапазон наклона окуляров позволяет операторам разного роста без труда подобрать положение, обеспечивающее максимально комфортную и эргономичную позу.

MX-61 observation tube

Удобная рукоять перемещения предметного стола

Предметный стол испекционного микроскопа с ручным механизмом перемещения имеет специальный механизм с зажимом, обеспечивающий возможность одновременно грубого перемещения на большие длины и точного — в интересующей области.

Stage handle with built-in clutch


Превосходная четкость изображений и разрешающая способность

Широкий выбор объективов для самых разных задач

Объектив является одним из наиболее важных составных частей микроскопа, именно через него реализуется освещение поверхности и сбор отраженного света. Компания Olympus предлагает широчайший выбор объективов для различных применений: универсальные объективы, объективы с высокими рабочими расстояниями, ИК-объективы, специализированные модели для исследований оптоэлектронных компонентов, ЖКИ и прочие.


Программное обеспечение

Инспекционные микроскопы MX61L/MX61 оснащены интерфейсами  связи с компьютером (RS-232), что позволяет управлять их работой через программное обеспечение, получать данные, пригодные для дальнейшей цифровой обработки и хранения. Компания Olympus предлагает широкий выбор вариантов опций для микроскопов и программного обеспечения.


 

Высокие измерительные характеристики

Увеличенная скорость измерений благодаря автоматической смене объектива

Механизм автоматической смены объектива позволяет значительно быстрее проводить измерения за счет быстрой смены оптической конфигурации и отсутствия необходимости дополнительных настроек. При этом, управление осуществляется через программное обеспечение, с помощью кнопок на панели или же с помощью отдельного переключателя.

Автоматическая система контроля апертуры

Интегрированная схема постоянного контроля апертуры автоматически изменяет значения апертуры объектива для обеспечения наилучего качества изображения и повышения эфективности инспекции.


 

Дополнительные принадлежности и методики

Полная интеграция с манипулятором для полупроводниковых пластин

Компания Olympus предлагает превосходную возможность полной интеграцииинспекционных микроскопов MX61L/MX61 с манипулятором для полупроводниковых пластин Olympus AL, позволяющим осуществлять быстрое и бережное перемещение пластин диаметром до 200 мм. Конструкция устройства позволяет проводить полный контроль всей поверхности пластины как с лицевой, так и с обратной стороны без необходимости механически переворачивать пластину. Совместимость с современными кассетными держателями пластин позволяет организовать полностью автоматическое перемещение пластин и избежать тем самым риска повреждения пластины.

Измерения в ИК-диапазоне

Специализированные инфракрасные (ИК) объективы позволяют проводить инспекцию в приповерхностных слоях кремния и стекла, что позволяет успешно применять их в электронной промышленности и фотовольтаике для идентификации подповерхностных дефектов, контроля критических размеров, выявления загрязнений и царапин. Объективы для ИК-инспекции обладают диапазоном увеличений от 20х до 100х и сделаны с расчетом коррекции на толщину стекла или полупроводниковой пластины. Кроме объективов, в арсенале компании несколько моделей ИК-видеокамер для микроскопов.

 

Модуль работы в проходящем свете

Модуль работы в проходящем свете может быть предусмотрен для инспекционных микроскопов MX61L/MX61 для проведения измерений фотошаблонов. Доступны два варианта конденсоров: универсальный и конденсор с высокой численной апертурой, оба варианта рассчитаны на использование поляризованного света.

Более подробная информация доступна по запросу на адрес электронной почты sales@imc-systems.ru

Olympus MX61
Краткий обзор
Olympus MX61
Краткий обзор
скачать PDF
Закрыть

Скачать PDF

ФИО*
Компания
E-mail*
Телефон*

Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.

Закрыть

Задать вопрос

Оборудование для контроля воды IMC Systems - научное оборудование, инспекция в полупроводниковой промышленности, оборудование для экологического мониторинга и контроля технологических процессов

ФИО*
Компания
Телефон и email*
Напишите вопрос и наименование продукции*
Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.