FOLLOW US ON
+7 (495) 374-04-01
Отраслевые решения
Задать вопрос

Низкотемпературная система зондирования ScientaOmicron LT NANOPROBE

Низкотемпературный прибор LT NANOPROBE представляет собой новый класс аналитического оборудования и сочетает в себе обеспечиваемое СЭМ зондирование на наноуровне при температурах жидкого гелия и высопроизводительную визуализацию, спектроскопию и манипуляцию СТМ.

Ключевые особенности:

  • Четыре независимых СТМ
  • Превосходная производительность спектроскопии и манипуляции СТМ
  • Четырехточечные измерения наноструктур
  • Температура < 5К
  • Навигация СЭМ с высоким разрешением

Ключевой задачей в разработке новых устройств нано- и молекулярной электроники является возможность их полной интеграции в большие электрические схемы, что требует контроля и описания их функциональных свойств. Локальное электрическое зондирование множественными зондами с непревзойденной точностью СТМ способно значительно повысить эффективность анализа отдельных наноэлектронных устройств.

Для решения данной задачи совместно с институтом Peter Grünberg Institut был разработан прибор LT NANOPROBE. Продуманная конструкция обеспечивает локальные неразрушающие четырехточечные измерения при низких температурах.

Кроме тонкой настройки положения зонда СТМ и визуализации, высокая производительность прибора LT NANOPROBE расширяет область приложений включая спектроскопическое картирование и даже создание или модификацию наноструктур чрезвычайно точным зодом СТМ. Инструмент открывает новые возможности для исследований в области наноэлектроники, спинтроники и молекулярной электроники.

Дизайн столика микроскопа

Зарекомендованная технология СЗМ Omicron сделала следующий шаг к развитию. Опция охлаждения всего микроскопа до температур жидкого гелия требует условия максимальной компактности диаметром до 100 мм. В случае сохранения высокой стабильности, полной функциональности и независимости эта задача является настоящим вызовом! Камера эффективной тепловой изоляции обеспечивает значения температур ниже 5 К, чрезвычайно низкий тепловой дрейф и тепловое равновесие для образцов и зонда.

Кроме того, интеграция высокоразрешающей навигации СЭМ требует небольших рабочих расстояний. Продуманный сканер обеспечивает компактность и плоскостность дизайна и одновременно линейные стабильные характеристики сканирования СТМ. Непревзойденная производительность достигается благодаря вихретоковому демпфированию.

Визуализация СЭМ и навигация зонда при Т < 5 К

Для навигации четрырьмя зондами СТМ необходима возможность одновременного сканирования электронным микроскопом. СЭМ обеспечивает широкое поле обзора для грубой регулировки положения зондов, а также тонкой настройки положения и быстрой локализации над нанометровыми структурами.
СВВ колонна Gemini обеспечивает непревзойденное разрешение в условиях сверхвысокого вакуума. В отсеке тепловой изоляции столика микроскопа есть лишь один порт доступа, что минимизирует тепловой эффект сохраняя отличный сигнал для визуализации с высоким разрешением. В случае, если сверхразрешение не требуется, можно использовать различные другие колонны СВВ СЭМ или оптические микроскопы.

 

 

Закрыть

Задать вопрос

Оборудование для контроля воды IMC Systems - научное оборудование, инспекция в полупроводниковой промышленности, оборудование для экологического мониторинга и контроля технологических процессов

ФИО*
Компания
Телефон и email*
Напишите вопрос и наименование продукции*
Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.