FOLLOW US ON
+7 (495) 374-04-01
Отраслевые решения
Задать вопрос
Нанозонд ScientaOmicon NANOPROBE LT

Нанозонд ScientaOmicon NANOPROBE LT

Внедрение отдельных нанустройств в огромную интегрированную схему является вызовом в области нанотехнологий. Современные исследования требуют вычисления локальных электрических параметров в сочетании с возможностью навигации зонда, что меняет размерность из области микрон в область нанометров.

Четырехточечный нанозонд NANOPROBE представляет собой искусный аналитический инструмент для локальных неинвазивных контактных измерений в четырех точках и фукционального тестирования наноустройств в составе сложных схем и структур. Ключом к продвинутой технологии зондирования на наномасштабе служит зарекомендованная СЗМ Omicron, обеспечивающая высокую точность позиционирования зонда и безопасный подвод хрупкого острия диаметром несколько десятых нанометра и меньше.

Ключевые особенности:

  • Четырехточечные измерения наноструктур (четырехточечный зонд)
  • Электрический контакт наноустройств
  • Безопасный и неразрушительный подвод зонда
  • Все возможности СТМ
  • Высокоразрешающая (<4 нм) визуализация СТМ для быстрой навигации зонда
  • Высокоразрешающая (<10 нм) визуализация СТМ для химического картирования
  • Реальные условия СВВ для создания чистой поверхности без артефактов

Визуализация с помощью СЭМ для быстрой навигации зонда

Для навигации четрырьмя зондами СТМ необходима возможность одновременного сканирования электронным микроскопом. Это обеспечивает широкое поле обзора для грубой регулировки положения зондов, а также тонкой настройки положения и быстрой локализации над нанометровыми структурами.

Для быстрой настройки положения СВВ колонна Gemini обеспечивает доступ для химического картирования с помощью растровой оже-микроскопии, магнитной визуализации с помощью СЭМ с поляризационным анализом или других методов электронной спектроскопии. Уникальная возможность использования различных методик в одной области образца позволяет получать комплементарную информацию о проводимости, топографии, химических и магнитных свойствах.

Улучшение разрешения в СВВ приборе NANOPROBE значительно влияет на возможности зондирующей системы. Локализация мельчайших структур и быстрое точное управление положением зонда теперь возможно при одновременной работе СТМ и СЭМ. Производительность СТМ не снижается даже в случае близких значений тока пучка СЭМ и туннельного тока.

Низкоэнергетичный пучок в колонне Gemini снижает до минимума риск повреждения чувствительных образцов и делает возможной визуализацию практически непроводящих образцов благодаря минимизации зарядового эффекта в диапазоне энергий 1 кэВ. Условия сверхвысокого вакуума и отсутсвие углеводородов обеспечивают стабильное сканирование в сверхчистых условиях и позволяют избежать вызванное электронным пучком формирование графита. В случае, если сверхразрешение не требуется, можно использовать различные другие колонны СВВ СЭМ или оптические микроскопы.

Виде о конструкции и функционале зондовой станции Nanoprobe LT:

Закрыть

Задать вопрос

Оборудование для контроля воды IMC Systems - научное оборудование, инспекция в полупроводниковой промышленности, оборудование для экологического мониторинга и контроля технологических процессов

ФИО*
Компания
E-mail*
Телефон*
Вопрос*