Лаборатория MULTISCAN представляет собой инструмент, объединяющий различные методики анализа поверхности и работающие одновременно в одной области образца. Прибор создан для совместного высокоразрешающего структурного, химического или магнитного анализа. Благодаря жесткому устойчивому предметному столику достигается атомарное разрешение СТМ/АСМ, а СЭМ в это же время обеспечивает быструю и точную навигацию зонда по интересующим областям. Независмая грубая регулировка положения зонда и образца позволяет идеальное наложение анализируемых областей для СЭМ, СЗМ и других методик. Гониометр осуществляет наклон СЗМ и образца одновременно с целью оптимизации сигнала для таких методик, как SAM, SEMPA или EBSD.
Ключевые особенности:- Комплементарный анализ поверхности
- Стабильный предметный столик с гониометром
- SAM с латеральным разрешением лучше 3 нм
- Атомарное разрешение СТМ и АСМ с датчиком QPlus
- FIB, EBL и EBID для наноструктурирования
- SEMPA для магнитной визуализации
- Большое количество других методик: XPS, EBSD, CL, ….
