FOLLOW US ON
+7 (495) 374-04-01
Отраслевые решения
Задать вопрос

LEED & RHEED

RHEED (система дифракции быстрых электронов)

RHEED (Дифракция быстрых электронов или ДБЭ) система состоит из: — экрана на свинцовом стекле с окном просмотра (6″ OD), — источника электронов (диапазон энергии от 500 эВ до 30 кэВ, ток пучка до 80 мкА, размер пучка около 60 мкм), — источника питания на 30 кВ с опциями гашения пучка и дистанционного управления для фокусировки и позиционирования электронного пучка.

SPECTALEED (система дифракции медленных электронов)

  • Высокопроизводительная LEED оптика
  • Удобство в использовании
  • Отличная и надежная механика
  • Превосходная производительность для Оже-спектроскопии
  • Дистанционное управление с видеокамерой (GUI LEED)

Высокопроизводительная LEED оптика

25 лет опыта

Линейка приборов SPECTALEED компании Scienta Omicron одновременно самая разнообразная и передовая из всех доступных на рынке LEED устройств для дифракции медленных электронов (ДМЭ). За более чем 25-летнюю историю компания Scienta Omicron произвела более 1100 LEED инструментов и продолжает быть на сегодня новатором в области LEED приложений.

SPECTALEED обеспечивает исключительно острые и яркие LEED изображения высокого разрешения в к-пространстве (типичная ширина передачи 300 Å при 100 эВ). Широкий угол обзора (102) и минимальное затенение экрана из-за миниатюрной электронной пушки дает максимально видимую картину LEED. SPECTALEED управляется блоком управления GUILEED, который включает в себя видеокамеру и программное обеспечение для удаленной и удобной работы. Программное обеспечение контролирует все важные параметры прибора.

SPECTALEED оптика с четырьмя сетками может быть расширена до функционала оже-спектроскопии в любое время, путем добавления простого плагина-модуля в источник питания вместе с дополнительным программным обеспечением для управления.

Удобство в использовании, дистанционное управление с видеокамерой

Графический интерфейс пользователя GUI LEED — это программное обеспечение, дающее легкий доступ и контроль всех параметров прибора с одновременным отображением в режиме реального времени фактического экрана LEED.

Скорость сбора данных можно регулировать, чтобы оптимизировать отношение сигнал/шум в полученном изображении. Новое программное обеспечение позволяет сохранять и восстанавливать из файла полный набор параметров прибора. Камера может работать в режиме одиночного изображения, а также в видеорежиме (25 и 13.5 кадров в секунду).

Уникальная конструкция прибора позволяет монтаж LEED оптики на вакуумную камеру в любой ориентации, обеспечивая тем самым максимальное удобство работы с помощью стандартного ПК (или ноутбука) с контролируемой через USB интерфейс видеокамерой и цифровым источником питания. Предыдущее поколение SPECTALEED инструментов может быть легко и просто модернизировано до этой новой функциональности.

Отличная и надежная механика

Вся SPECTALEED оптика может быть заказана с фирменной кинематической втягивающей системой и уникальным лепестковым затвором, обеспечивающими максимальную гибкость и простую интеграцию прибора в многозадачные системы Scienta Omicron.

Трехосный винтовой механизм втягивания сочетает в себе высокую надежность работы, плавность перемещения и простоту в обращении. Длины втягивания — 45 мм и 120 мм — доступны в стандартной комплектации. Другие длины могут быть изготовлены по индивидуальному заказу.

Фирменный лепестковый затвор обеспечивает защиту сеток прибора во время пробоподготовки, без риска механического столкновения — возможного для пластинчатых затворов предыдущего поколения.

Оба варианта затворов приводятся в движение посредством магнитных подшипников последнего поколения, что обеспечивает длительное время эксплуатации.

Высококачественные данные для точного анализа

Эксклюзивное программное обеспечение LEEDCal, разработанное Fritz & Sojka GbR, используется для детального и высокоточного анализа полученных LEED изображений. Данное ПО поставляется со всеми SPECTALEED инструментами в качестве стандартной опции.

Графический пользовательский интерфейс LEEDCal шаг за шагом направляет пользователя в процессе калибровки, который использует специальный алгоритм для определения и коррекции систематических искажений, присутствующих в LEED изображениях. Автоматически созданная матрица коррекций, определенная из анализа образца с известной структурой поверхности (например, Si (111), 7х7), может быть использована для исправления все последующих LEED изображений, полученных при тех же экспериментальных условиях.

MBD-LEED

MBD-LEED — LEED-инструмент для молекулярно-лучевого осаждения — используется для наблюдения за ростом тонких пленок в процессе испарения. Прибор включает в себя 3 миниатюрных ячейки Кнудсена и SPECTALEED-инструмент для одновременного и независимого испарения до трех различных материалов. Ячейки Кнудсена интегрированы в оптику LEED, что позволяет: (i) свести к минимуму уменьшение зоны просмотра при дифракции медленных электронов и (ii) не нарушить результирующее LEED изображение.

Даже при максимальной температуре испарения (около 700 °С) поддерживается низкая эмиссия света. Тигли из кварцевого стекла заранее настроены на образец и могут быть легко заменены и наполнены. Геометрия конструкции предотвращает загрязнение LEED сеток испаряемым веществом.

MCP-LEED

  • Ультра низкий ток пучка 0.1 нА — 30 нА
  • Идеально подходит для чувствительных образцов (органика, изоляторы …)
  • Одиночная или двойная микроканальная пластина
  • Угол обзора 70°

MCP-LEED — это SPECTALEED-инструмент с LEED оптикой обратного вида и микроканальной пластиной (MCP). MCP-LEED специально разработан для работы с ультрамалыми токами первичного пучка вплоть до пикоампер (двойная MCP). Такие низкие токи пучка применяются в LEED-измерениях деликатных образцов, исследования которых стандартными LEED-инструментами с токами пучка в диапазоне микроампер приводят к их повреждению или вызывают быструю зарядку поверхности изолятора.

Соответственно, МСР-LEED позволяет проводить структурный анализ изначально чувствительных образцов, таких как органика, изоляторы или монокристаллы со слабосвязанными адсорбатами, без ухудшения поверхности электронным пучком.

SPA-LEED

  • Картирование обратного пространства
  • Количественное одномерное и двумерное отображение k-пространства
  • Ширина передачи (когерентность) < 1000 ангстрем
  • Режим малого тока для чувствительных образцов
  • Режим СЭМ для навигации образца
  • Анализ дефектов поверхности: шероховатости, островков, террас и граней
  • Динамика эпитаксиального роста тонких пленок

Мощный инструмент для анализа кристаллических структур

Точечный анализ профиля при помощи дифракции медленных электронов (SPA-LEED) является мощным инструментом для анализа поверхности кристаллических структур. Разработанный для предельного разрешения в к-пространстве профессором Хенцлером из университета Ганновера, данный прибор эксклюзивно производится компанией Scienta Omicron.

Инструмент SPA-LEED позволяет проводить точный количественный анализ вертикальных и горизонтальных постоянных решетки, размеров террас / островков и распределения по высоте, параметров порядка при фазовых переходах и многого другого. Режим СЭМ позволяет легкую навигацию поверхности образца и локальный анализ на малых образцах. Кроме того, установленный на прибор дополнительный LEED экран (уменьшенного размера по сравнению со стандартными LEED-инструментами) служит для регулировки и удобной навигации в k-пространстве.

Сердцем SPA-LEED инструмента является два электростатических восьмиполюсника-дефлектора, которые могут сканировать преломленный пучок электронов одним детектором электронов с небольшой входной апертурой. В результате, отношение сигнал/шум и разрешение значительно улучшены по сравнению с обычной LEED системой, основанным на LEED экране и видеокамере. Кроме того, данная конструкция позволяет проводить измерения при пониженных токах через образец. Результирующее разрешение в плоскости определяется шириной передачи инструмента, которая лучше, чем 1000 ангстрем. Рабочий динамический диапазон составляет от 1 до 8×10^6 импульсов в секунду.

Закрыть

Задать вопрос

Оборудование для контроля воды IMC Systems - научное оборудование, инспекция в полупроводниковой промышленности, оборудование для экологического мониторинга и контроля технологических процессов

ФИО*
Компания
E-mail*
Телефон*
Вопрос*